CN209487472U - 投入式石英碳素加热槽 - Google Patents

Abstract

本实用新型为了解决现有的循环槽的密封性达不到完全隔绝化学药剂的效果，提供了一种包括聚丙烯外槽体、石英内槽体、Z型石英碳素加热器、铁氟龙槽盖和液压缸的投入式石英碳素加热槽，石英内槽体安装于聚丙烯外槽体中，石英内槽体的槽底固设有承托Z型石英碳素加热器的托块，聚丙烯外槽体的槽口处安装有密封垫，铁氟龙槽盖采用转轴安装于槽体顶部，液压缸作为动力源带动铁氟龙槽盖旋转打开和关闭，实现了槽盖的一键开关功能，液压缸将槽盖紧压在密封垫上，能有效隔绝槽内化学药剂散出，保护操作人员安全。

Description

投入式石英碳素加热槽

技术领域

本实用新型涉及晶圆清洗设备技术领域，特别是指用于承装清洗溶液的投入式石英碳素加热槽。

背景技术

投入式石英碳素加热槽是以石英碳素加热器直接对槽内的清洗溶液进行加热。晶圆清洗使用的某些化学药剂具有挥发性，严重危害操作人员的身体健康，循环槽需要有极佳的密封性能去阻隔挥发的化学药剂，但是现有的循环槽的密封性还达不到完全隔绝的效果，还需要进一步改进。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：如何提高投入式石英碳素加热槽的密封性能，使其能够完全阻隔挥发的化学药剂。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案如下：

投入式石英碳素加热槽，包括聚丙烯外槽体、石英内槽体、Z型石英碳素加热器、铁氟龙槽盖和液压缸，所述石英内槽体安装于所述聚丙烯外槽体中，所述石英内槽体的槽底固设有承托所述Z型石英碳素加热器的托块，所述Z型石英碳素加热器的电连接端从所述石英内槽体的槽口向外弯折延伸至所述聚丙烯外槽体的外部；所述聚丙烯外槽体的槽口处安装有密封垫，所述密封垫的底部对应所述Z型石英碳素加热器的电连接端设置有让位凹槽；所述铁氟龙槽盖采用转轴安装于所述槽体顶部，所述液压缸作为动力源带动所述铁氟龙槽盖旋转。

优选的，所述铁氟龙槽盖与所述转轴固连，所述液压缸的杆件与所述转轴固定，其缸体采用铰接方式固定。

优选的，所述液压缸采用纯水液压水缸。

优选的，所述铁氟龙槽盖和所述槽体共同安装有一组以上的近接式光电开关。

优选的，所述外槽体的内侧设置有一圈具有凹槽的挂台，所述石英内槽体靠近槽口处具有向外翻折并与所述凹槽配合使用的挂钩。

优选的，所述密封垫与所述挂钩之间形成一空腔，所述石英内槽体的侧板顶部延伸至空腔内并设置有斜齿结构，所述聚丙烯外槽体对应所述空腔处设置有排水管。

优选的，安装于所述石英内槽体内用于测温的元件采用PFA包覆式PT-100型热电偶。

优选的，所述聚丙烯外槽体与所述石英内槽体之间填充有隔热保温棉。

优选的，所述聚丙烯外槽体的外部设置有夹持所述Z型石英碳素加热器的夹持块。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型采用液压缸带动铁氟龙槽盖打开和关闭，实现了槽盖的一键开关功能，液压缸将槽盖紧压在密封垫上，能有效隔绝槽内化学药剂散出，保护操作人员安全；

2.本实用新型将槽体解构成内外两个槽体，石英内槽体可依清洗件尺寸订制，减少了化学药剂浪费；

3.本实用新型中用于测温的PFA包覆式PT-100型热电偶搭配温控器及SCR(电力调整器)使用,可精确控温于正负0.2°；

4.本实用新型中的石英内槽体与聚丙烯外槽体间填充隔热保温棉，确保升温温度不流失；

5.本实用新型中的近接式光电开关与纯水液压水缸配合使用，可二次确认水缸的磁性开关动作，保证了槽盖的密封性；

6.本实用新型中的Z型石英碳素加热器从上至下投入内槽体内，并可根据清洗温度和清洗时间等因素快速更换对应功率的加热器，不仅提高了清洗效率，还节能环保；

7.本实用新型中的石英内槽体中盛装的清洗药液从斜齿溢出至空腔内，并由排水管排出，不打开槽盖就可实现槽内清洗药液的检测，非常便捷；

8.本实用新型中的内槽体配合循环管路使用，不断向内槽体内注入纯净的清洗药液与已污染的清洗药液混合，并通过溢流方式，以外部检测混合药液的纯度去控制循环管路的通断。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1是实施例一中公开的投入式石英碳素加热槽的立体图；

