CN209248156U - 一种激光cts直写扫描方式mems光栅装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置,属于光学设备领域,其技术方案要点是,一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置,包括固定组件、移动光栅组件和固定光栅组件,所述固定组件包括上固定板、下固定板、上散热片和下散热片,所述上固定板位于所述下固定板的上方;通过若干个上散热片和下散热片可将激光散发的热量进行吸收扩散,且在上散热片和下散热片开设有若干个透气孔,使得气流便于流动,提高设备性能,在透光块的一周固定连接有遮光板,在透光块透光时可有效防止激光扩散,降低激光的损耗,在透光块不透光时,可将激光进行有效的隔离,防止出现漏光的现象,进一步提升设备的稳定性及精度。
Description
技术领域
本实用新型涉及光学设备领域,特别涉及一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置。
背景技术
MEMS全称微机电系统,是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置,其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统,主要由传感器、动作器和微能源三大部分组成,被广泛应用于激光CTS直写扫描方式的光栅装置内部。
现有的技术存在以下问题:
1、现有的激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置的结构较为封闭,空气无法流通,导致装置在工作时散热效果较差,从而进一步影响装置的性能。
2、现有的激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置在运行或关闭时,会存在漏光的现象,运行时,会导致激光扩散,损耗激光的能量,在关闭时,会出现漏光,降低设备的稳定性。
实用新型内容
本实用新型提供一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置,旨在解决现有的散热及漏光的问题。
本实用新型是这样实现的,一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置,包括固定组件、移动光栅组件和固定光栅组件,所述固定组件包括上固定板、下固定板、上散热片和下散热片,所述上固定板位于所述下固定板的上方,所述上固定板的底面固定连接有所述上散热片,所述下固定板的顶面固定连接有所述下散热片,所述移动光栅组件包括移动光栅支板、连接块和移动光栅,所述移动光栅支板固定连接于所述上散热片的底端,所述连接块固定连接于所述移动光栅支板的底面,所述移动光栅固定连接于所述连接块的底端,所述固定光栅组件包括固定光栅和透光块,所述固定光栅固定连接于所述下散热片的顶面,所述固定光栅的顶面固定连接有所述透光块。
优选的,所述上固定板和所述下固定板为上下对称设置,所述上散热片开设有若干个透气孔。
优选的,所述上散热片和所述下散热片的数量为若干个,分被均匀分布在所述上固定板和所述下固定板的内侧。
优选的,所述连接块的数量为两个,对称分布在所述移动光栅支板的底面两侧。
优选的,所述移动光栅开设有透光槽,且所述透光槽与所述透光块的尺寸相吻合。
优选的,所述所述移动光栅支板和所述固定光栅的尺寸相互吻合,且述移动光栅支板和所述固定光栅的固定位置相互对应。
优选的,所述若干个所述透光块均匀分布在所述固定光栅的顶面,且若干个所述透光块的一周均固定连接有遮光板。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、激光在通过光栅时,会释放热量,通过若干个上散热片和下散热片可将激光散发的热量进行吸收扩散,且在上散热片和下散热片开设有若干个透气孔,可有效增加上散热片和下散热片与空气的接触面积,并使得气流便于流动,加速将上散热片和下散热片吸收的热量进行带离,有利于光栅的冷却,提高设备性能。
2、在透光块的一周固定连接有遮光板,可将透光块的一周进行遮挡,在透光块透光时可有效防止激光扩散,降低激光的损耗,在透光块不透光时,可将激光进行有效的隔离,防止出现漏光的现象,进一步提升设备的稳定性及精度。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构图;
图2为本实用新型的上散热片结构图;
图3为本实用新型的移动光栅结构图;
图中,1、固定组件;11、上固定板;12、下固定板;13、上散热片;131、透气孔;14、下散热片;2、移动光栅组件;21、移动光栅支板;22、连接块;23、移动光栅;231、透光槽;3、固定光栅组件;31、固定光栅;32、透光块;311、遮光板。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,在本实用新型的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
