CN209328878U - 一种石英舟退火支承台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种石英舟退火支承台，属于半导体硅片载具技术领域，解决了传统石英舟在退火工序中易发生形变的问题。主要包括两耐高温支撑架、设置在两耐高温支撑架之间的耐高温拉绳，以及由拉绳收紧的耐高温平板。本实用新型结构设计构思巧妙，槽棒由耐高温平板支承，有效防止槽棒在退火过程中发生形变，有效保证了石英舟的产品品质；拉绳式结构设计使得本实用新型具有非常强的通用性，通过调节耐高温拉绳的松紧即可任意调节耐高温平板的高度，能够适用于所有规格尺寸的石英舟；本实用新型制造成本低，操作使用方便快捷，实用性很强，应用广泛，在石英舟加工技术领域具有重要意义。

Description

一种石英舟退火支承台

技术领域

本实用新型属于半导体硅片载具技术领域，具体地说，尤其涉及一种能够有效防止石英舟在退火过程中发生形变的石英舟退火支承台。

背景技术

石英舟是一种半导体硅片承载工具，目前应用最为广泛有两个用途：1.太阳能电池片在制作过程中有一步很关键的步骤叫扩散，这个步骤中需要石英舟作为承载夹具在扩散炉固定硅太阳能电池片半成品；2.半导体硅片在制作过程中有多个工序步骤，从一道工序运输到下道工序需要石英舟承载半成品硅片，比如LED外延片生产过程中，需要多次硅片外观、产品性能检验，检验前、检验后的产品都需要石英舟承载。如说明书附图图1所示，常见的石英舟包括两侧板，以及固定在两侧板之间的两上槽棒和两下槽棒。石英舟在经过火加工工序加工后焊接点处会产生应力，所以石英舟在经过火加工后需要在退火炉内进行退火去除应力，以防止应力处发生断裂。由于石英舟槽棒为长条状结构设计，其在高温退火过程中，容易发生形变，尤其在槽棒中心位置处，也就是在槽棒的重心位置处形变更为明显，严重影响了产品品质。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术存在的不足，提供了一种能够有效防止石英舟在退火过程中发生形变的石英舟退火支承台。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种石英舟退火支承台，包括相对设置在石英舟两长侧面外侧的两个耐高温支撑架；

两所述耐高温支撑架上均设有至少两个在同一水平线上的、间隔分布的上槽棒拉绳通孔；在所述上槽棒拉绳通孔下方，两所述耐高温支撑架上还设有至少两个在同一水平线上的、间隔分布的下槽棒拉伸通孔；

所述耐高温支撑架上的其中一个上槽棒拉绳通孔与另一个所述耐高温支撑架上的其中一个上槽棒拉绳通孔构成一对拉绳通孔，该一对拉绳通孔分别连接上槽棒耐高温拉绳的两头，所述上槽棒耐高温拉绳上设有用于支承所述石英舟上槽棒的耐高温平板Ⅰ，所述上槽棒耐高温拉绳两头收紧将所述耐高温平板Ⅰ紧贴石英舟上槽棒底端；

所述耐高温支撑架上的其中一个下槽棒拉绳通孔与另一个所述耐高温支撑架上的其中一个下槽棒拉绳通孔构成一对拉绳通孔，该一对拉绳通孔分别连接下槽棒耐高温拉绳的两头，所述下槽棒耐高温拉绳上设有用于支承所述石英舟下槽棒的耐高温平板Ⅱ，所述下槽棒耐高温拉绳两头收紧将所述耐高温平板Ⅱ紧贴石英舟上槽棒底端。

优选地，所述耐高温支撑架的材质为耐高温陶瓷纤维无机板；所述耐高温平板Ⅰ、所述耐高温平板Ⅱ的材质为耐高温陶瓷纤维无机板；所述上槽棒耐高温拉绳和下槽棒耐高温拉绳均为耐高温陶瓷纤维绳。

优选地，所述耐高温平板Ⅰ底部开设有便于所述上槽棒耐高温拉绳承载的、截面呈圆弧状的凹槽；所述耐高温平板Ⅱ底部开设有便于所述下槽棒耐高温拉绳承载的、截面呈圆弧状的凹槽。

优选地，所述上槽棒耐高温拉绳两头分别连接的两所述上槽棒拉绳通孔的位置相互对应；所述下槽棒耐高温拉绳两头分别连接的两所述下槽棒拉绳通孔的位置相互对应。

优选地，所述耐高温支撑架的截面呈T型状。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型结构设计构思巧妙，槽棒由耐高温平板支承，有效防止槽棒在退火过程中发生形变，有效保证了石英舟的产品品质；拉绳式结构设计使得本实用新型具有非常强的通用性，通过调节耐高温拉绳的松紧即可任意调节耐高温平板的高度，能够适用于所有规格尺寸的石英舟；本实用新型制造成本低，操作使用方便快捷，实用性很强，应用广泛，在石英舟加工技术领域具有重要意义。

