CN209318278U - 一种自动去边机用水洗槽装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种自动去边机用水洗槽装置，包括槽体，槽体顶部设有槽盖，槽体内部形成槽腔，槽腔内设有喷淋装置，喷淋装置包括喷头和管路，喷淋装置为多组，喷头通过管路连接，喷头均匀分布在槽腔侧壁和槽腔底面。本实用新型具有的有益效果为：结构简单，操作方便，通过在不同位置设置多组喷淋装置，可实现被清洗物品的全方位清洗，解决了被清洗物品清洗不干净、不彻底的问题，提高了生产效率，节省了人工成本，保证了物料干净无污染。

Description

一种自动去边机用水洗槽装置

技术领域

本实用新型属于半导体制造技术领域，尤其是涉及一种自动去边机用水洗槽装置。

背景技术

近年来，随着电子产品的日益普及和更新，在产业高速发展、政策利好以及技术进步等因素的共同助力下，国内半导体产业的成长势头迅猛，产业维持高速增长。

在半导体的制造过程中，水洗槽清洗工艺贯穿整个制作流程，发挥着重大作用。硅片、芯片等半导体部件在加工过程中，会用到多道药液处理工艺，为了保证半导体清洗干净且不污染下道工序，通常会进行多级水洗过程，从而将药液水清洗干净。

现有的水洗槽装置大多结构比较简单，水洗槽开口设计，容易造成水洗槽内部污染，且水流方向单一，存在硅片清洗不彻底等问题。结构复杂的水洗槽装置，占地面积大，浪费空间，且不适用于自动去边机的清洗工艺。

实用新型内容

本实用新型要解决的问题是提供一种水洗槽装置；尤其是结构紧凑、清洗彻底，且专门适合于硅片清洗的一种自动去边机用水洗槽装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种自动去边机用水洗槽装置，包括槽体，所述槽体顶部设有槽盖，所述槽体内部形成槽腔，所述槽腔内设有喷淋装置，所述喷淋装置包括喷头和管路，所述喷淋装置为多组，所述喷头通过所述管路连接，所述喷头均匀分布在所述槽腔侧壁和所述槽腔底面。

进一步的，所述喷淋装置包括第一喷淋装置、第二喷淋装置和第三喷淋装置，所述第一喷淋装置置于所述槽腔顶部，所述第一喷淋装置包括第一喷头和第一管路，所述第一喷头为多个，所述第一喷头通过所述第一管路连接，所述第一喷头均匀分布在所述槽腔侧壁上，所述第二喷淋装置置于所述槽体中部，所述第二喷淋装置包括第二喷头和第二管路，所述第二喷头为多个，所述第二喷头通过所述第二管路连接，所述第二喷头均匀分布在所述槽腔侧壁上，所述第三喷淋装置置于所述槽腔底部，所述第三喷淋装置包括第三喷头和第三管路，所述第三喷头为多个，所述第三喷头通过所述第三管路连接，所述第三喷头呈环形状均匀分布在所述槽腔底面上。

进一步的，所述槽体底部设有排水连接盒。

进一步的，所述槽腔底面设有斜坡，所述槽腔底面四周高于所述槽腔底面中心，所述槽腔底面中心处设有排水口，所述排水口与所述排水连接盒联通。

进一步的，所述槽体为圆形柱或方形柱。

进一步的，所述槽盖通过开盖装置与所述槽体连接。

进一步的，所述开盖装置包括连接杆、支撑杆和滑动装置，所述连接杆一端连接所述槽盖，所述连接杆另一端连接所述支撑杆一端，所述支撑杆另一端连接所述滑动装置，所述连接杆与所述槽盖平齐，所述连接杆与所述支撑杆垂直。

进一步的，所述滑动装置为轨道和/或直线光轴。

进一步的，所述开盖装置包括连接杆和伸缩机构，所述连接杆一端连接所述槽盖，所述连接杆另一端连接所述伸缩机构，所述连接杆与所述伸缩机构铰接，所述连接杆靠近端部位置处设有支撑杆，所述支撑杆与所述伸缩机构平行分布。

进一步的，所述伸缩机构为气缸。

本实用新型具有的优点和积极效果是：

1、本实用新型结构简单，操作方便，通过在不同位置设置多组喷淋装置，可实现被清洗物品的全方位清洗，解决了被清洗物品清洗不干净、不彻底的问题，提高了生产效率，节省了人工成本，保证了物料干净无污染。

