CN209367811U - 硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉钟罩纳米硅粉清除装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉钟罩纳米硅粉清除装置，包括钟罩、支撑架体，钟罩为多晶硅热分解炉的钟罩，钟罩的下部设置有支撑架体，支撑架体包括架体和支撑环，架体的上部固定设置有支撑环，支撑环的外部设置有定位柱，架体的下部通过螺栓固定设置有旋转装置，旋转装置包括电机、旋转轴、旋转支架和防尘盒，支撑环的下底面固定设置有锥形盒，锥形盒的下部设置有收集盒，收集盒的底部设置有气管接头，气管接头与外部气源装置相连接，使得钟罩内呈负压；使用时，通过启动电机，使旋转支架清扫钟罩上吸附的纳米硅粉，并使用收集盒将纳米硅粉进行收集；本实用新型具有使用简单、收集安全方便的优点。

Description

硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉钟罩纳米硅粉清除装置

技术领域

本实用新型属于多晶硅生产技术领域，具体涉及硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉钟罩纳米硅粉清除装置。

背景技术

在生产多晶硅的过程中，在多晶硅热分解炉的夹套和钟罩内壁，会出现一些纳米硅粉的副产物，在纳米材料技术领域内，高纯度的纳米硅分颗粒是制备锂电池负极材料和电子元器件的主要原料，因此，这些副产物的价格相对于多晶硅的价格，要高昂的多，因此，需要对这些纳米硅粉进行有效收集，现在的收集方式多采用吸尘器，但是由于钟罩的体积较大，在收集时需要行车吊着，工人在钟罩内部使用吸尘器，既不安全，也不利于工人的操作，并且还很容易漏掉，造成钟罩的清理不干净，同时，由于钟罩在不使用时，往往通过吊车将其吊至某一处地面，这很容易造成钟罩与地面接触的面的污染，给后续的生产造成不良的影响；为解决上述问题，开发一种使用简单、收集安全方便的硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉钟罩纳米硅粉清除装置很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足，而提供一种使用简单、收集安全方便的硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉钟罩纳米硅粉清除装置。

本实用新型的目的是这样实现的：硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉钟罩纳米硅粉清除装置，包括钟罩、支撑架体，所述钟罩为多晶硅热分解炉的钟罩，所述钟罩的下部设置有支撑架体，所述支撑架体包括架体和支撑环，所述架体采用管型材通过焊接的方式成型，所述架体的上部通过焊接的方式固定设置有支撑环，所述支撑环的内部设置有倾斜面，所述支撑环的外部水平面上设置有定位柱，所述架体的下部通过螺栓固定设置有旋转装置，所述旋转装置包括电机、旋转轴、旋转支架和防尘盒，所述电机固定在架体的下部，所述电机的上部通过键连接设置有旋转轴，所述旋转轴上固定设置有旋转支架，所述旋转支架的前后面通过压条分别设置有橡胶板层和毛刷层，所述旋转支架的下部固定设置有防尘盒，所述防尘盒的下部设置有法兰，所述支撑环的下底面固定设置有锥形盒，所述锥形盒的下部设置有收集盒，所述收集盒挂置在法兰上，所述收集盒包括左收集盒和右收集盒，所述收集盒的后部通过铰链连接在一起，所述收集盒的前部通过锁扣连接，所述左收集盒呈半环形，所述左收集盒的内部固定设置有连接法兰，所述收集盒的底部设置有气管接头，所述气管接头的上部与过滤器相连，所述气管接头与外部气源装置相连接，使得钟罩内呈负压。

进一步地，所述支撑环与钟罩接触的表面设置有一层橡胶层，所述定位柱与钟罩上的定位孔相对应。

进一步地，所述旋转支架的最外部的边距钟罩的最内部的边的距离为20mm。

进一步地，所述旋转支架采用管型材通过焊接的方式成型。

进一步地，所述橡胶板层的厚度为10mm。

进一步地，所述毛刷层的刷毛采用耐高温刷毛。

进一步地，所述收集盒的侧面设置有把手。

进一步地，所述收集盒与锥形盒的连接处设置有橡胶密封。

进一步地，所述左收集盒与右收集盒左右对称。

进一步地，所述电机通过导线与外部控制电路进行电连接。

由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

（1）通过设置的支撑架体与钟罩相配合，使得钟罩在不使用时，有一个固定的位置，防止钟罩与地面接触造成的污染，使使用更加简单方便，同时，通过设置的定位柱，使钟罩可放置在支撑架体上的指定位置；

