CN209044180U - 一种用于显微镜观察的操作装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于显微镜观察的操作装置，包括安装板、转动支架、晶舟盒、控制器和底座，所述底座前端外表面固定安装有控制器，底座顶部固定安装有放置座、转动支架和晶舟盒，放置座和晶舟盒分别位于转动支架的两侧，晶舟盒内侧底部固定安装有若干斜插，所述斜插将晶舟盒内部分为若干个用于放置晶圆的腔体，放置座顶部开设有槽体，槽体内侧底部固定安装有光源灯，槽体的两侧上方固定安装有透光镜，放置座顶部开设有弧形槽，弧形槽与槽体一侧连通，放置座顶部固定安装有安装板。本实用新型结构简单，在操作过程中能够对晶圆进行精准的夹持，能够提高工作效率，通过还能避免晶圆损坏，从而避免产生碎片而对装置造成刮伤。

Description

一种用于显微镜观察的操作装置

技术领域

本实用新型涉及驱动芯片金凸块领域，具体是一种用于显微镜观察的操作装置。

背景技术

显微镜是由一个透镜或几个透镜的组合构成的一种光学仪器，是人类进入原子时代的标志。主要用于放大微小物体成为人的肉眼所能看到的仪器。显微镜分光学显微镜和电子显微镜：光学显微镜是在1590年由荷兰的詹森父子所首创。现在的光学显微镜可把物体放大1600倍，分辨的最小极限达波长的1/2，国内显微镜机械筒长度一般是160毫米，其中对显微镜研制，微生物学有巨大贡献的人为列文虎克、荷兰籍。

半导体晶圆一般储存在晶舟盒内，在对半导体晶圆进行观察的过程中，在对晶圆进行夹持过程中，需要使用到夹持工具，夹持工具无法侦测晶舟盒内叠片和斜插，往往会以为操作不当导致晶圆损坏产生碎片对装置造成刮伤，所以需对其进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于显微镜观察的操作装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于显微镜观察的操作装置，包括安装板、转动支架、晶舟盒、控制器和底座，所述底座前端外表面固定安装有控制器，底座顶部固定安装有放置座、转动支架和晶舟盒，放置座和晶舟盒分别位于转动支架的两侧，晶舟盒内侧底部固定安装有若干斜插，放置座顶部开设有槽体，槽体内侧底部固定安装有光源灯，槽体的两侧上方固定安装有透光镜，放置座顶部开设有弧形槽，弧形槽与槽体一侧连通，放置座顶部固定安装有安装板，安装板的前端外表面固定安装有工作机箱，工作机箱顶部固定安装有观察显示屏，工作机箱底部固定安装有高倍物镜，转动支架内部开设有腔体，腔体的内侧底部固定安装有转动座，转动支架顶部固定安装有第一电机，第一电机的输出轴通过联轴器贯穿至腔体与转动座的顶部连接，转动支架外侧设有与腔体相通的开口且开口俯视图呈半圆，转动座一侧通过安装件贯穿开口固定安装有第一电动伸缩杆，第一电动伸缩杆伸缩杆的自由端固定安装有转轴，转轴外部固定安装有第二电机，第二电机的输出轴贯穿至转轴内连接轴转动轴，转轴远离转动支架的一侧设有与转动轴相通的开口，转动轴一侧固定安装有连接杆的一端，连接杆的自由端贯穿开口固定安装有安装座，安装座底部固定安装有位移传感器，转轴后端外表面固定安装有角度传感器，安装座一侧固定安装有上夹板，上夹板顶部固定安装有第二电动伸缩杆，上夹板远离安装座的一侧固定安装有光纤传感器，安装座远离转动支架的一侧转动安装有下夹板，下夹板位于上夹板下方，第二电动伸缩杆伸缩杆的自由端贯穿至上夹板下方与下夹板的顶部转动连接。

作为本实用新型进一步的方案：所述斜插将晶舟盒内部分为若干个用于放置晶圆的腔体。

作为本实用新型再进一步的方案：所述安装座一侧设有与第一转轴外表面相匹配的弧形面，安装座的外弧面与第一转轴的一侧相贴合。

作为本实用新型再进一步的方案：所述下夹板的顶部固定安装有垫板。

作为本实用新型再进一步的方案：所述控制器分别与第一电动伸缩杆、第一电机、光纤传感器、角度传感器、位移传感器、第二电动伸缩杆和第二电机电连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型结构简单，操作方便，在操作过程中，垫板的设置对夹紧时的作用力进行缓冲，减少了作用力对晶圆的损坏，通过光纤传感器能够检测到晶舟盒的腔体内是否存在晶圆，位移传感器的设置，使得位移操作变得更加准确，角度传感器的设置便于对晶舟盒内的晶圆进行精准夹持，即使晶圆在晶舟盒内放置有倾斜角度时，都能够对晶圆进行准确的夹持，能够有效地避免操作不当导致晶圆损坏而产生碎片对装置造成刮伤，同时能够提高了工作效率，提高放置的准确性，减轻了工作人员的工作困扰。

