CN209333368U - 一种半导体制作工艺用气体处理装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及机床加工技术领域，具体为一种半导体制作工艺用气体处理装置，包括主管道，主管道右端设置有两组过滤组件，且过滤组件以主管道为轴心对称分布，过滤组件包括弯管一、套筒一、过滤管、套筒二和弯管二，且套筒一设置在弯管一右端，在更换过滤组件中的活性炭时，通过关闭其中一组过滤组件上的弯管一和弯管二上的阀门，气体便不会再从该组过滤组件中通过，进而便可以对该组过滤组件中的活性炭进行更换，而在更换该组过滤组件的同时，气体可以从另一组过滤组件中通过并进行过滤，从而不会影响到工序的正常进行，该种半导体制作工艺用气体处理装置，更换活性炭时无需停止运行装置，从而解决了更换活性炭时需要停止运行装置的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种半导体制作工艺用气体处理装置。
背景技术
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连。
现有的半导体制作工艺用气体处理装置，需要对气体进行除尘处理，避免气体在使用时因粉尘而产生爆炸，但在更换装置内的活性炭时，往往需要停止装置的运行，进而影响到了工作的正常进行，且现有的除尘设备中，极少能对气体的温度进行调节，往往需要单独的条纹设备来调节气体的温度，处理过程过于复杂，且成本较高。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
本实用新型的目的在于提供一种半导体制作工艺用气体处理装置，以解决上述背景技术中提出的更换装置内的活性炭时，往往需要停止运行装置的问题。
(二)技术方案
为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种半导体制作工艺用气体处理装置，包括主管道，所述主管道右端设置有两组过滤组件，且过滤组件以主管道为轴心对称分布，所述过滤组件包括弯管一、套筒一、过滤管、套筒二和弯管二，且套筒一设置在弯管一右端，所述套筒一通过螺纹与弯管一转动连接，且过滤管设置在套筒一右端，所述过滤管通过螺纹与套筒一转动连接，且套筒二设置在过滤管右端，所述套筒二通过螺纹与过滤管转动连接，且弯管二设置在套筒二右端，所述弯管二通过螺纹与套筒二转动连接，且过滤管外侧设置有连接杆，所述连接杆左端与弯管一焊接，且连接杆右端与弯管二焊接，所述过滤管内侧左端通过螺纹转动连接有盖板，且盖板上开有若干个通口二，所述盖板左端焊接有握块，且过滤管左端开有若干个通口一；所述弯管二之间设置有调温管，且调温管上端焊接有进气管，所述调温管内部左侧开有进气槽，且调温管内部右侧开有放置槽，所述放置槽中安装有螺旋盘管，且螺旋盘管左右两端均与调温管通过螺丝固定连接。
进一步优点，所述弯管一远离套筒一的一端均与主管道焊接，且主管道和弯管一均相互连通。
进一步优点，所述弯管一与弯管二中部均安装有阀门。
进一步优点，所述弯管一、套筒一、过滤管、套筒二和弯管二相互连通。
进一步优点，所述过滤管中装有活性炭。
进一步优点，所述弯管二均与调温管焊接，且弯管二均与进气槽连通。
进一步优点，所述所述进气管与进气槽连通，且螺旋盘管左端与进气槽连通，所述螺旋盘管右端与外界连通。
(三)有益效果
与现有技术相比，本实用新型提供了一种半导体制作工艺用气体处理装置，具备以下有益效果：
1、该种半导体制作工艺用气体处理装置，装置中设置有两组过滤组件，在需要更换过滤组件中的活性炭时，可以对两组过滤组件中的活性炭进行逐一更换，通过关闭其中一组过滤组件上的弯管一和弯管二上的阀门，气体便不会再从该组过滤组件中通过，进而便可以对该组过滤组件中的活性炭进行更换，而在更换该组过滤组件的同时，气体可以从另一组过滤组件中通过并进行过滤，从而不会影响到工序的正常进行。
2、该种半导体制作工艺用气体处理装置，可以通过进气管将热气或冷气加入到进气槽，当气体从弯管二将进入到进气槽中时，气体便能和热气或冷气混合在一起，从而改变气体的温度，达到调节气体的温度的效果，其通过螺旋盘管，增长了混合气体在调温管中流通的时间和路程，进而能使得气体与热气或冷气充分混合在一起，使得气体混合后的温度更加均匀。
附图说明