2、本实用新型将多组喷淋装置高度集装在一个水洗槽内，相较于同类装置具有更高的集成度，占地面积小，使用方便，节省了空间。

3、本实用新型通过设置开盖装置控制槽盖的开合，方便快捷，平时将槽盖关闭，避免落入灰尘等外来物，干净卫生，且提高了清洗效率，在夹取物料的过程中，槽盖打开，便于搬运被清洗物品的机械手进出，槽盖的开合程度适用于多种大小的物料，使用范围广。

4、本实用新型槽体底部设有排水连接盒，方便废水的回收利用，节能环保。

附图说明

图1是本实用新型实施例的主视图

图2是本实用新型实施例的左视图

图3是本实用新型实施例的槽腔侧壁喷头分布示意图

图4是本实用新型实施例的槽腔底部喷头分布示意图

图5、图6是本实用新型实施例的开盖装置示意图

图中：

1、槽盖 2、槽体 3、第一喷淋装置

4、第二喷淋装置 5、槽腔 6、第三喷淋装置

7、排水口 8、排水连接盒 9、开盖装置

10、第一喷头 11、第一管路 12、第二喷头

13、第二管路 14、第三喷头 15、第三管路

16、斜坡 17、连接杆 18、支撑杆

19、滑动装置 20、伸缩机构

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型实施例做进一步描述：

如图1-2所示，一种自动去边机用水洗槽装置，包括槽体2，槽体2为圆形柱或方形柱，槽体2顶部设有槽盖1，槽盖1通过开盖装置9与槽体2连接。槽体2内部形成槽腔5，槽腔5内设有喷淋装置，喷淋装置包括喷头和管路。

喷淋装置为多组，本实施例优选三组。喷淋装置包括第一喷淋装置3、第二喷淋装置4和第三喷淋装置6。第一喷淋装置3置于槽腔5顶部，第一喷淋装置3包括第一喷头10和第一管路11，第一喷头10为多个，第一喷头10通过第一管路11连接，第一喷头10均匀分布在槽腔5侧壁上。第二喷淋装置4置于槽体2中部，第二喷淋装置4包括第二喷头12和第二管路13，第二喷头12为多个，第二喷头12通过第二管路13连接，第二喷头12均匀分布在槽腔5侧壁上，第一喷头10与第二喷头12的分布如图3所示。第三喷淋装置6置于槽腔5底部，第三喷淋装置6包括第三喷头14和第三管路15，第三喷头14为多个，第三喷头14通过第三管路15连接，第三喷头14呈环形状均匀分布在槽腔5底面上，如图4所示。槽体2底部设有排水连接盒8。槽腔5底面设有斜坡16，槽腔5底面四周高于槽腔5底面中心，槽腔5底面中心处设有排水口7，排水口7与排水连接盒8联通。

如图5所示，开盖装置9为滑动式，开盖装置9包括连接杆17、支撑杆18和滑动装置19，连接杆17一端连接槽盖1，连接杆17另一端连接支撑杆18一端，支撑杆18另一端连接滑动装置19，连接杆17与槽盖1平齐，连接杆17与支撑杆18垂直。滑动装置19为可以使支撑杆18水平移动的装置，从而使支撑杆18带动连接杆17，连接杆17带动槽盖1水平移动，实现槽盖1的开合，滑动装置19可以为轨道，也可以为直线光轴等装置。

如图6所示，开盖装置9为升降式，开盖装置9包括连接杆17和伸缩机构20，连接杆17一端连接槽盖1，连接杆17另一端连接伸缩机构20，连接杆17与伸缩机构20铰接，连接杆17靠近端部位置处设有支撑杆18，支撑杆18与伸缩机构20平行分布。槽盖1以支撑杆18与连接杆17铰接处为支点，通过伸缩机构20的上下伸缩，实现槽盖1的开合，优选的，本实施例的伸缩机构20为气缸。

