CN209522915U - 一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构，其结构包括水冷板、水管和接头，所述水冷板底部与水管进行垂直焊接，所述水管前部通过垫圈与接头进行螺纹连接，本实用新型的一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构，将本设安装在真空腔体和主阀腔体连接的过道中间，通过把水管焊接在铜制水冷板上面，利用了铜的极好的导热效果，当19度到25度左右的冷却水在铜制水管内部流动时，热量通过铜制水冷板的面积迅速扩散，从而形成了隔热保护层，抑制了主腔体内部的热辐射传递到主泵的速度和热辐射量，可以有效隔热，更好地保护了主泵，改善了主泵升温的问题，并且对腔体镀膜完成时的冷却效果起到了一定的作用。
Description
技术领域
本实用新型是一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构，属于高真空镀膜机领域。
背景技术
传统镀膜机以及进口镀膜设备，主腔体和主泵排气口之间的位置都是通过不锈钢百叶窗的形式进行隔热，这样做的问题是，由于镀膜机工作时大多数都是高温低压，高温最高时可达400度左右，内部压力为3.0E-4Pa的压强下连续工作，由于长时间腔体内部的热辐射产生，导致主泵（低温泵）的温度逐渐上升，这样一来一旦主泵的温度超过20k后，冷泵内部会由于自身温度的上升，进而自动保护，造成主泵的自主停止，长此以来，不仅大大缩短了主泵的利用率，同时也对生产造成了一定的影响。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构，以解决现有技术不便对主泵进行隔热，使主泵长时间使用后温度过高的问题。
为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构，包括水冷板、水管和接头，所述水冷板底部与水管进行垂直焊接，所述水管前部通过垫圈与接头进行螺纹连接。
进一步地，所述接头共设置有两个，并且两个接头的形状和大小均相等。
进一步地，所述水冷板的长度为680mm，宽度为175mm。
进一步地，所述水管的长度为562mm。
进一步地，所述水冷板和水管使用的材料均为铜。
本实用新型的一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构，将本设安装在真空腔体和主阀腔体连接的过道中间，通过把水管焊接在铜制水冷板上面，利用了铜的极好的导热效果，当19度到25度左右的冷却水在铜制水管内部流动时，热量通过铜制水冷板的面积迅速扩散，从而形成了隔热保护层，抑制了主腔体内部的热辐射传递到主泵的速度和热辐射量，可以有效隔热，更好地保护了主泵，改善了主泵升温的问题，并且对腔体镀膜完成时的冷却效果起到了一定的作用。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型接头的结构示意图。
图中：水冷板-1、水管-2、接头-3。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
请参阅图1与图2，本实用新型提供一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构：包括水冷板1、水管2和接头3，水冷板1底部与水管2进行垂直焊接，水管2前部通过垫圈与接头3进行螺纹连接。
其中，所述接头3共设置有两个，并且两个接头3的形状和大小均相等。
其中，所述水冷板1的长度为680mm，宽度为175mm。
其中，所述水管2的长度为562mm。
其中，所述水冷板1和水管2使用的材料均为铜。
当使用者想使用本专利的时候，首先将本设计安装在高真空镀膜机的真空腔体和主阀腔体连接的过道中间，然后将接头3与外界的冷却水水管相连接，然后对本设计进行使用；19度到25度左右的冷却水通过接头3在铜制水管2内部流动时，热量通过铜制水冷板1的面积迅速扩散，从而形成了隔热保护层，抑制了主腔体内部的热辐射传递到主泵的速度和热辐射量；本实用新型的一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构，将本设安装在真空腔体和主阀腔体连接的过道中间，通过把铜制水管2焊接在铜制水冷板1上面，利用了铜的极好的导热效果，当19度到25度左右的冷却水在铜制水管2内部流动时，热量通过铜制水冷板1的面积迅速扩散，从而形成了隔热保护层，抑制了主腔体内部的热辐射传递到主泵的速度和热辐射量，可以有效隔热，更好地保护了主泵，改善了主泵升温的问题，并且对腔体镀膜完成时的冷却效果起到了一定的作用。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (4)
1.一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构，其特征在于：包括水冷板（1）、水管（2）和接头（3），所述水冷板（1）底部与水管（2）进行垂直焊接，所述水管（2）前部通过垫圈与接头（3）进行螺纹连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构，其特征在于：所述接头（3）共设置有两个，并且两个接头（3）的形状和大小均相等。
3.根据权利要求1所述的一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构，其特征在于：所述水冷板（1）的长度为680mm，宽度为175mm。
4.根据权利要求1所述的一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构，其特征在于：所述水管（2）的长度为562mm。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201821944540.5U CN209522915U (zh) | 2018-11-24 | 2018-11-24 | 一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构 |
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| CN201821944540.5U CN209522915U (zh) | 2018-11-24 | 2018-11-24 | 一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构 |
Publications (1)
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| CN209522915U true CN209522915U (zh) | 2019-10-22 |
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| CN201821944540.5U Withdrawn - After Issue CN209522915U (zh) | 2018-11-24 | 2018-11-24 | 一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构 |
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| CN (1) | CN209522915U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113251965A (zh) * | 2021-06-30 | 2021-08-13 | 苏州佑伦真空设备科技有限公司 | 一种真空蒸镀机的易冷却探头结构 |
| CN113804422A (zh) * | 2021-08-12 | 2021-12-17 | 北京航天动力研究所 | 一种新型超转试验隔热装置 |
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2018
- 2018-11-24 CN CN201821944540.5U patent/CN209522915U/zh not_active Withdrawn - After Issue
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