（2）通过设置的旋转装置与钟罩相配合，使得钟罩内表面吸附的纳米硅粉可一次清理干净，此外，脱离钟罩表面的纳米硅粉在重力及气管接头的吸附力的作用下，经锥形盒落入下方收集盒内，从而完成纳米硅粉的收集，收集的整个过程，安全简单；

（3）通过设置的收集盒，将其挂置在防尘盒的法兰上，并通过锁扣将左收集盒与右收集盒锁紧，取放时通过把手，结构简单，使用方便。

附图说明

图1是本实用新型的立体图。

图2是本实用新型去除零件1后的立体图。

图3是本实用新型的主视剖面图。

图4是图3的局部放大图。

图5是本实用新型的俯视图。

图6是本实用新型的左视图。

图7是本实用新型的零件3的立体图。

图8是本实用新型的零件5在使用时的立体图。

图9是本实用新型的零件5在打开时的立体图。

图中：1、钟罩 2、支撑架体 21、架体 22、支撑环 3、旋转装置 31、电机 32、旋转轴33、旋转支架 34、防尘盒 4、锥形盒 5、收集盒 51、左收集盒 52、右收集盒 201、倾斜面202、定位柱 301、橡胶板层 302、毛刷层 501、连接法兰 502、气管接头 3401、法兰。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案做进一步具体的说明。

如图1~图9所示，硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉钟罩纳米硅粉清除装置，包括钟罩1、支撑架体2，所述钟罩1为多晶硅热分解炉的钟罩，所述钟罩1的下部设置有支撑架体2，所述支撑架体2包括架体21和支撑环22，所述架体21采用管型材通过焊接的方式成型，所述架体21的上部通过焊接的方式固定设置有支撑环22，所述支撑环22的内部设置有倾斜面201，所述支撑环22的外部水平面上设置有定位柱202，所述支撑环22与钟罩1接触的表面设置有一层橡胶层，所述定位柱202与钟罩1上的定位孔相对应，通过设置的定位柱202，使钟罩1按指定的位置放置在支撑架体2上，通过设置的橡胶层，既起到缓冲的作用，又可以保证钟罩1与支撑环22在接触时的密封，所述架体21的下部通过螺栓固定设置有旋转装置3。

如图1~图9所示，所述旋转装置3包括电机31、旋转轴32、旋转支架33和防尘盒34，所述电机31固定在架体21的下部，所述电机31的上部的输出轴通过键连接设置有旋转轴32，所述旋转轴32上固定设置有旋转支架33，所述旋转支架33采用管型材通过焊接的方式成型，所述旋转支架33的最外部的边距钟罩1的最内部的边的距离为20mm，防止吊装时损坏旋转支架33，同时，设定的间隙，有利于清除吸附在钟罩1内表面的纳米硅粉，所述旋转支架33的前后面通过压条分别设置有橡胶板层301和毛刷层302，所述橡胶板层301的厚度为10mm，所述毛刷层302的刷毛采用耐高温刷毛，防止在吊起钟罩1时，钟罩1的内表面由于散热不及时，残留的高温对毛刷层302造成损坏，所述旋转支架33的下部固定设置有防尘盒34，所述防尘盒34的下部设置有法兰3401，所述防尘盒34防止纳米硅粉进入下方的旋转装置3内而造成的轴承运行不畅或损坏的现象发生，所述支撑环22的下底面固定设置有锥形盒4，所述锥形盒4的下部设置有收集盒5，所述收集盒5挂置在法兰3401上，所述收集盒5包括左收集盒51和右收集盒52，所述收集盒5的后部通过铰链连接在一起，所述收集盒5的前部通过锁扣连接，所述收集盒5的侧面设置有把手，所述左收集盒51呈半环形，所述左收集盒51的内部固定设置有连接法兰501，所述收集盒5的底部设置有气管接头502，所述气管接头502的上部与过滤器相连，由于过滤器作为现有成熟的产品，此处仅用于过滤气管接头502内的空气，防止纳米硅粉随气管接头502吸出，因此，此处不作过多解释，所述气管接头502与外部气源装置相连接，使得钟罩1内呈负压，使得钟罩1上的纳米硅粉在旋转装置3的清扫，使纳米硅粉在重力与气管接头502的吸力的双重作用下，经锥形盒4而落入下方的收集盒5内。

