CN209230219U - 一种成品靶材的干燥加工装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种成品靶材的干燥加工装置，特别涉及靶材加工设备领域。本实用新型包括控制面板、真空干燥仓、仓体扣合孔、推手、机架、万向轮、真空管路、单向止回阀、真空泵、箱门、传动电机、排水管、仓体锁扣件；真空管路上设有单向止回阀真空干燥仓的底部还设有排水管；真空干燥仓包括设在真空干燥仓内壁的密封条，真空干燥仓内侧还设有电热板。本实用新型克服了现有技术中普通的干燥装置无法对靶材进行干燥且仅靠普通的干燥装置无法使靶材的干燥质量达标的缺点。本实用新型提供一种具有真空性能的烘干仓，将靶材搁置于每个隔板之间，通过隔板的作用提高烘干的效率，通过真空环境也提高靶材质量的稳定性。

Description

一种成品靶材的干燥加工装置

技术领域

本实用新型涉及靶材加工设备领域，特别涉及一种成品靶材的干燥加工装置。

背景技术

溅射是制备薄膜材料的主要技术，它利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集反应，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，不同功率密度、不同输出波形、不同波长能够制造出不同的靶材。随着科技的发展靶材在各个方面都得到广泛的应用，中国靶材产业发展也不断扩大自己的规模和生产技术，产出的靶材的品牌已经达到国际顶端的技术水平。靶材在生产过程中需要进行干燥，现有技术中的干燥装置往往是运用电热丝加热将空气中的湿气被干燥，或是采用加入热鼓风装置降低干燥装置中的空气湿度从而达到干燥靶材的目的。但是靶材不同于一般的加工干燥件，如果用普通的干燥方式，无法达到靶材真正干燥的作用，很容易导致制造出的靶材质量下降。

实用新型内容

(1)要解决的技术问题

本实用新型克服了现有技术中普通的干燥装置无法对靶材进行干燥且仅靠普通的干燥装置无法使靶材的干燥质量达标的缺点。本实用新型是提供一种在靶材干燥后提高靶材质量的成品靶材的干燥加工装置。

(2)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了这样一种成品靶材的干燥加工装置，包括控制面板、真空干燥仓、仓体扣合孔、推手、机架、万向轮、真空管路、单向止回阀、真空泵、箱门、传动电机、排水管、仓体锁扣件；

所述真空干燥仓的顶部设有所述控制面板，所述真空干燥仓设置于所述机架上方，所述机架的一侧设有所述推手，所述机架的底部设有所述万向轮，所述机架上还设有用于支撑所述真空泵的支撑板，所述真空干燥仓的一侧设有所述仓体扣合孔，所述仓体锁扣件设在所述箱门上，所述锁扣件与所述仓体扣合孔相互扣合，所述真空干燥仓的底部通过所述真空管路和所述真空泵相连，所述真空管路上设有所述单向止回阀所述真空干燥仓的底部还设有排水管；

所述真空干燥仓内壁上设有密封条，所述真空干燥仓内侧还设有电热板，所述真空干燥仓上设有用于连接所述箱门的仓体连接件，所述真空干燥仓的中央设有旋转轴，所述旋转轴与所述传动电机相连，所述旋转轴上设有旋转板。

优选地，所述的排水管上设有排水阀。

优选地，所述的箱门的内层填充有保温板。

优选地，所述的旋转板上设有用于分隔各个靶材的隔板。

优选地，所述的真空干燥仓由不锈钢材质制成。

(3)有益效果

本实用新型克服了现有技术中普通的干燥装置无法对靶材进行干燥且仅靠普通的干燥装置无法使靶材的干燥质量达标的缺点。并且具有以下优点：

1、利用真空泵和真空管路的共同作用，使得闭合后的真空干燥仓中的达到一个真空的环境，便于靶材的干燥；

2、利用电热丝提高真空干燥仓内的干燥度促进靶材上的水分蒸发，并且在真空干燥过后，水分通过下方带有的排水阀排出，防止真空干燥仓中残留有多余的水分；

3、利用传动电机带动旋转轴进而带动放置在旋转板上的靶材进行运动，促进靶材和热空气之间的接触面积，促进靶材快速干燥；

4、通过在箱门的内层设置保温板来达到一个保温的目的，提高干燥的效率。

附图说明

图1为本实用新型成品靶材的干燥加工装置的结构示意图。

附图标记为：1-控制面板，2-真空干燥仓，21-密封条，22-电热板，23-仓体连接件，24-旋转轴，25-旋转板，251-隔板，3-仓体扣合孔，4-推手，5-机架，6-万向轮，7-真空管路，8-单向止回阀，9-真空泵，10-箱门，12-传动电机，13-排水管，131-排水阀，14-保温板，15-仓体锁扣件。