附图说明

图1为一种用于显微镜观察的操作装置的结构示意图。

图2为一种用于显微镜观察的操作装置中A部的放大图。

图3为一种用于显微镜观察的操作装置中放置座的侧视图。

图4为一种用于显微镜观察的操作装置中转轴的正视图。

图5为一种用于显微镜观察的操作装置中转轴的后视图。

图中：1、观察显示屏；2、工作机箱；3、高倍物镜；4、安装板；5、转动支架；6、斜插；7、晶舟盒；8、控制器；9、底座；10、弧形槽；11、透光镜；12、槽体；13、光源灯；14、安装座；15、连接杆；16、转轴；17、第一电动伸缩杆；18、第一电机；19、转动座；20、腔体；21、上夹板；22、垫板；23、下夹板；24、光纤传感器；25、角度传感器；26、位移传感器；27、放置座；28、第二电动伸缩杆；29、第二电机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1～5，本实用新型实施例中，一种用于显微镜观察的操作装置，包括观察显示屏1、工作机箱2、高倍物镜3、安装板4、转动支架5、斜插6、晶舟盒7、控制器8、底座9、弧形槽10、透光镜11、槽体12、光源灯13、安装座14、连接杆15、转轴16、第一电动伸缩杆17、第一电机18、转动座19、腔体20、上夹板21、垫板22、下夹板23、光纤传感器24、角度传感器25、位移传感器26、放置座27、第二电动伸缩杆28和第二电机29，所述底座9前端外表面固定安装有控制器8，底座9顶部固定安装有放置座27、转动支架5和晶舟盒7，放置座27和晶舟盒7分别位于转动支架5的两侧，晶舟盒7内侧底部固定安装有若干斜插6，所述斜插6将晶舟盒7内部分为若干个用于放置晶圆的腔体，放置座27顶部开设有槽体12，槽体12内侧底部固定安装有光源灯13，槽体12的两侧上方固定安装有透光镜11，放置座27顶部开设有弧形槽10，弧形槽10与槽体12一侧连通，放置座27顶部固定安装有安装板4，安装板4的前端外表面固定安装有工作机箱2，工作机箱2顶部固定安装有观察显示屏1，工作机箱2底部固定安装有高倍物镜3，转动支架5内部开设有腔体20，腔体20的内侧底部固定安装有转动座19，转动支架5顶部固定安装有第一电机18，第一电机18的输出轴通过联轴器贯穿至腔体20与转动座19的顶部连接，转动支架5外侧设有与腔体20相通的开口且开口俯视图呈半圆，转动座19一侧通过安装件贯穿开口固定安装有第一电动伸缩杆17，第一电动伸缩杆17伸缩杆的自由端固定安装有转轴16，转轴16外部固定安装有第二电机29，第二电机29的输出轴贯穿至转轴16内连接轴转动轴，转轴16远离转动支架5的一侧设有与转动轴相通的开口，转动轴一侧固定安装有连接杆15的一端，连接杆15的自由端贯穿开口固定安装有安装座14，安装座14底部固定安装有位移传感器26，转轴16后端外表面固定安装有角度传感器25，所述安装座14一侧设有与第一转轴16外表面相匹配的弧形面，安装座14的外弧面与第一转轴16的一侧相贴合，安装座14一侧固定安装有上夹板21，上夹板21顶部固定安装有第二电动伸缩杆28，上夹板21远离安装座14的一侧固定安装有光纤传感器24，安装座14远离转动支架5的一侧转动安装有下夹板23，下夹板23位于上夹板21下方，第二电动伸缩杆28伸缩杆的自由端贯穿至上夹板21下方与下夹板23的顶部转动连接，所述下夹板23的顶部固定安装有垫板22，所述控制器8分别与第一电动伸缩杆17、第一电机18、光纤传感器24、角度传感器25、位移传感器26、第二电动伸缩杆28和第二电机29电连接，使用时，第一电机18驱动转动座19转动，从而带动光纤传感器24转动至于晶舟盒7上方，通过第二电机29、连接杆15和安装座14的配合使用，使得上夹板21转动至垂直角度，通过光纤传感器24能够检测到下方是否存在晶圆，当光纤传感器24检测到下方存在晶圆时，控制器8驱动通过第一电动伸缩杆17伸缩，使得上夹板21和下夹板23分别位于晶圆的两侧，控制器8驱动第二电动伸缩杆28伸缩，从而使得上夹板21和下夹板23对晶圆进行夹紧，垫板22的设置对夹紧时的作用力进行缓冲，减少了作用力对晶圆的损坏，通过第一电机18、第一电动伸缩杆17和第二电动伸缩杆28的配合使用，将晶圆平稳放置在透光镜11顶部，打开光源灯13，通过高倍物镜3能够对晶圆进行观察，位移传感器26的设置，使得位移操作变得更加准确，角度传感器25的设置便于对晶舟盒内的晶圆进行夹取，能够有效地避免操作不当造成晶圆损坏而产生碎片对装置进行刮伤。

本实用新型的工作原理是：

第一电机18驱动转动座19转动，从而带动光纤传感器24转动至于晶舟盒7上方，通过第二电机29、连接杆15和安装座14的配合使用，使得上夹板21转动至垂直角度，通过光纤传感器24能够检测到下方是否存在晶圆，当光纤传感器24检测到下方存在晶圆时，控制器8驱动通过第一电动伸缩杆17伸缩，使得上夹板21和下夹板23分别位于晶圆的两侧，控制器8驱动第二电动伸缩杆28伸缩，从而使得上夹板21和下夹板23对晶圆进行夹紧，通过控制器8、第一电机18、第一电动伸缩杆17、弧形槽10和第二电动伸缩杆28的配合使用，将晶圆平稳放置在透光镜11顶部，打开光源灯13，通过高倍物镜3能够对晶圆进行观察，在操作过程中，位移传感器26的设置，使得位移操作变得更加准确，角度传感器25的设置便于对晶舟盒内的晶圆进行夹取，能够有效地避免操作不当导致晶圆损坏而产生碎片对装置造成刮伤。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种用于显微镜观察的操作装置，包括安装板(4)、转动支架(5)、晶舟盒(7)、控制器(8)和底座(9)，其特征在于，所述底座(9)前端外表面固定安装有控制器(8)，底座(9)顶部固定安装有放置座(27)、转动支架(5)和晶舟盒(7)，放置座(27)和晶舟盒(7)分别位于转动支架(5)的两侧，晶舟盒(7)内侧底部固定安装有若干斜插(6)，放置座(27)顶部开设有槽体(12)，槽体(12)内侧底部固定安装有光源灯(13)，槽体(12)的两侧上方固定安装有透光镜(11)，放置座(27)顶部开设有弧形槽(10)，弧形槽(10)与槽体(12)一侧连通，放置座(27)顶部固定安装有安装板(4)，安装板(4)的前端外表面固定安装有工作机箱(2)，工作机箱(2)顶部固定安装有观察显示屏(1)，工作机箱(2)底部固定安装有高倍物镜(3)，转动支架(5)内部开设有腔体(20)，腔体(20)的内侧底部固定安装有转动座(19)，转动支架(5)顶部固定安装有第一电机(18)，第一电机(18)的输出轴通过联轴器贯穿至腔体(20)与转动座(19)的顶部连接，转动支架(5)外侧设有与腔体(20)相通的开口且开口俯视图呈半圆，转动座(19)一侧通过安装件贯穿开口固定安装有第一电动伸缩杆(17)，第一电动伸缩杆(17)伸缩杆的自由端固定安装有转轴(16)，转轴(16)外部固定安装有第二电机(29)，第二电机(29)的输出轴贯穿至转轴(16)内连接轴转动轴，转轴(16)远离转动支架(5)的一侧设有与转动轴相通的开口，转动轴一侧固定安装有连接杆(15)的一端，连接杆(15)的自由端贯穿开口固定安装有安装座(14)，安装座(14)底部固定安装有位移传感器(26)，转轴(16)后端外表面固定安装有角度传感器(25)，安装座(14)一侧固定安装有上夹板(21)，上夹板(21)顶部固定安装有第二电动伸缩杆(28)，上夹板(21)远离安装座(14)的一侧固定安装有光纤传感器(24)，安装座(14)远离转动支架(5)的一侧转动安装有下夹板(23)，下夹板(23)位于上夹板(21)下方，第二电动伸缩杆(28)伸缩杆的自由端贯穿至上夹板(21)下方与下夹板(23)的顶部转动连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于显微镜观察的操作装置，其特征在于，所述斜插(6)将晶舟盒(7)内部分为若干个用于放置晶圆的腔体。

3.根据权利要求1所述的一种用于显微镜观察的操作装置，其特征在于，所述安装座(14)一侧设有与第一转轴(16)外表面相匹配的弧形面，安装座(14)的外弧面与第一转轴(16)的一侧相贴合。

4.根据权利要求1所述的一种用于显微镜观察的操作装置，其特征在于，所述下夹板(23)的顶部固定安装有垫板(22)。

5.根据权利要求1所述的一种用于显微镜观察的操作装置，其特征在于，所述控制器(8)分别与第一电动伸缩杆(17)、第一电机(18)、光纤传感器(24)、角度传感器(25)、位移传感器(26)、第二电动伸缩杆(28)和第二电机(29)电连接。