附图说明

图1是市面常见石英舟结构示意图；

图2是本实用新型耐高温支撑架结构示意图；

图3是本实用新型使用时结构示意图。

图中：1.耐高温支撑架；2.上槽棒拉绳通孔；3.下槽棒拉绳通孔；4.上槽棒耐高温拉绳；5.耐高温平板Ⅰ；6.下槽棒耐高温拉绳；7.耐高温平板Ⅱ；8.石英舟上槽棒；9.石英舟下槽棒。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进一步说明：

一种石英舟退火支承台，包括相对设置在石英舟两长侧面外侧的两个耐高温支撑架1；

两所述耐高温支撑架1上均设有至少两个在同一水平线上的、间隔分布的上槽棒拉绳通孔2；在所述上槽棒拉绳通孔2下方，两所述耐高温支撑架1上还设有至少两个在同一水平线上的、间隔分布的下槽棒拉绳通孔3；

所述耐高温支撑架1上的其中一个上槽棒拉绳通孔2与另一个所述耐高温支撑架1上的其中一个上槽棒拉绳通孔2构成一对拉绳通孔，该一对拉绳通孔分别连接上槽棒耐高温拉绳4的两头，所述上槽棒耐高温拉绳4上设有用于支承所述石英舟上槽棒的耐高温平板Ⅰ5，所述上槽棒耐高温拉绳4两头收紧将所述耐高温平板Ⅰ5紧贴石英舟上槽棒8底端；

所述耐高温支撑架1上的其中一个下槽棒拉绳通孔3与另一个所述耐高温支撑架1上的其中一个下槽棒拉绳通孔3构成一对拉绳通孔，该一对拉绳通孔分别连接下槽棒耐高温拉绳6的两头，所述下槽棒耐高温拉绳6上设有用于支承所述石英舟下槽棒的耐高温平板Ⅱ7，所述下槽棒耐高温拉绳6两头收紧将所述耐高温平板Ⅱ7紧贴石英舟下槽棒9底端。

优选地，所述耐高温支撑架1的材质为耐高温陶瓷纤维无机板；所述耐高温平板Ⅰ5、所述耐高温平板Ⅱ7的材质为耐高温陶瓷纤维无机板；所述上槽棒耐高温拉绳4和下槽棒耐高温拉绳6均为耐高温陶瓷纤维绳。

优选地，所述耐高温平板Ⅰ5底部开设有便于所述上槽棒耐高温拉绳4承载的、截面呈圆弧状的凹槽；所述耐高温平板Ⅱ7底部开设有便于所述下槽棒耐高温拉绳6承载的、截面呈圆弧状的凹槽。

优选地，所述上槽棒耐高温拉绳4两头分别连接的两所述上槽棒拉绳通孔2的位置相互对应；所述下槽棒耐高温拉绳6两头分别连接的两所述下槽棒拉绳通孔3的位置相互对应。

优选地，所述耐高温支撑架1的截面呈T型状。

实施例1：

本实用新型包括截面呈T型的耐高温支撑架1，两耐高温支撑架1相对设置在石英舟两长侧面的外侧；两耐高温支撑架1上均设有两个在同一水平线上的、间隔分布的上槽棒拉绳通孔2；在上槽棒拉绳通孔2下方，两耐高温支撑架1上还设有两个在同一水平线上的、间隔分布的下槽棒拉绳通孔3；耐高温支撑架1上的其中一个上槽棒拉绳通孔2与另一个耐高温支撑架1上的上槽棒拉绳通孔2构成一对拉绳通孔，该一对拉绳通孔分别连接上槽棒耐高温拉绳4的两头，上槽棒耐高温拉绳4上设有用于支承石英舟上槽棒的耐高温平板Ⅰ5，上槽棒耐高温拉绳4两头收紧将耐高温平板Ⅰ5紧贴石英舟上槽棒8底端；耐高温支撑架1上的其中一个下槽棒拉绳通孔3与另一个耐高温支撑架1上的其中一个下槽棒拉绳通孔3构成一对拉绳通孔，该一对拉绳通孔分别连接下槽棒耐高温拉绳6的两头，下槽棒耐高温拉绳6上设有用于支承石英舟下槽棒的耐高温平板Ⅱ7，下槽棒耐高温拉绳6两头收紧将耐高温平板Ⅱ7紧贴石英舟下槽棒9底端。

