CN209554086U - 一种pvd靶材搬运车 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种PVD靶材搬运车，包括托盘、支撑杆、底架和旋转装置，其中，托盘可转动的设置在支撑杆上，旋转装置分别与支撑杆和托盘设置到一起，用于驱动托盘在支撑杆上旋转，支撑杆设置在底架上；托盘上设有容纳靶材的凹槽，凹槽一端设有第一托扣；底架上设置有移动装置。使用时，托盘水平放置，首先将靶材拆箱，将靶材抬至托盘上的凹槽中，安装靶材顶部端头，通过移动装置移动将靶材运输至待更换立式PVD靶材的设备处，然后摇动旋转装置，托盘从水平旋转为垂直状态，将靶材旋转至垂直位置，第一托扣托住靶材，然后通过行车吊住靶材顶部，通过行车将靶材安装至机台端。提高了安全性，节省了人力成本。

Description

一种PVD靶材搬运车

技术领域

本实用新型涉及靶材更换技术领域，尤其涉及一种PVD靶材搬运车。

背景技术

市场上现有的立式PVD设备是一种立式物理气相沉积设备，其使用的靶材为旋转靶材，这种靶材用于磁控溅射的源，一般为圆柱形。

目前立式PVD设备在更换靶材时，需要将靶材拆箱，取出材包装箱内的3个弧形承托靶材的泡沫，然后将泡沫放置在车间内的环氧地坪上，再将靶材抬出放置在泡沫上，之后安装靶材顶部端头，然后通过行车将吊起靶材顶部，慢慢将靶材由水平吊至垂直，最后通过移动行车将靶材安装至立式PVD设备的机台端。

由于无专用换靶装置，若现场无靶材包装箱内的泡沫载具，则需找替代物承托靶材，非常耗时耗精力，严重增加时间成本，并且，靶材长度为1600mm，重约70kg，泡沫载具约15cm高，行车将靶材一头吊起时非常容易磕碰地面，造成靶材损伤，而且，靶材吊起时需要有人在底部拖扶，容易对人员手部造成压伤，更换靶材需要2-3人，造成人员浪费。

因此，如何提供一种PVD靶材搬运车，以提高安全性，节省人力成本，是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种PVD靶材搬运车，以提高安全性，节省人力成本。

为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种PVD靶材搬运车，包括托盘、支撑杆、底架和旋转装置，其中，所述托盘可转动的设置在所述支撑杆上，所述旋转装置分别与所述支撑杆和所述托盘设置到一起，用于驱动所述托盘在所述支撑杆上旋转，所述支撑杆设置在所述底架上；所述托盘上设有容纳靶材的凹槽，所述凹槽一端设有第一托扣；所述底架上设置有移动装置。

优选的，上述旋转装置包括驱动装置、驱动齿轮和被动齿轮，其中，所述被动齿轮固定在所述托盘上，所述驱动齿轮旋转的设置在所述支撑杆上，所述驱动装置与所述驱动齿轮连接。

优选的，上述驱动装置为旋转手柄。

优选的，上述驱动装置为电机。

优选的，上述托盘的内壁上设置有硅胶保护层。

优选的，上述托盘的横截面为弧形。

优选的，上述托盘上设置有固定装置将所述靶材固定在所述托盘中，所述固定装置为固定绳或者固定杆。

优选的，上述支撑杆为伸缩杆。

优选的，上述底架上设置有万向轮和刹车装置。

优选的，上述托盘的另一端设置有第二托扣。

本实用新型提供的PVD靶材搬运车，包括托盘、支撑杆、底架和旋转装置，其中，所述托盘可转动的设置在所述支撑杆上，所述旋转装置分别与所述支撑杆和所述托盘设置到一起，用于驱动所述托盘在所述支撑杆上旋转，所述支撑杆设置在所述底架上；所述托盘上设有容纳靶材的凹槽，所述凹槽一端设有第一托扣；所述底架上设置有移动装置。

本实用新型提供的PVD靶材搬运车，使用时，托盘水平放置，首先将靶材拆箱，将靶材抬至托盘上的凹槽中，通过移动装置移动整个PVD靶材搬运车，将靶材运输至待更换立式PVD靶材的设备处，之后安装靶材顶部端头，当然也可以是在移动之前安装靶材顶部端头，然后摇动旋转装置，托盘从水平旋转为垂直状态，将靶材旋转至垂直位置，第一托扣托住靶材，然后通过行车吊住靶材顶部，通过行车将靶材安装至机台端。提高了安全性，节省了人力成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的PVD靶材搬运车的结构示意图。

上图1中：

托盘1、固定装置2、旋转装置3、支撑杆4、底架5、移动装置6、第一托扣7、第二托扣8。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参考图1，图1为本实用新型实施例提供的PVD靶材搬运车的结构示意图。

本实用新型实施例提供的PVD靶材搬运车，包括托盘1、支撑杆4、底架5和旋转装置3，其中，托盘1可转动的设置在支撑杆4上，旋转装置3分别与支撑杆4和托盘1设置到一起，用于驱动托盘1在支撑杆4上旋转，支撑杆4设置在底架5上；托盘1上设有容纳靶材的凹槽，凹槽一端设有第一托扣7，托盘1上设置有固定装置2将靶材固定在托盘1中，底架5上设置有移动装置6。