图1为本实用新型整体结构外部示意图；
图2为本实用新型过滤管结构内部示意图。
图3为本实用新型调温管结构内部示意图。
图中：1主管道、2过滤组件、3弯管一、4套筒一、5过滤管、6套筒二、7连接杆、 8弯管二、9调温管、10进气管、11通口一、12盖板、13通口二、14握块、15进气槽、 16放置槽、17螺旋盘管。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
请参阅图1-3，一种半导体制作工艺用气体处理装置，包括主管道1，主管道1右端设置有两组过滤组件2，且过滤组件2以主管道1为轴心对称分布，过滤组件2包括弯管一3、套筒一4、过滤管5、套筒二6和弯管二8，且套筒一4设置在弯管一3右端，套筒一4通过螺纹与弯管一3转动连接，且过滤管5设置在套筒一4右端，过滤管5通过螺纹与套筒一4转动连接，且套筒二6设置在过滤管5右端，套筒二6通过螺纹与过滤管5转动连接，且弯管二8设置在套筒二6右端，弯管二8通过螺纹与套筒二6转动连接，且过滤管5外侧设置有连接杆7，连接杆7左端与弯管一3焊接，且连接杆7右端与弯管二8 焊接，过滤管5内侧左端通过螺纹转动连接有盖板12，且盖板12上开有若干个通口二13，盖板12左端焊接有握块14，且过滤管5左端开有若干个通口一11，弯管一3远离套筒一 4的一端均与主管道1焊接，且主管道1和弯管一3均相互连通，弯管一3与弯管二8中部均安装有阀门，弯管一3、套筒一4、过滤管5、套筒二6和弯管二8相互连通，过滤管 5中装有活性炭，在需要更换装置中的活性炭时，可以对两组过滤组件2中的活性炭进行逐一更换，通过关闭其中一组过滤组件2上的弯管一3与弯管二8的阀门，气体便无法再从该组过滤组件2中通过，进而可以对该组过滤组件2中的活性炭进行更换，更换时先转动套筒一4和套筒二6，将套筒一4和套筒二6转动远离过滤管5，使得过滤管5与套筒一4和套筒二6分开，以此便可以将过滤管5取下，然后再握住握块14将盖板12从过滤管5中转动取出，从而便可以将过滤管5中的活性炭进行更换，且在更换其中一组过滤组件2中活性炭的同时，气体可以从另一组过滤组件2中通过进行过滤，从而不会影响到工作的正常进行。
本实施例弯管二8之间设置有调温管9，且调温管9上端焊接有进气管10，调温管9内部左侧开有进气槽15，且调温管9内部右侧开有放置槽16，放置槽16中安装有螺旋盘管17，且螺旋盘管17左右两端均与调温管9通过螺丝固定连接，弯管二8均与调温管9 焊接，且弯管二8均与进气槽15连通，进气管10与进气槽15连通，且螺旋盘管17左端与进气槽15连通，螺旋盘管17右端与外界连通，且在使用装置时，可以通过进气管10 将热气或冷气加入到调温管9中的进气槽15中，当气体进入到进气槽15时，便会与热气或冷气混合在一起，从而利用热气或冷气来改变气体的温度，从而达到调节气体温度的效果，气体与热气或冷气在进气槽15中混合后，再一同进入到螺旋盘管17中，通过螺旋盘管17来增加气体在调温管9中流通的时间和路程，进而使气体与热气或冷气充分混合在一起，使得气体混合后的温度更加均匀。
上述实施例中运用的1主管道、2过滤组件、3弯管一、4套筒一、5过滤管、6套筒二、7连接杆、8弯管二、9调温管、10进气管、11通口一、12盖板、13通口二、14握块、15进气槽、16放置槽、17螺旋盘管均可通过市场购买或私人定制获得。
上述实施例对本实用新型的具体描述，只用于对本实用新型进行进一步说明，不能理解为对本实用新型保护范围的限定，本领域的技术工程师根据上述实用新型的内容对本实用新型作出一些非本质的改进和调整均落入本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种半导体制作工艺用气体处理装置，包括主管道(1)，其特征在于：所述主管道(1)右端设置有两组过滤组件(2)，且过滤组件(2)以主管道(1)为轴心对称分布，所述过滤组件(2)包括弯管一(3)、套筒一(4)、过滤管(5)、套筒二(6)和弯管二(8)，且套筒一(4)设置在弯管一(3)右端，所述套筒一(4)通过螺纹与弯管一(3)转动连接，且过滤管(5)设置在套筒一(4)右端，所述过滤管(5)通过螺纹与套筒一(4)转动连接，且套筒二(6)设置在过滤管(5)右端，所述套筒二(6)通过螺纹与过滤管(5)转动连接，且弯管二(8)设置在套筒二(6)右端，