具体使用方法为：两耐高温支撑架1位置相对应的两个上槽棒拉绳通孔之间设有上槽棒耐高温拉绳4，上槽棒耐高温拉绳4一头穿过其中一个上槽棒拉绳通孔并打结固定，另一头穿过另外一个上槽棒拉绳通孔以备用；同理操作另外一对槽棒拉绳通孔。在两根上槽棒耐高温拉绳4上支承耐高温平板Ⅰ5，此时收紧两根上槽棒耐高温拉绳4直至耐高温平板Ⅰ5紧贴石英舟上槽棒8，收紧后将上槽棒耐高温拉绳4的另一头打结固定。以同样的方法将耐高温平板Ⅱ7紧贴在石英舟下槽棒9下方。耐高温平板Ⅰ5、耐高温平板Ⅱ7的支承，有效阻止了石英舟槽棒在退火过程发生形变的可能性。

本实施例结构设计构思巧妙，槽棒由耐高温平板支承，有效防止槽棒在退火过程中发生形变，有效保证了石英舟的产品品质；拉绳式结构设计使得本实施例具有非常强的通用性，通过调节耐高温拉绳的松紧即可任意调节耐高温平板的高度，能够适用于所有规格尺寸的石英舟；本实施例制造成本低，操作使用方便快捷，实用性很强，应用广泛，在石英舟加工技术领域具有重要意义。

实施例2：

本实施例在实施例1的基础上，选择耐高温陶瓷纤维无机板作为耐高温支撑架1、耐高温平板Ⅰ5、耐高温平板Ⅱ7的材质；上槽棒耐高温拉绳4和下槽棒耐高温拉绳6均为耐高温陶瓷纤维绳。

实施例3：

本实施例在实施例1的基础上，在耐高温平板Ⅰ5底部开设有便于所述上槽棒耐高温拉绳4承载的、截面呈圆弧状的凹槽；在耐高温平板Ⅱ7底部开设有便于下槽棒耐高温拉绳6承载的、截面呈圆弧状的凹槽。凹槽的设计使得耐高温平板Ⅰ5和耐高温平板Ⅱ7稳固、不滑落。

综上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用来限定本实用新型实施的范围，凡依本实用新型权利要求范围所述的形状、构造、特征及精神所为的均等变化与修饰，均应包括于本实用新型的权利要求范围内。

Claims (5)

1.一种石英舟退火支承台，其特征在于：包括相对设置在石英舟两长侧面外侧的两个耐高温支撑架；

两所述耐高温支撑架上均设有至少两个在同一水平线上的、间隔分布的上槽棒拉绳通孔；在所述上槽棒拉绳通孔下方，两所述耐高温支撑架上还设有至少两个在同一水平线上的、间隔分布的下槽棒拉绳通孔；

所述耐高温支撑架上的其中一个上槽棒拉绳通孔与另一个所述耐高温支撑架上的其中一个上槽棒拉绳通孔构成一对拉绳通孔，该一对拉绳通孔分别连接上槽棒耐高温拉绳的两头，所述上槽棒耐高温拉绳上设有用于支承所述石英舟上槽棒的耐高温平板Ⅰ，所述上槽棒耐高温拉绳两头收紧将所述耐高温平板Ⅰ紧贴石英舟上槽棒底端；

所述耐高温支撑架上的其中一个下槽棒拉绳通孔与另一个所述耐高温支撑架上的其中一个下槽棒拉绳通孔构成一对拉绳通孔，该一对拉绳通孔分别连接下槽棒耐高温拉绳的两头，所述下槽棒耐高温拉绳上设有用于支承所述石英舟下槽棒的耐高温平板Ⅱ，所述下槽棒耐高温拉绳两头收紧将所述耐高温平板Ⅱ紧贴石英舟下槽棒底端。

2.根据权利要求1所述的一种石英舟退火支承台，其特征在于：所述耐高温支撑架的材质为耐高温陶瓷纤维无机板；所述耐高温平板Ⅰ、所述耐高温平板Ⅱ的材质为耐高温陶瓷纤维无机板；所述上槽棒耐高温拉绳和所述下槽棒耐高温拉绳均为耐高温陶瓷纤维绳。

3.根据权利要求1所述的一种石英舟退火支承台，其特征在于：所述耐高温平板Ⅰ底部开设有便于所述上槽棒耐高温拉绳承载的、截面呈圆弧状的凹槽；所述耐高温平板Ⅱ底部开设有便于所述下槽棒耐高温拉绳承载的、截面呈圆弧状的凹槽。

4.根据权利要求1所述的一种石英舟退火支承台，其特征在于：所述上槽棒耐高温拉绳两头分别连接的两所述上槽棒拉绳通孔的位置相互对应；所述下槽棒耐高温拉绳两头分别连接的两所述下槽棒拉绳通孔的位置相互对应。

5.根据权利要求1所述的一种石英舟退火支承台，其特征在于：所述耐高温支撑架的截面呈T型状。