CN209077300U - 臭氧循环清洗系统 - Google Patents

Abstract

本公开涉及一种清洗装置，具体涉及一种臭氧循环清洗系统，其包括：清洗槽，具有进液口和排液口，进液口和排液口通过循环管路连接；循环管路上设置有：泵，用于为系统内的液体循环流动提供动力；臭氧发生器，连接循环管路，用于为系统提供气态臭氧；以及溶气膜，设置在臭氧发生器与循环管路连接处，气态臭氧通过溶气膜溶解于液体。本公开的臭氧循环清洗系统，采用溶气膜使气态臭氧与溶液充分溶解，实现高浓度臭氧溶液的混合，避免臭氧浪费，清洗效果更好，同时混合溶液循环使用，周期性更换，降低成本，实用性强。

Description

臭氧循环清洗系统

技术领域

本公开涉及一种清洗装置，具体涉及一种臭氧循环清洗系统。

背景技术

臭氧由于其自身具有强氧化性和杀菌能力，被广泛应用于清洁装置，例如现有技术中的臭氧清洗机，被广泛用于果蔬、餐具等清洗中，这种清洗机中的溶液臭氧浓度低，对人体无害，满足日常清洗使用。

对于硅片、锗片以及砷化镓等晶圆的清洗，常规的低浓度臭氧清洗机难以产生作用，需要高浓度的臭氧溶液进行清洗。为产生高浓度臭氧溶液，现有设备中利用臭氧发生器生成气态臭氧，采用气液混合泵将气态臭氧与溶液溶解形成臭氧溶液，这种气液混合泵混合效率低，导致混合后的臭氧溶液浓度低，对硅片等清洁效果难以达到要求，导致清洁效率低下，因此如何提高现有技术中的臭氧清洗机的臭氧溶液浓度成为重要问题。

实用新型内容

为解决现有臭氧清洗装置臭氧溶液浓度低导致清洁效果差的技术问题，本公开提供了一种气态臭氧溶解更快、臭氧溶液浓度更高的臭氧循环清洗系统。

在第一方面中，本公开提供了一种臭氧循环清洗系统，包括清洗槽，清洗槽具有进液口和排液口，进液口和排液口通过循环管路连接；循环管路上设置有：

泵，用于为系统内的液体循环流动提供动力；

臭氧发生器，连接循环管路，用于为系统提供气态臭氧；以及

溶气膜，设置在臭氧发生器与循环管路连接处，气态臭氧通过溶气膜溶解于液体。

臭氧发生器与循环管路连接处之前设置有调压阀，用于控制进入连接处的液体压力。

臭氧发生器与循环管路连接处之后设置有排气阀，用于排出未溶解的臭氧。

排气阀之后设置有检测装置，检测装置用以检测混合溶液中臭氧浓度。

所述的系统还设置有多个压力表，用于检测循环管路中液体压力。

还包括泄压阀，连通循环管路的前后两端。

还包括检测阀，连接在靠近进液口的位置处以用于采取混合液体样本。

循环管路设置有流量变送器。

本公开的技术方案，具有如下有益效果：

1)本公开提供的臭氧循环清洗系统，清洗槽通过循环管路连接，实现溶液循环利用，利用溶气膜使气态臭氧呈分子状态进入溶液中，分子态气体能充分、高效地溶解于溶液中，提高臭氧溶液浓度。

2)本公开提供的臭氧循环清洗系统，臭氧发生器与循环管路连接之前设置有调压阀，可实现对进入连接处的液体的压力控制。

3)本公开提供的臭氧循环清洗系统，臭氧发生器与循环管路连接处之后设置有排气阀，对于过量未溶解的气态臭氧进行排出，避免管路中压力过大。

4)本公开提供的臭氧循环清洗系统，排气阀之后设置有检测装置，对混合后的臭氧溶液进行浓度检测，实现浓度控制。

5)本公开提供的臭氧循环清洗系统，循环管路上设置有多个压力表，对不同位置的管路压力进行检测，防止管路内压力过高。

6)本公开提供的臭氧循环清洗系统，循环管路上设置有前后方连接的泄压阀，当混合溶液处压力过高时，打开泄压阀进行管路的前后端连通，避免压力过高。

7)本公开提供的臭氧循环清洗系统，还设置有检测阀，便于工作人员对系统内溶液进行取样检测。

8)本公开提供的臭氧循环清洗系统，循环管路上设置有流量变送器，对管路内流量进行显示与反馈，便于工作人员检测。

附图说明

为了更清楚地说明本公开具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本公开的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据本公开一些实施方式的臭氧循环清洗系统的结构示意图；

附图标记说明：

01-清洗槽；02-泵；03-流量变送器；04-调压阀；05-臭氧发生器；06-溶气膜；07-排气阀；08-压力表；09-检测装置；10-泄压阀；11-检测阀。

具体实施方式

下面将结合附图对本公开的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本公开一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本公开中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。

在本公开的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本公开的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。此外，下面所描述的本公开不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