所述收集盒5与锥形盒4的连接处设置有橡胶密封，保证所吸附的纳米硅粉的纯度。

所述左收集盒51与右收集盒52左右对称。

所述电机31通过导线与外部控制电路进行电连接。

本实用新型在使用时，首先，通过吊车将钟罩1从多晶硅热分解炉上吊起至支撑架体2上，由于设置的定位柱202，保证钟罩1位于支撑架体2的指定位置；然后，通过把手将收集盒5经连接法兰501挂置在法兰3401上，同时，锁紧锁扣，并将收集盒5与锥形盒4的连接处进行密封，保证钟罩1、支撑架体2、锥形盒4和收集盒5的气密性；最后，通过启动外部的气源装置，使钟罩1内部呈负压，同时，降低了钟罩1的表面的温度，此时，启动电机31，使电机31带动旋转支架33转动，使得钟罩1上吸附的纳米硅粉在橡胶层301和毛刷层302的交替作用下脱落，使纳米硅粉在重力及气管接头502的吸力的双重作用下，经锥形盒4落入下方的收集盒5内，从而完成收集；当电机运行一段时间后，关闭电机，之后关闭外部的气源装置，此时，通过松开锁扣，手持把手将收集盒5从法兰3401上取下，从而完成纳米硅粉的清除和收集，整个收集的过程，由于钟罩1不与地面接触，保证了纳米硅粉的纯度，同时，采用电机31使收集实现自动化，使用安全方便。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对其限制，尽管参照上述实施例对本实用新型进行了详细的说明，所属领域的普通技术人员应当理解，依然可以对本实用新型的具体实施方式进行修改或者等同替换，而未脱离本实用新型精神和范围的任何修改或者等同替换，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。

Claims (10)

1.硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉钟罩纳米硅粉清除装置，包括钟罩（1）、支撑架体（2），其特征在于：所述钟罩（1）为多晶硅热分解炉的钟罩，所述钟罩（1）的下部设置有支撑架体（2），所述支撑架体（2）包括架体（21）和支撑环（22），所述架体（21）采用管型材通过焊接的方式成型，所述架体（21）的上部通过焊接的方式固定设置有支撑环（22），所述支撑环（22）的内部设置有倾斜面（201），所述支撑环（22）的外部水平面上设置有定位柱（202），所述架体（21）的下部通过螺栓固定设置有旋转装置（3），所述旋转装置（3）包括电机（31）、旋转轴（32）、旋转支架（33）和防尘盒（34），所述电机（31）固定在架体（21）的下部，所述电机（31）的上部通过键连接设置有旋转轴（32），所述旋转轴（32）上固定设置有旋转支架（33），所述旋转支架（33）的前后面通过压条分别设置有橡胶板层（301）和毛刷层（302），所述旋转支架（33）的下部固定设置有防尘盒（34），所述防尘盒（34）的下部设置有法兰（3401），所述支撑环（22）的下底面固定设置有锥形盒（4），所述锥形盒（4）的下部设置有收集盒（5），所述收集盒（5）挂置在法兰（3401）上，所述收集盒（5）包括左收集盒（51）和右收集盒（52），所述收集盒（5）的后部通过铰链连接在一起，所述收集盒（5）的前部通过锁扣连接，所述左收集盒（51）呈半环形，所述左收集盒（51）的内部固定设置有连接法兰（501），所述收集盒（5）的底部设置有气管接头（502），所述气管接头（502）的上部与过滤器相连，所述气管接头（502）与外部气源装置相连接，使得钟罩（1）内呈负压。

2.根据权利要求1所述的硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉钟罩纳米硅粉清除装置，其特征在于：所述支撑环（22）与钟罩（1）接触的表面设置有一层橡胶层，所述定位柱（202）与钟罩（1）上的定位孔相对应。

3.根据权利要求1所述的硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉钟罩纳米硅粉清除装置，其特征在于：所述旋转支架（33）的最外部的边距钟罩（1）的最内部的边的距离为20mm。

4.根据权利要求1所述的硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉钟罩纳米硅粉清除装置，其特征在于：所述旋转支架（33）采用管型材通过焊接的方式成型。

5.根据权利要求1所述的硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉钟罩纳米硅粉清除装置，其特征在于：所述橡胶板层（301）的厚度为10mm。

6.根据权利要求1所述的硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉钟罩纳米硅粉清除装置，其特征在于：所述毛刷层（302）的刷毛采用耐高温刷毛。

7.根据权利要求1所述的硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉钟罩纳米硅粉清除装置，其特征在于：所述收集盒（5）的侧面设置有把手。

8.根据权利要求1所述的硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉钟罩纳米硅粉清除装置，其特征在于：所述收集盒（5）与锥形盒（4）的连接处设置有橡胶密封。

9.根据权利要求1所述的硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉钟罩纳米硅粉清除装置，其特征在于：所述左收集盒（51）与右收集盒（52）左右对称。

10.根据权利要求1所述的硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉钟罩纳米硅粉清除装置，其特征在于：所述电机（31）通过导线与外部控制电路进行电连接。