所述弯管二(8)通过螺纹与套筒二(6)转动连接，且过滤管(5)外侧设置有连接杆(7)，所述连接杆(7)左端与弯管一(3)焊接，且连接杆(7)右端与弯管二(8)焊接，所述过滤管(5)内侧左端通过螺纹转动连接有盖板(12)，且盖板(12)上开有若干个通口二(13)，所述盖板(12)左端焊接有握块(14)，且过滤管(5)左端开有若干个通口一(11)；所述弯管二(8)之间设置有调温管(9)，且调温管(9)上端焊接有进气管(10)，所述调温管(9)内部左侧开有进气槽(15)，且调温管(9)内部右侧开有放置槽(16)，所述放置槽(16)中安装有螺旋盘管(17)，且螺旋盘管(17)左右两端均与调温管(9)通过螺丝固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种半导体制作工艺用气体处理装置，其特征在于：所述弯管一(3)远离套筒一(4)的一端均与主管道(1)焊接，且主管道(1)和弯管一(3)均相互连通。
3.根据权利要求1所述的一种半导体制作工艺用气体处理装置，其特征在于：所述弯管一(3)与弯管二(8)中部均安装有阀门。
4.根据权利要求1所述的一种半导体制作工艺用气体处理装置，其特征在于：所述弯管一(3)、套筒一(4)、过滤管(5)、套筒二(6)和弯管二(8)相互连通。
5.根据权利要求1所述的一种半导体制作工艺用气体处理装置，其特征在于：所述过滤管(5)中装有活性炭。
6.根据权利要求1所述的一种半导体制作工艺用气体处理装置，其特征在于：所述弯管二(8)均与调温管(9)焊接，且弯管二(8)均与进气槽(15)连通。
7.根据权利要求1所述的一种半导体制作工艺用气体处理装置，其特征在于：所述进气管(10)与进气槽(15)连通，且螺旋盘管(17)左端与进气槽(15)连通，所述螺旋盘管(17)右端与外界连通。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201822128857.8U CN209333368U (zh) | 2018-12-18 | 2018-12-18 | 一种半导体制作工艺用气体处理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN209333368U true CN209333368U (zh) | 2019-09-03 |
Family
ID=67757706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201822128857.8U Active CN209333368U (zh) | 2018-12-18 | 2018-12-18 | 一种半导体制作工艺用气体处理装置 |
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| CN (1) | CN209333368U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112742228A (zh) * | 2019-10-31 | 2021-05-04 | 佳能株式会社 | 含超微泡液体生产设备和含超微泡液体生产方法 |
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2018
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| US11673101B2 (en) | 2019-10-31 | 2023-06-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Ultrafine bubble-containing liquid producing apparatus and ultrafine bubble-containing liquid producing method |
| CN112742228B (zh) * | 2019-10-31 | 2023-08-29 | 佳能株式会社 | 含超微泡液体生产设备和含超微泡液体生产方法 |
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