CN209389007U - 一种耐蚀刻型干刻设备观察窗 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种耐蚀刻型干刻设备观察窗，属于半导体设备制造的技术领域。一种耐蚀刻型干刻设备观察窗包括金属材料的圆盘形观察窗主体，并在观察窗主体上且位于连接密封腔的腔体的一端面上同轴设置有凸起的环形金属防蚀筋条，同时，观察窗主体上呈环形阵列开设有若干固定孔；本实用新型通过选用金属材料，提升了防蚀刻的能力，延长了使用寿命，使用成本更低；并且在观察窗主体贴合腔体的一侧设置有凸起的防蚀筋条，防蚀筋条设置于密封圈的内侧，防止了电浆对密封圈的直接蚀刻，延长了密封圈的使用寿命，且提升了密封性能，并且在维护清扫时无需更换新配件，操作更方便，效率更高，产品质量更好，还能降低因维护耽误带来的损失。

Description

一种耐蚀刻型干刻设备观察窗

技术领域

本实用新型涉及半导体设备制造的技术领域，具体是涉及一种耐蚀刻型干刻设备观察窗。

背景技术

目前，市面上用于干刻设备的反应腔体一般设置有两个观察窗，观察窗的主要成分为石英材料，可通过观察窗查看反应腔内的反应情况。但是，在实际运用中，在腔体内没有形成电浆时，无法通过观察窗观察到腔体内的情况，甚至在腔体内形成电浆后也难以观察到反映腔体内的情况，或者只能观察到腔体内部的小部分的空间，对于观察腔体内部情况的指导意义不强，实际使用意义不大。并且这种采用石英材料的观察窗，在长时间使用的情况下，石英的观察窗口容易被腐蚀，存在密封腔体泄露的风险，同时，由于观察窗结构的限制，密封腔和观察窗的连接处需要设置密封圈来实现密封，但密封圈会在长时间的电浆蚀刻下慢慢损耗，导致密封圈损坏，同样会造成密封腔的泄露问题，并且在密封腔泄漏后需要将观察窗打开并且重新清扫，耽误生产进度，生产效率较低。

发明内容

针对现有技术中存在的上述问题，现旨在提供一种耐蚀刻型干刻设备观察窗，以将原观察窗的石英材料替换成金属材料，提升了防电浆蚀刻的能力，并且在观察窗的上且位于安装于密封腔的腔体一侧的面上设置有凸起的筋条结构，且筋条结构位于观察窗和腔体之间的密封圈的内径的一侧，有效防止了电浆对腔体和观察窗之间的密封圈的蚀刻，防止密封失效而引起泄露问题，生产产品质量保障性更高，并且在每次腔体维护时，只需拆卸后清扫便能重新安装，无需更换，且使用寿命更长，使用成本更低，防止生产进度的耽误而造成损失的问题。

具体技术方案如下：

一种耐蚀刻型干刻设备观察窗，具有这样的特征，包括：观察窗主体和密封圈，观察窗主体呈圆盘形设置，观察窗主体与外接密封腔的腔体连接的一端面设置有密封圈，同时，在观察窗主体上且与观察窗主体同轴设置有一凸起的防蚀筋条，且防蚀筋条呈环形设置，防蚀筋条设置于观察窗主体靠近外接腔体的一端面上，且防蚀筋条还设置于密封圈的内径的一侧，同时，防蚀筋条的外侧壁抵靠在腔体的侧壁上。

上述的一种耐蚀刻型干刻设备观察窗，其中，观察窗主体上呈环形阵列开设有若干固定孔。

上述的一种耐蚀刻型干刻设备观察窗，其中，固定孔中均设置有螺纹紧固件，且螺纹紧固件穿过固定孔后与密封腔的腔体螺纹连接。

上述的一种耐蚀刻型干刻设备观察窗，其中，固定孔均设置于防蚀筋条的外侧。

上述的一种耐蚀刻型干刻设备观察窗，其中，密封圈的内径一侧的壁体抵靠在防蚀筋条的外侧壁上。

上述的一种耐蚀刻型干刻设备观察窗，其中，防蚀筋条的材料为金属材料。

上述技术方案的积极效果是：将观察窗主体采用金属材料制作，有效提升了防电浆蚀刻的能力，延长观察窗的使用寿命，同时，在观察窗主体上设置有环形的防蚀筋条，且防蚀筋条设置于密封圈的内径的一侧，能有效防止电浆对密封圈的蚀刻，延长密封圈的使用寿命，保证了密封腔的密封性能，生产的产品质量保障性更高，并且每次腔体维护时，只需拆卸后清扫便能重新安装，无需更换观察窗，使用成本更低，还能防止耽误生产进度而造成损失的问题。

附图说明

图1为本实用新型的一种耐蚀刻型干刻设备观察窗的实施例的结构图；

图2为本实用新型一较佳实施例的一视角的结构图。

附图中：1、观察窗主体；2、防蚀筋条；3、密封圈；4、固定孔。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，以下实施例结合附图1至附图2对本实用新型提供的技术方案作具体阐述，但以下内容不作为本实用新型的限定。

