CN209214555U - 高精度光电传感器角度检测系统 - Google Patents

高精度光电传感器角度检测系统 Download PDF

Info

Publication number
CN209214555U
CN209214555U CN201821617276.4U CN201821617276U CN209214555U CN 209214555 U CN209214555 U CN 209214555U CN 201821617276 U CN201821617276 U CN 201821617276U CN 209214555 U CN209214555 U CN 209214555U
Authority
CN
China
Prior art keywords
product
board
measured
psd
laser
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201821617276.4U
Other languages
English (en)
Inventor
杨文解
苏宣豪
徐爽
孟凡伟
赖程奇
梁宝山
阳初
骆栋
罗安立
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Intelligent Automation Equipment Zhuhai Co Ltd
Intelligent Automation Zhuhai Co Ltd
Original Assignee
Intelligent Automation Zhuhai Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Intelligent Automation Zhuhai Co Ltd filed Critical Intelligent Automation Zhuhai Co Ltd
Priority to CN201821617276.4U priority Critical patent/CN209214555U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN209214555U publication Critical patent/CN209214555U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

本实用新型旨在提供一种操作简单、成本低且适合大规模生产的高精度光电传感器角度检测系统。本实用新型系统包括激光发射器(1)、产品机台(2)、PSD板卡(3),在产品机台上固定有待测产品,激光发射器对待测产品进行照射,PSD板卡位于待测产品反射的激光光路上,当外力使待测产品发生形变时,激光在待测产品上的入射角或反射角发生变化,待测产品反射的激光在PSD板卡上形成的光斑发生移动,PSD板卡对外输出的电压发生变化。本实用新型应用于检测领域。