本公开提供了一种可提供高浓度臭氧溶液的臭氧循环清洗系统，可用于硅片、锗片及砷化镓等晶圆的清洗。图1中示出了根据本公开一些实施方式的臭氧循环清洗系统的结构。

如图1所示，本公开提供的臭氧循环清洗系统包括清洗槽01、泵02、臭氧发生器05、以及溶气膜06。清洗槽01用于进行清洗工作，例如对果蔬、餐具等进行低浓度的臭氧清洗，也可设置滚轮结构等对硅片、锗片及砷化镓等晶圆或金属工艺等进行高浓度的臭氧清洗，清洗槽01开设有进液口和排液口，进液口和排液口通过循环管路连接，实现清洗溶液的循环使用，降低成本。

泵02安装在循环管路上，用于为系统内的液体循环提供动力。在一些实施方式中，泵02可实现为循环泵，循环泵可实现输送系统中输送反应、吸收、分离、吸收液再生的循环。

臭氧发生器05连接在循环管路上，为系统提供气态臭氧，臭氧发生器05可实现为氧气型臭氧发生器05，使得气态臭氧的纯度和浓度更高。溶气膜06设置在臭氧发生器05与循环管路连接处，溶气膜06为一种现有技术中特殊的分子膜结构，膜只能通过分子态的空气，不能通过水，分子态的气体的溶解性能极高，溶气膜06将气态臭氧以分子的状态充分溶于液体中，形成高浓度的臭氧溶液，同时减少臭氧气体浪费，例如溶气膜06可以实现为公开号CN105858774A中公开的溶气膜，具体可以为日本SEPAREL公司生产的水用脱气供气模组装置。然而本领域技术人员应当理解，上述产品选用仅用于对本公开技术方案进行说明，并不用于限制本公开，溶气膜06还可以有其它形式的实施。

如图1所示，在一些实施方式中，臭氧发生器05与循环管路连接处之前设置有调压阀04，可实现对进入连接处的液体的压力控制，在一个示例性的实施方式中，压力可控制在0.2-0.3MPa。

臭氧发生器与循环管路连接处之后设置有排气阀07，排气阀07可将未溶解的臭氧进行排出，避免管路中压力过大。优选地，排气阀07之后可设置回收装置或收集装置。

在一些实施方式中，混合之后的溶液管路上设置有检测装置09，用于检测混合溶液的臭氧浓度。在一个示例性的实施方式中，本公开用于对硅片等晶圆进行清洁，其臭氧溶液浓度设置为10-25PPM。

优选地，循环管路上还设置有多个压力表08，用以对管路不同位置进行压力检测，避免管路内压力过高。

在一些实施方式中，循环管路上设置有前后方连接的泄压阀10，当混合溶液处压力过高时，可开启泄压阀10进行管路前后端连通，避免压力过高。

优选地，循环管路上还设置有检测阀11，便于工作人员对系统内溶液进行取样检测。管路上还设置有流量变送器03，可对管路内流量进行显示与反馈，便于工作人员检测。

根据本公开的臭氧循环清洗系统，管路内溶液可根据具体工作情况设置为不同溶液，例如水或酸等溶液。在一个示例性的实施中，溶液采用氢氟酸水溶液，臭氧发生器05产生臭氧量为80g/h，氢氟酸与臭氧的混合溶液对硅片等晶圆进行清洗。

根据本公开的臭氧循环清洗系统，采用溶气膜使气态臭氧与溶液充分溶解，实现高浓度臭氧溶液的混合，避免臭氧浪费，清洗效果更好，同时混合溶液循环使用，周期性更换，降低成本，实用性强。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本申请的保护范围之中。

Claims (8)

1.一种臭氧循环清洗系统，包括：

清洗槽(01)，具有进液口和排液口，所述进液口和排液口通过循环管路连接；其特征在于，所述循环管路上设置有：

泵(02)，用于为所述系统内的液体循环流动提供动力；

臭氧发生器(05)，连接所述循环管路，用于为所述系统提供气态臭氧；以及

溶气膜(06)，设置在所述臭氧发生器(05)与所述循环管路连接处，所述气态臭氧通过所述溶气膜(06)溶解于所述液体。

2.根据权利要求1所述的臭氧循环清洗系统，其特征在于，

所述臭氧发生器(05)与所述循环管路连接处之前设置有调压阀(04)，用于控制进入所述连接处的液体压力。

3.根据权利要求2所述的臭氧循环清洗系统，其特征在于，

所述臭氧发生器(05)与所述循环管路连接处之后设置有排气阀(07)，用于排出未溶解的臭氧。

4.根据权利要求3所述的臭氧循环清洗系统，其特征在于，

所述排气阀(07)之后设置有检测装置(09)，所述检测装置(09)用以检测混合溶液中臭氧浓度。

5.根据权利要求4所述的臭氧循环清洗系统，其特征在于，

还设置有多个压力表(08)，用于检测所述循环管路中液体压力。

6.根据权利要求1至5任一项所述的臭氧循环清洗系统，其特征在于，还包括：

泄压阀(10)，连通所述循环管路的前后两端。

7.根据权利要求6所述的臭氧循环清洗系统，其特征在于，还包括：

检测阀(11)，连接在靠近所述进液口的位置处以用于采取混合液体样本。

8.根据权利要求7所述的臭氧循环清洗系统，其特征在于，

所述循环管路设置有流量变送器(03)。