本实用新型实施例提供的PVD靶材搬运车是一种换靶装置，是一种将靶材垂直安装于PVD机台的装置，使用时，托盘1水平放置，首先将靶材拆箱，将靶材抬至托盘1上的凹槽中，然后用固定装置2将靶材固定在托盘1中，通过移动装置6移动整个PVD靶材搬运车，将靶材运输至待更换立式PVD靶材的设备处，之后安装靶材顶部端头，当然也可以是在移动之前安装靶材顶部端头，然后摇动旋转装置3，托盘1从水平旋转为垂直状态，将靶材旋转至垂直位置，第一托扣7托住靶材，然后通过行车吊住靶材顶部，解开固定装置，通过行车将靶材安装至机台端。提高了安全性，节省了人力成本。

由于采用了专门的PVD靶材搬运车，使得靶材的放置非常的平稳，而且靶材在平躺状态下移动至待更换立式PVD靶材的设备处，相对于现有技术中采用行车吊起及吊起后的运输，更加的安全，并且是在将靶材旋转至垂直位置后才进行吊起安装，省略了行车将靶材从水平状态吊起为垂直状态的过程，更加的安全可靠。

本实用新型实施例提供的PVD靶材搬运车，是一个专用的换靶装置，能够实现换靶作业标准化，提高了工作效率。并且，设计有旋转装置，降低换靶过程中人员受伤风险，而且操作简单，可一人完成操作，节省人力成本。

为了进一步优化上述方案，旋转装置3包括驱动装置、驱动齿轮和被动齿轮，其中，被动齿轮固定在托盘1上，驱动齿轮旋转的设置在支撑杆4上，驱动装置与驱动齿轮连接。其中，驱动装置为旋转手柄。或者，驱动装置为电机。

为了进一步优化上述方案，托盘1的横截面为弧形，与呈圆柱状的靶材的侧壁更加贴合，放置和运输更加平稳，提高了安全性，并且，托盘1的内壁上设置有硅胶保护层，避免靶材损伤。通过设计靶材保护措施，降低换靶过程中靶材损伤风险。托盘1与靶材接触的部分均与靶材面贴合，能够更好的支撑贴合靶材，并在弧面表面采用软性硅胶材质，保护靶材。

其中，固定装置2可以为固定绳或者固定杆。固定绳采用间隔的两条，能够起到更好的固定作用，固定绳采用捆绑的方式实现固定。而固定杆则可以是一端与托盘1的一侧铰接，另一端通过螺栓与托盘1的另一侧进行固定连接，固定杆与靶材的接触部分设置为弧形，能够更好的贴合，同样采用间隔的两个，以便更好的固定。

为了进一步优化上述方案，支撑杆4为伸缩杆，可以调节托盘1的高度，方便吊靶时的拆装工作。底架5上设置有万向轮和刹车装置。周转简单方便，可提高换靶效率。

其中，托盘1的另一端设置有第二托扣8，能够对靶材形成很好的限位。靶材平放在托盘1上时，靶材两端的凸出结构是放置在第一托扣7和第二托扣8上的，当靶材转动为垂直状态后，作为底部托扣使用的第一托扣7能够很好的托住靶材，而作为顶部托扣使用的第二托扣8能够起到很好的稳定作用。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种PVD靶材搬运车，其特征在于，包括托盘、支撑杆、底架和旋转装置，其中，

所述托盘可转动的设置在所述支撑杆上，所述旋转装置分别与所述支撑杆和所述托盘设置到一起，用于驱动所述托盘在所述支撑杆上旋转，所述支撑杆设置在所述底架上；

所述托盘上设有容纳靶材的凹槽，所述凹槽一端设有第一托扣；

所述底架上设置有移动装置。

2.根据权利要求1所述的PVD靶材搬运车，其特征在于，所述旋转装置包括驱动装置、驱动齿轮和被动齿轮，其中，

所述被动齿轮固定在所述托盘上，所述驱动齿轮旋转的设置在所述支撑杆上，所述驱动装置与所述驱动齿轮连接。

3.根据权利要求2所述的PVD靶材搬运车，其特征在于，所述驱动装置为旋转手柄。

4.根据权利要求2所述的PVD靶材搬运车，其特征在于，所述驱动装置为电机。

5.根据权利要求1所述的PVD靶材搬运车，其特征在于，所述托盘的内壁上设置有硅胶保护层。

6.根据权利要求1所述的PVD靶材搬运车，其特征在于，所述托盘的横截面为弧形。

7.根据权利要求1所述的PVD靶材搬运车，其特征在于，所述托盘上设置有固定装置将所述靶材固定在所述托盘中，所述固定装置为固定绳或者固定杆。

8.根据权利要求1所述的PVD靶材搬运车，其特征在于，所述支撑杆为伸缩杆。

9.根据权利要求1所述的PVD靶材搬运车，其特征在于，所述移动装置包括万向轮和刹车装置。

10.根据权利要求1所述的PVD靶材搬运车，其特征在于，所述托盘的另一端设置有第二托扣。