Description

高精度光电传感器角度检测系统
技术领域
本实用新型涉及检测领域,特别涉及一种高精度光电传感器角度检测系统,该系统对待测产品由于形变引起的角度变化通过利用光电传感器进行角度检测。
背景技术
物体发生震动或受到外力而引起形变,会引起其表面发生角度变化。很多时候,通过检测这些角度变化来确定物体发生震动或受到外力作用的程度大小。目前,主要有采用便携式数字激光测震仪(PDV:Portable Digital Vibrometer)以及索尼堆栈式镜头(RS-CMOS)进行检测。PDV的检测方式是利用多普勒效应,利用接受到的震动物体对发射光速度的调制,通过算法推算出震动物体的速度,转化成相对位移,通过数学公式转换,从而把位移转换成角度的变化。而RS-CMOS的方式是利用相似三角形的原理,利用RS-CMOS位置感应器件,推导出震动物体相对位移,通过数学公式转换,从而把位移转换成角度的变化。但这两种方式均存在以下问题:都是成本太高,计算复杂,不适合量产。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的不足,提供一种操作简单、成本低且适合大规模生产的高精度光电传感器角度检测系统。
本实用新型所述高精度光电传感器角度检测系统所采用的技术方案是:所述系统包括激光发射器、产品机台、PSD板卡,在所述产品机台上固定有待测产品,所述激光发射器对待测产品进行照射,所述PSD板卡位于待测产品反射的激光光路上且初始状态时所述PSD板卡的板面垂直于待测产品反射的激光光路,当外力使待测产品发生形变时,激光在待测产品上的入射角或反射角发生变化,待测产品反射的激光在所述PSD板卡上形成的光斑发生移动,所述PSD板卡对外输出的电压发生变化,根据电压值变化得到待测产品的角度值变化。
上述方案可见,采用高精度光电传感器来获得由于待测产品发生形变而引起的微小角度变化其结构简单,且其过程简单,只需检测光电传感器输出电压值的变化,从而快速地获得角度的变化,实现快速检测,与现有技术相比,其结构大大地简化了,且成本低,能够实现大规模生产应用,且其能实现微小角度的精准测量,其测量精度范围为-5º~5º,分辨率为<=0.02 º,精度为 <1%。
进一步地,在所述PSD板卡的一侧或所述产品机台的下侧设置有驱动装置,所述驱动装置驱动所述PSD板卡或位于所述产品机台上的产品运动,使待测产品反射的激光在所述PSD板卡上形成的光斑发生移动或相对运动,所述驱动装置包括马达,所述马达通过马达驱动器与PLC控制器电信号连接,所述PSD板卡或所述产品机台设置在所述马达的输出轴上。
上述方案可见,通过PSD板卡或产品运动,可清晰地获得PSD板卡上形成的光斑的移动量与输出电压之间的线性关系,能够快速地通过检测输出电压即可获得待测产品发生的角度变化量;此外,通过定义PSD板卡发生移动前后的电压变化比值记为Δδ,能够消除待测产品的纹理、待测产品的平整度、激光发射器的激光功率的一致性、周围环境光的影响以及和待测产品放置的公差等因素对PSD板卡上形成的光斑的移动量转换成输出电压之间的线性值K的影响,利用驱动装置,并结合PLC控制器来对驱动装置与PSD板卡之间的协同作业,保证了检测精度,也大大地提升了检测和标定效率。
又进一步地,所述产品机台包括工作台、夹具和信号采集模块,所述信号采集模块配合在所述夹具下侧,所述信号采集模块与所述PLC控制器电信号连接。由此可见,利用信号采集模块对待测产品进行信号采集,并与PLC控制器通信,实现整体作业,大大地提高了作业效率。
再进一步地,所述PLC控制器外接24V电源;所述激光发射器和所述PSD板卡由5V电源供电。由此可见,利用马达驱动器及PLC控制器来控制马达的运动,实现高精度的控制,实现采用简单的结构即可实现精度的提高,相对地降低了成本,也保证了大规模生产得以实现。
附图说明
图1是本实用新型的标定方法建立的标定系统的简易结构示意图;
图2是所述PSD板卡的电压检测原理示意图。
具体实施方式
如图1至图2所示,本实用新型所述高精度光电传感器角度检测系统包括激光发射器1、产品机台2、PSD板卡3,在所述产品机台2上固定有待测产品,所述激光发射器1对待测产品进行照射,所述PSD板卡3位于待测产品反射的激光光路上且初始状态时所述PSD板卡3的板面垂直于待测产品反射的激光光路,当外力使待测产品发生形变时,激光在待测产品上的入射角或反射角发生变化,待测产品反射的激光在所述PSD板卡3上形成的光斑发生移动,所述PSD板卡3对外输出的电压发生变化,根据电压值变化得到待测产品的角度值变化。