请参阅图1-3,本实用新型提供一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置技术方案:一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置,包括固定组件1、移动光栅组件2和固定光栅组件3,固定组件1包括上固定板11、下固定板12、上散热片13和下散热片14,上固定板11位于下固定板12的上方,上固定板11的底面固定连接有上散热片13,下固定板12的顶面固定连接有下散热片14,移动光栅组件2包括移动光栅支板21、连接块22和移动光栅23,移动光栅支板21固定连接于上散热片13的底端,连接块22固定连接于移动光栅支板21的底面,移动光栅23固定连接于连接块22的底端,固定光栅组件3包括固定光栅31和透光块32,固定光栅31固定连接于下散热片14的顶面,固定光栅31的顶面固定连接有透光块32,激光在通过光栅时,会释放热量,通过若干个上散热片13和下散热片14可将激光散发的热量进行吸收扩散,且在上散热片13和下散热片14开设有若干个透气孔131,可有效增加上散热片13和下散热片14与空气的接触面积,并使得气流便于流动,加速将上散热片13和下散热片14吸收的热量进行带离,有利于光栅的冷却,提高设备性能,且在透光块32的一周固定连接有遮光板311,可将透光块32的一周进行遮挡,在透光块32透光时可有效防止激光扩散,降低激光的损耗,在透光块32不透光时,可将激光进行有效的隔离,防止出现漏光的现象。
具体的,上固定板11和下固定板12为上下对称设置,上散热片13开设有若干个透气孔131;上下对称设置的上固定板11和下固定板12可保证在光栅进行调整时的相互对应,透气孔131可有效增加上散热片13和下散热片14与空气的接触面积,并使得气流便于流动。
具体的,上散热片13和下散热片14的数量为若干个,分被均匀分布在上固定板11和下固定板12的内侧;通过若干个上散热片13和下散热片14,可有效增加上散热片13和下散热片14与空气的接触面积,并使得气流便于流动,加速将上散热片13和下散热片14吸收的热量进行带离,有利于光栅的冷却。
具体的,连接块22的数量为两个,对称分布在移动光栅支板21的底面两侧,可通过两个连接块22对移动光栅23的两端进行固定,便于对移动光栅23进行位置调整。
具体的,移动光栅23开设有透光槽231,且透光槽231与透光块32的尺寸相吻合;保证在进行激光穿透时的稳定性,防止尺寸不吻合导致遮挡激光的光线。
具体的,移动光栅支板21和固定光栅31的尺寸相互吻合,且述移动光栅支板21和固定光栅31的固定位置相互对应;可保证在移动光栅23进行调整时与固定光栅31相互对应。
具体的,若干个透光块32均匀分布在固定光栅31的顶面,且若干个透光块32的一周均固定连接有遮光板311;可将透光块32的一周进行遮挡,在透光块32透光时可有效防止激光扩散。
本实用新型的工作原理及使用流程:激光在通过光栅时,会释放热量,通过若干个上散热片13和下散热片14可将激光散发的热量进行吸收扩散,且在上散热片13和下散热片14开设有若干个透气孔131,可有效增加上散热片13和下散热片14与空气的接触面积,并使得气流便于流动,加速将上散热片13和下散热片14吸收的热量进行带离,有利于光栅的冷却,提高设备性能,且在透光块32的一周固定连接有遮光板311,可将透光块32的一周进行遮挡,在透光块32透光时可有效防止激光扩散,降低激光的损耗,在透光块32不透光时,可将激光进行有效的隔离,防止出现漏光的现象。
以上仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置,其特征在于:包括固定组件(1)、移动光栅组件(2)和固定光栅组件(3),所述固定组件(1)包括上固定板(11)、下固定板(12)、上散热片(13)和下散热片(14),所述上固定板(11)位于所述下固定板(12)的上方,所述上固定板(11)的底面固定连接有所述上散热片(13),所述下固定板(12)的顶面固定连接有所述下散热片(14),所述移动光栅组件(2)包括移动光栅支板(21)、连接块(22)和移动光栅(23),所述移动光栅支板(21)固定连接于所述上散热片(13)的底端,所述连接块(22)固定连接于所述移动光栅支板(21)的底面,所述移动光栅(23)固定连接于所述连接块(22)的底端,所述固定光栅组件(3)包括固定光栅(31)和透光块(32),所述固定光栅(31)固定连接于所述下散热片(14)的顶面,所述固定光栅(31)的顶面固定连接有所述透光块(32)。
2.根据权利要求1所述的一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置,其特征在于:所述上固定板(11)和所述下固定板(12)为上下对称设置,所述上散热片(13)开设有若干个透气孔(131)。
3.根据权利要求1所述的一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置,其特征在于:所述上散热片(13)和所述下散热片(14)的数量为若干个,分被均匀分布在所述上固定板(11)和所述下固定板(12)的内侧。
4.根据权利要求1所述的一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置,其特征在于:所述连接块(22)的数量为两个,对称分布在所述移动光栅支板(21)的底面两侧。
5.根据权利要求1所述的一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置,其特征在于:所述移动光栅(23)开设有透光槽(231),且所述透光槽(231)与所述透光块(32)的尺寸相吻合。
6.根据权利要求1所述的一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置,其特征在于:所述移动光栅支板(21)和所述固定光栅(31)的尺寸相互吻合,且述移动光栅支板(21)和所述固定光栅(31)的固定位置相互对应。
7.根据权利要求1所述的一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置,其特征在于:若干个所述透光块(32)均匀分布在所述固定光栅(31)的顶面,且若干个所述透光块(32)的一周均固定连接有遮光板(311)。
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