图1为本实用新型的一种耐蚀刻型干刻设备观察窗的实施例的结构图；图2为本实用新型一较佳实施例的一视角的结构图。如图1和图2所示，本实施例提供的耐蚀刻型干刻设备观察窗包括：设置于密封腔(图中未示出)的腔体上的两观察窗，观察窗包括观察窗主体1，每一观察窗主体1均可拆卸的连接于密封腔的腔体上，并且观察窗主体1的材料均为金属材料，提高了防电浆蚀刻的能力，延长使用寿命，在维护清扫后无需更换，使用成本更低，拆装效率更高，并且，观察窗主体1呈圆盘形设置，且观察窗主体1的一端面与密封腔的腔体贴合，并于观察窗主体1和腔体之间设置有密封圈3，实现密封腔的完全密封，同时，还于观察窗主体1贴合于腔体的一端面上同轴设置有一凸起的防蚀筋条2，防蚀筋条2呈环形设置，且防蚀筋条2设置于密封圈3的内径的一侧，有效防止了电浆直接对观察窗主体1和腔体之间的密封圈3的蚀刻，延长密封圈3的使用寿命，保障了密封圈3的密封性能，防止了长时间使用后，密封圈3被蚀刻而造成密封腔泄露的问题，安全保障性更高，从而提升了产品的质量，降低使用成本。

具体的，观察窗主体1上呈环形阵列开设有若干固定孔4，且固定孔4均位于防蚀筋条2的外侧，保证了防蚀筋条2能第一时间将电浆阻挡，防止电浆对处于观察窗主体1和腔体之间的密封圈3的腐蚀，同时，固定孔4均通过螺纹紧固件连接于密封腔的腔体上，连接更牢固，拆装更方便。

作为优选的实施方式，密封圈3的内径一侧的壁体抵靠在防蚀筋条2的外侧壁上，实现了密封圈3的全方位密封，且防蚀筋条2的外侧壁还抵靠在腔体的侧壁上，通过密封圈3实现密封腔的密封，并且通过防蚀筋条2防止电浆对密封圈3的蚀刻，延长密封圈3的使用寿命、提高密封性能，从而保障了密封腔的密封性，提升产品质量。

作为优选的实施方式，防蚀筋条2的材料为金属材料，在实现对密封圈3的保护的同时还能提高自身的防蚀刻能力，使用寿命更长，维护清扫时无需更换，使用成本更低，效率更高。

本实施例提供的耐蚀刻型干刻设备观察窗，包括金属材料的圆盘形观察窗主体1，并在观察窗主体1上且位于连接密封腔的腔体的一端面上同轴设置有凸起的环形金属防蚀筋条2，同时，观察窗主体1上呈环形阵列开设有若干固定孔4；通过选用金属材料，提升了防蚀刻的能力，延长了使用寿命，同时，在维护清扫时不需更换，使用成本更低；并且在观察窗主体1贴合腔体的一侧设置有凸起的防蚀筋条2，防蚀筋条2设置于密封圈3的内侧，防止了电浆对密封圈3的直接蚀刻，延长了密封圈3的使用寿命，且提升了密封性能，防止密封腔的泄露，同样降低了使用成本，并且在维护清扫时无需更换新配件，操作更方便，效率更高，产品质量更好，还能降低因维护耽误带来的损失。

以上仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。

Claims (6)

1.一种耐蚀刻型干刻设备观察窗，其特征在于，包括：观察窗主体和密封圈，所述观察窗主体呈圆盘形设置，所述观察窗主体与外接密封腔的腔体连接的一端面设置有所述密封圈，同时，在所述观察窗主体上且与所述观察窗主体同轴设置有一凸起的防蚀筋条，且所述防蚀筋条呈环形设置，所述防蚀筋条设置于所述观察窗主体靠近外接所述腔体的一端面上，且所述防蚀筋条还设置于所述密封圈的内径的一侧，同时，所述防蚀筋条的外侧壁抵靠在所述腔体的侧壁上。

2.根据权利要求1所述的耐蚀刻型干刻设备观察窗，其特征在于，所述观察窗主体上呈环形阵列开设有若干固定孔。

3.根据权利要求2所述的耐蚀刻型干刻设备观察窗，其特征在于，所述固定孔中均设置有螺纹紧固件，且所述螺纹紧固件穿过所述固定孔后与所述密封腔的所述腔体螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的耐蚀刻型干刻设备观察窗，其特征在于，所述固定孔均设置于所述防蚀筋条的外侧。

5.根据权利要求1所述的耐蚀刻型干刻设备观察窗，其特征在于，所述密封圈的内径一侧的壁体抵靠在所述防蚀筋条的外侧壁上。

6.根据权利要求1所述的耐蚀刻型干刻设备观察窗，其特征在于，所述防蚀筋条的材料为金属材料。