具体实施方式

结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“竖直”、“水平”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

如图1所示，本实用新型所述的一种成品靶材的干燥加工装置，包括控制面板1、真空干燥仓2、仓体扣合孔3、推手4、机架5、万向轮6、真空管路7、单向止回阀8、真空泵9、箱门10、传动电机12、排水管13、仓体锁扣件15；所述真空干燥仓2的顶部设有所述控制面板1，所述真空干燥仓2设置于所述机架5上方，所述机架5的一侧设有所述推手4，所述机架5的底部设有所述万向轮6，所述机架5上还设有用于支撑所述真空泵9的支撑板，所述真空干燥仓2的一侧设有所述仓体扣合孔3，所述仓体锁扣件15设在所述箱门10上，所述锁扣件15与所述仓体扣合孔3相互扣合，所述真空干燥仓2的底部通过所述真空管路7和所述真空泵9相连，所述真空管路7上设有所述单向止回阀8所述真空干燥仓2的底部还设有排水管13；所述真空干燥仓2内壁上设有密封条21，所述真空干燥仓2内侧还设有电热板22，所述真空干燥仓2上设有用于连接所述箱门10的仓体连接件23，所述真空干燥仓2的中央设有旋转轴24，所述旋转轴24与所述传动电机12相连，所述旋转轴24上设有旋转板25。

为了更好的提高靶材真空干燥的目的，本实用新型还包括所述的排水管13 上设有排水阀131，便于水分排出；所述的箱门10的内层填充有保温板14，更好的达到保温的效果；所述旋转板25上设有用于分隔各个靶材的隔板251，提高靶材的烘干效率；所述的真空干燥仓2由不锈钢材质制成，防止因为靶材内部水分的缘故，将真空干燥仓2的内侧仓壁腐蚀。

工作原理：本实用新型是将待干燥的靶材放置于旋转板25上，旋转板25上设有隔板251，通过将规格相同的靶材放置于隔板251中隔开，通过旋转轴24 带动旋转板25运动，旋转轴24通过传动电机12带动运动，进而增加靶材的干燥面积，真空干燥仓2的内侧侧壁上设有电热板22，通过电热板22发出的温度提高整个真空干燥仓2的温度，真空干燥仓2的底部设有真空管路7用于抽取真空干燥仓2内部的空气，并且真空干燥仓2的底部还设有排水管13，用于排出干燥后多余的水气，万向轮6也设置在机架5的下方，便于真空干燥仓2的移动。

以上所述的实施例仅表达了对本实用新型优选实施方式，其描述较为具体和详细，但本实用新型不仅限于这些实施例，应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说。在未脱离本实用新型宗旨的前提下，所为的任何改进均落在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (5)

1.一种成品靶材的干燥加工装置，其特征在于：包括控制面板(1)、真空干燥仓(2)、仓体扣合孔(3)、推手(4)、机架(5)、万向轮(6)、真空管路(7)、单向止回阀(8)、真空泵(9)、箱门(10)、传动电机(12)、排水管(13)、仓体锁扣件(15)；

所述真空干燥仓(2)的顶部设有所述控制面板(1)，所述真空干燥仓(2)设置于所述机架(5)上方，所述机架(5)的一侧设有所述推手(4)，所述机架(5)的底部设有所述万向轮(6)，所述机架(5)上还设有用于支撑所述真空泵(9)的支撑板，所述真空干燥仓(2)的一侧设有所述仓体扣合孔(3)，所述仓体锁扣件(15)设在所述箱门(10)上，所述锁扣件(15)与所述仓体扣合孔(3)相互扣合，所述真空干燥仓(2)的底部通过所述真空管路(7)和所述真空泵(9)相连，所述真空管路(7)上设有所述单向止回阀(8)所述真空干燥仓(2)的底部还设有排水管(13)；

所述真空干燥仓(2)内壁上设有密封条(21)，所述真空干燥仓(2)内侧还设有电热板(22)，所述真空干燥仓(2)上设有用于连接所述箱门(10)的仓体连接件(23)，所述真空干燥仓(2)的中央设有旋转轴(24)，所述旋转轴(24)与所述传动电机(12)相连，所述旋转轴(24)上设有旋转板(25)。

2.根据权利要求1所述的一种成品靶材的干燥加工装置，其特征在于：所述的排水管(13)上设有排水阀(131)。

3.根据权利要求1所述的一种成品靶材的干燥加工装置，其特征在于：所述的箱门(10)的内层填充有保温板(14)。

4.根据权利要求1所述的一种成品靶材的干燥加工装置，其特征在于：所述的旋转板(25)上设有用于分隔各个靶材的隔板(251)。

5.根据权利要求1所述的一种成品靶材的干燥加工装置，其特征在于：所述的真空干燥仓(2)由不锈钢材质制成。