对上述系统进行标定,其过程如下:
a、设置驱动装置,该驱动装置设置在所述PSD板卡3的一侧或所述产品机台2的下侧,所述驱动装置驱动所述PSD板卡3或位于所述产品机台2上的产品运动,使待测产品反射的激光在所述PSD板卡3上形成的光斑发生移动或相对运动。上述驱动装置包括马达4,所述马达4通过马达驱动器5与PLC控制器6电信号连接,所述PSD板卡3或所述产品机台2设置在所述马达4的输出轴上。所述PLC控制器6外接24V电源。所述激光发射器1和所述PSD板卡3由5V电源供电。所述产品机台2包括工作台、夹具21和信号采集模块22,所述信号采集模块22配合在所述夹具21下侧,所述信号采集模块22与所述PLC控制器6电信号连接。
b、设待测产品固定不动,光斑位于PSD板卡的中心,记录下VA 和VB 的值,通过调整驱动装置,直到VA = VB ,保证光斑位于PSD板卡的绝对中心,其中,VA 和VB分别代表光斑在PSD板卡上移动前后的输出电压值。
c、建立所述PSD板卡3或所述产品机台2上的产品的运动量与PSD板卡(3)上形成的光斑的移动量转换成输出电压之间的关系,当所述PSD板卡3固定不动而驱动装置驱动所述产品机台2上的产品转动,进入步骤d;当所述产品机台2上的产品固定不动而驱动装置驱动所述PSD板卡3移动,进入步骤f。
d、待测产品固定不动,产品机台通过驱动装置驱动转动角度Δθ,反射光斑在PSD板卡上移动,记录PSD板卡VA和VB的数值变化,并将待测产品发生Δθ的转动前后的电压变化比值记为Δδ,其中Δδ=(VA-VB)/(VA+VB),在这里,将将待测产品发生Δθ的转动前后的电压变化作除法处理,能够消除不同的转换能量,进而确保在这一过程中不会对K值产生影响。
e、记录所有待测产品平台发生转动带动待测产品产生的角度变化Δθ和反射光斑在PSD板卡上移动而形成的VA和VB的数值变化,从而可以得出线性区范围,得到PSD板卡3上形成的光斑的移动量转换成输出电压之间的关系式为K=Δθ/Δδ。
f、待测产品固定不动,PSD板卡通过驱动装置驱动产生移动量ΔL,ΔL = L*tan(2θ),其中L为待测产品到PSD板卡的距离,θ为激光发射器射出的激光在待测产品上的入射角,得到Δθ= 1/2 * arctan (ΔL/L),反射光斑在PSD板卡上移动,记录PSD板卡输出电压VA和VB的数值变化,并将PSD板卡发生移动前后的电压变化比值记为Δδ,其中Δδ=(VA-VB)/(VA+VB)。
g、记录所有PSD板卡滑动得到的ΔL以及Δθ,并记录PSD板卡输出电压VA和VB的数值变化,可以得出线性区范围,得到PSD板卡3上形成的光斑的移动量转换成输出电压之间的关系式为K=Δθ/Δδ。
上述标定方法中,PSD板卡滑动标定K值的方法相比夹具平台转动标定K值的方法可以减少马达,同时也能反应待测样品表面的纹理,平整度和材质对光斑能量的影响所产生的光电转换的影响。待测样品表面的纹理、平整度等会对K值产生影响,但对样品发生的振动角度不会产生影响。
经过标定后的上述系统进行角度检测的过程如下:
(A)设待测产品收外力作用发生Δθ的形变,则激光发射器1发出的激光经过待测产品反射后的反射角变化为Δ2θ;
(B)检测所述PSD板卡3的电压变化,并记录待测产品发生Δθ的角度变化前后所述PSD板卡3的电压输出分别记为VA和VB
(C)将待测产品发生Δθ的转动前后的电压变化比值记为Δδ,其中Δδ=(VA-VB)/(VA+VB);
(D)根据K=Δθ/Δδ,最后得到Δθ=K*Δδ。
上述过程中,VA和VB的计算过程如下:记所述PSD板卡3的光信号电流为IS,反馈电阻为RF,发光响应率为R,PSD有效面光功率为PO,则所述PSD板卡3的电压输出为V=IS*RF=R*PO*RF,由上述公式获得所述PSD板卡3在待测产品发生Δθ的转动前后电压输出的变化。从而得到待测产品发生角度的变化大小。
本实用新型能实现微小角度的精准测量,其测量精度范围为(-5º~5º),分辨率为<=0.02 º,精度为1%。另外,本实用新型可以对不同的震动角度和震动频率进行动态检测范围,UUT在转动角度范围为(-4º~4º),频率为(1Hz~5KHz)。
本年实用新型是一种能够对待测产品表面存在众多不一致性进行检测的系统,以及该系统的标定方法,和利用该系统进行微小角度检测的方法,其成本低,适合大规模作业。