本实用新型实施例的工作原理是：打开槽盖1，搬运被清洗物品的机械手将被清洗物品放入槽腔5内，喷头通过管路连接供水系统，多层喷淋装置对被清洗物品进行全方位清洗，解决了被清洗物品清洗不干净、不彻底的问题，提高了生产效率，节省了人工成本，保证了物料干净无污染。喷头喷出的液体进入槽腔5后，在自身重力的作用下下沉，槽腔5底面设有斜坡16，槽腔5底面四周高于槽腔5底面中心，槽腔5底面中心处设有排水口7，排水口7与排水连接盒8联通，槽体2底部的排水连接盒8，方便废水的回收利用，节能环保。

本实用新型具有的优点和积极效果是：

1、本实用新型结构简单，操作方便，通过在不同位置设置多组喷淋装置，可实现被清洗物品的全方位清洗，解决了被清洗物品清洗不干净、不彻底的问题，提高了生产效率，节省了人工成本，保证了物料干净无污染。

2、本实用新型将多组喷淋装置高度集装在一个水洗槽内，相较于同类装置具有更高的集成度，占地面积小，使用方便，节省了空间。

3、本实用新型通过设置开盖装置控制槽盖的开合，方便快捷，平时将槽盖关闭，避免落入灰尘等外来物，干净卫生，且提高了清洗效率，在夹取物料的过程中，槽盖打开，便于搬运被清洗物品的机械手进出，槽盖的开合程度适用于多种大小的物料，使用范围广。

4、本实用新型槽体底部设有排水连接盒，方便废水的回收利用，节能环保。

以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。

Claims (10)

1.一种自动去边机用水洗槽装置，包括槽体，其特征在于：所述槽体顶部设有槽盖，所述槽体内部形成槽腔，所述槽腔内设有喷淋装置，所述喷淋装置包括喷头和管路，所述喷淋装置为多组，所述喷头通过所述管路连接，所述喷头均匀分布在所述槽腔侧壁和所述槽腔底面。

2.根据权利要求1所述的一种自动去边机用水洗槽装置，其特征在于：所述喷淋装置包括第一喷淋装置、第二喷淋装置和第三喷淋装置，所述第一喷淋装置置于所述槽腔顶部，所述第一喷淋装置包括第一喷头和第一管路，所述第一喷头为多个，所述第一喷头通过所述第一管路连接，所述第一喷头均匀分布在所述槽腔侧壁上，所述第二喷淋装置置于所述槽体中部，所述第二喷淋装置包括第二喷头和第二管路，所述第二喷头为多个，所述第二喷头通过所述第二管路连接，所述第二喷头均匀分布在所述槽腔侧壁上，所述第三喷淋装置置于所述槽腔底部，所述第三喷淋装置包括第三喷头和第三管路，所述第三喷头为多个，所述第三喷头通过所述第三管路连接，所述第三喷头呈环形状均匀分布在所述槽腔底面上。

3.根据权利要求1或2所述的一种自动去边机用水洗槽装置，其特征在于：所述槽体底部设有排水连接盒。

4.根据权利要求3所述的一种自动去边机用水洗槽装置，其特征在于：所述槽腔底面设有斜坡，所述槽腔底面四周高于所述槽腔底面中心，所述槽腔底面中心处设有排水口，所述排水口与所述排水连接盒联通。

5.根据权利要求1或2所述的一种自动去边机用水洗槽装置，其特征在于：所述槽体为圆形柱或方形柱。

6.根据权利要求1或2所述的一种自动去边机用水洗槽装置，其特征在于：所述槽盖通过开盖装置与所述槽体连接。

7.根据权利要求6所述的一种自动去边机用水洗槽装置，其特征在于：所述开盖装置包括连接杆、支撑杆和滑动装置，所述连接杆一端连接所述槽盖，所述连接杆另一端连接所述支撑杆一端，所述支撑杆另一端连接所述滑动装置，所述连接杆与所述槽盖平齐，所述连接杆与所述支撑杆垂直。

8.根据权利要求7所述的一种自动去边机用水洗槽装置，其特征在于：所述滑动装置为轨道和/或直线光轴。

9.根据权利要求6所述的一种自动去边机用水洗槽装置，其特征在于：所述开盖装置包括连接杆和伸缩机构，所述连接杆一端连接所述槽盖，所述连接杆另一端连接所述伸缩机构，所述连接杆与所述伸缩机构铰接，所述连接杆靠近端部位置处设有支撑杆，所述支撑杆与所述伸缩机构平行分布。

10.根据权利要求9所述的一种自动去边机用水洗槽装置，其特征在于：所述伸缩机构为气缸。