图2是实施例一中公开的投入式石英碳素加热槽的主视图；

图3是实施例一中公开的投入式石英碳素加热槽的俯视图；

图4是实施例一中公开的投入式石英碳素加热槽的侧视图；

图5是实施例二中公开的槽体的剖视图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

实施例一

如图1-4所示，投入式石英碳素加热槽包括聚丙烯外槽体10、石英内槽体20、Z型石英碳素加热器30、铁氟龙槽盖40和液压缸50，石英内槽体安装于聚丙烯外槽体中，石英内槽体的槽底固设有承托Z型石英碳素加热器的托块23，Z型石英碳素加热器的电连接端31从石英内槽体的槽口向外弯折延伸至聚丙烯外槽体的外部；聚丙烯外槽体的槽口处安装有密封垫100，密封垫的底部对应Z型石英碳素加热器的电连接端设置有让位凹槽101；外槽体的顶部固设有转轴60，铁氟龙槽盖40与转轴固连，液压缸50的杆件与转轴固定，其缸体采用铰接方式固定，液压缸作为动力源带动铁氟龙槽盖旋转实现槽盖的一键开关功能，槽盖在关闭状态下，液压缸将槽盖紧压在密封垫上，能有效隔绝槽内化学药剂散出，保护操作人员安全。

液压缸可采用纯水液压水缸，铁氟龙槽盖和槽体共同安装有一组以上的近接式光电开关(图中未示出)。纯水液压水缸与近接式光电开关配合使用，可二次确认水缸的磁性开关动作，保证了槽盖的密封性。

聚丙烯外槽体与石英内槽体之间填充有隔热保温棉70，安装于石英内槽体内用于测温的元件采用PFA包覆式PT-100型热电偶，此型号的热电偶搭配温控器及SCR(电力调整器)使用,可精确控温于正负0.2°。

聚丙烯外槽体的外部设置有夹持Z型石英碳素加热器的夹持块80，在更换加热器时，只需将密封垫和夹持块和/或槽盖拆除即可实现加热器的快换。

实施例二

本实施例基于实施例一。

如图5所示，外槽体的内侧设置有一圈具有凹槽的挂台11，石英内槽体靠近槽口处具有向外翻折并与凹槽配合使用的挂钩21。密封垫与挂钩之间形成一空腔90，石英内槽体的侧板顶部延伸至空腔内并设置有斜齿结构22，聚丙烯外槽体对应空腔处设置有排水管。石英内槽体中盛装的清洗药液从斜齿溢出至空腔内，并由排水管排出，不打开槽盖就可实现槽内清洗药液的检测。内槽体配合循环管路使用，不断向内槽体内注入纯净的清洗药液与已污染的清洗药液混合，并通过溢流方式，以外部检测混合药液的纯度去控制循环管路的通断。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (9)

1.投入式石英碳素加热槽，其特征在于，包括聚丙烯外槽体、石英内槽体、Z型石英碳素加热器、铁氟龙槽盖和液压缸，所述石英内槽体安装于所述聚丙烯外槽体中，所述石英内槽体的槽底固设有承托所述Z型石英碳素加热器的托块，所述Z型石英碳素加热器的电连接端从所述石英内槽体的槽口向外弯折延伸至所述聚丙烯外槽体的外部；所述聚丙烯外槽体的槽口处安装有密封垫，所述密封垫的底部对应所述Z型石英碳素加热器的电连接端设置有让位凹槽；所述铁氟龙槽盖采用转轴安装于所述槽体顶部，所述液压缸作为动力源带动所述铁氟龙槽盖旋转。

2.根据权利要求1所述的投入式石英碳素加热槽，其特征在于，所述铁氟龙槽盖与所述转轴固连，所述液压缸的杆件与所述转轴固定，其缸体采用铰接方式固定。

3.根据权利要求1所述的投入式石英碳素加热槽，其特征在于，所述液压缸采用纯水液压水缸。

4.根据权利要求3所述的投入式石英碳素加热槽，其特征在于，所述铁氟龙槽盖和所述槽体共同安装有一组以上的近接式光电开关。

5.根据权利要求1所述的投入式石英碳素加热槽，其特征在于，所述外槽体的内侧设置有一圈具有凹槽的挂台，所述石英内槽体靠近槽口处具有向外翻折并与所述凹槽配合使用的挂钩。

6.根据权利要求5所述的投入式石英碳素加热槽，其特征在于，所述密封垫与所述挂钩之间形成一空腔，所述石英内槽体的侧板顶部延伸至空腔内并设置有斜齿结构，所述聚丙烯外槽体对应所述空腔处设置有排水管。

7.根据权利要求1所述的投入式石英碳素加热槽，其特征在于，安装于所述石英内槽体内用于测温的元件采用PFA包覆式PT-100型热电偶。

8.根据权利要求1所述的投入式石英碳素加热槽，其特征在于，所述聚丙烯外槽体与所述石英内槽体之间填充有隔热保温棉。

9.根据权利要求1所述的投入式石英碳素加热槽，其特征在于，所述聚丙烯外槽体的外部设置有夹持所述Z型石英碳素加热器的夹持块。