Claims (4)

1.一种高精度光电传感器角度检测系统,其特征在于:所述系统包括激光发射器(1)、产品机台(2)、PSD板卡(3),在所述产品机台(2)上固定有待测产品,所述激光发射器(1)对待测产品进行照射,所述PSD板卡(3)位于待测产品反射的激光光路上且初始状态时所述PSD板卡(3)的板面垂直于待测产品反射的激光光路,在所述PSD板卡(3)的一侧或所述产品机台(2)的下侧设置有驱动装置,所述驱动装置驱动所述PSD板卡(3)或位于所述产品机台(2)上的产品运动,使待测产品反射的激光在所述PSD板卡(3)上形成的光斑发生移动或相对运动,所述驱动装置包括马达(4),所述马达(4)通过马达驱动器(5)与PLC控制器(6)电信号连接,所述PSD板卡(3)或所述产品机台(2)设置在所述马达(4)的输出轴上。
2.根据权利要求1所述的高精度光电传感器角度检测系统,其特征在于:所述产品机台(2)包括工作台、夹具(21)和信号采集模块(22),所述信号采集模块(22)配合在所述夹具(21)下侧,所述信号采集模块(22)与所述PLC控制器(6)电信号连接。
3.根据权利要求1所述的高精度光电传感器角度检测系统,其特征在于:所述PLC控制器(6)外接24V电源。
4.根据权利要求1所述的高精度光电传感器角度检测系统,其特征在于:所述激光发射器(1)和所述PSD板卡(3)由5V电源供电。
CN201821617276.4U 2018-09-30 2018-09-30 高精度光电传感器角度检测系统 Active CN209214555U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201821617276.4U CN209214555U (zh) 2018-09-30 2018-09-30 高精度光电传感器角度检测系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201821617276.4U CN209214555U (zh) 2018-09-30 2018-09-30 高精度光电传感器角度检测系统

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN209214555U true CN209214555U (zh) 2019-08-06

Family

ID=67455257

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201821617276.4U Active CN209214555U (zh) 2018-09-30 2018-09-30 高精度光电传感器角度检测系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN209214555U (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109186501A (zh) * 2018-09-30 2019-01-11 珠海市运泰利自动化设备有限公司 高精度光电传感器角度检测系统、标定方法及检测方法
CN112621388A (zh) * 2020-12-30 2021-04-09 哈尔滨工业大学(威海) 一种基于psd的并联机床刀具姿态在线监测装置及监测方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109186501A (zh) * 2018-09-30 2019-01-11 珠海市运泰利自动化设备有限公司 高精度光电传感器角度检测系统、标定方法及检测方法
CN109186501B (zh) * 2018-09-30 2024-05-17 珠海市运泰利自动化设备有限公司 高精度光电传感器角度检测系统的标定方法及检测方法
CN112621388A (zh) * 2020-12-30 2021-04-09 哈尔滨工业大学(威海) 一种基于psd的并联机床刀具姿态在线监测装置及监测方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101281073B (zh) 一种力学传感器阵列标定装置及其工作方法
CN102927959B (zh) 应变仪自动校准装置及校准方法
CN108943451B (zh) 一种半导体级单晶硅晶棒定向测试系统
CN109186501A (zh) 高精度光电传感器角度检测系统、标定方法及检测方法
CN108415003A (zh) 一种激光测距校准装置及其校准方法
CN203046465U (zh) 保证激光打标位置精度的装置
CN209214555U (zh) 高精度光电传感器角度检测系统
CN208314192U (zh) 一种tof模组标定装置
CN107289876A (zh) 多轴联动的视觉、激光复合式非接触测量装置及测量方法
CN106736849B (zh) 微径铣刀主动探测式高精度对刀装置及方法
CN204188643U (zh) 皮托管一次风速自动测量装置
CN103175568A (zh) 一种高速编码器测试装置
CN203689165U (zh) 太阳入射角跟踪测量仪
CN110207613A (zh) 一种工件二维尺寸在线检测装置及检测方法
CN204495279U (zh) 玻璃钢化设备用的玻璃板在线检测系统
CN109540043A (zh) 一种使用激光测距原理测量板坯锥度仪锥度的方法
CN109782815A (zh) 基于多轴联动系统的复杂型面自适应测量路径规划方法
CN110095080A (zh) 一种小型零件快速二维轮廓尺寸测量装置
CN117572442A (zh) 一种角度可调的激光测距装置及激光测距方法
CN103760377A (zh) 一种轮式机器人行走电机转速的测定方法以及测量装置
CN114739304A (zh) 一种环境艺术设计用定位测距装置
CN100359285C (zh) 微位移动态变形检测的标定装置及其方法
CN103968768A (zh) 一种高精度非接触工件内径测量装置和方法
CN103075953A (zh) 一种活塞环槽径向跳动检测装置
CN101922907A (zh) 一种形位公差测量方法

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant