CN209041866U - 石英保温桶 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种石英保温桶，石英保温桶竖直放置在固定面上，石英保温桶对晶圆片保温，石英保温桶包括：桶体、底板、端盖和保温片；桶体为两端具有开口的中空腔体，且晶圆片嵌于桶体内；底板盖合在桶体的底端开口处，且将桶体的底端开口闭合；端盖上设置有通孔，端盖盖合在桶体的顶端开口处，且通孔与桶体相通；至少两个保温片套设在桶体的外侧。当嵌于桶体内的晶圆片进行散热时，通过将至少两个保温片套设在桶体的外侧，可实现对石英保温桶进行保温，从而防止因温度的变化过快，而致使晶圆片发生损坏及避免工艺气相沉积因温度产生晶圆不良率，进而提高了晶圆片的质量，及晶圆片表面长膜均匀性。

Description

石英保温桶

技术领域

本实用新型涉及石英技术领域，具体而言，涉及一种石英保温桶。

背景技术

目前，在相关技术中，现有的石英保温桶由于在外侧未设置保温片，因此，石英保温桶的外表面成一整体，致使石英保温桶的散热面积增大，导致石英保温桶内的温度变化快，这就容易对嵌入石英保温桶内的晶圆片产生损坏，降低了晶圆片的质量。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型的提出一种石英保温桶。

有鉴于此，本实用新型提供了一种石英保温桶，石英保温桶竖直放置在固定面上，石英保温桶对晶圆片保温，石英保温桶包括：桶体、底板、端盖和保温片；桶体为两端具有开口的中空腔体，且晶圆片嵌于桶体内；底板盖合在桶体的底端开口处，且将桶体的底端开口闭合；端盖上设置有通孔，端盖盖合在桶体的顶端开口处，且通孔与桶体相通；至少两个保温片套设在桶体的外侧。

在该技术方案中，通过将桶体设置为两端具有开口的中空腔体，以实现将晶圆片嵌于桶体内，从而对晶圆片进行保温；通过将底板盖合在桶体的底端开口处，以实现将桶体的底端开口进行闭合，从而提高石英保温桶的密封性。通过在端盖上设置有通孔，并将端盖盖合在桶体的顶端开口处，以实现将通孔与桶体相通；通过将至少两个保温片套设在桶体的外侧，以将桶体的外表面分隔成多个部分，减少单个部分的散热面积，以实现当对嵌于桶体内的晶圆片进行加热时，减缓桶体内温度的变化速度，从而使晶圆片的温度缓慢上升；同时，当嵌于桶体内的晶圆片进行散热时，通过将至少两个保温片套设在桶体的外侧，可实现对石英保温桶进行保温，从而防止因温度的变化过快，而致使晶圆片发生损坏及避免工艺气相沉积因温度产生晶圆不良率，进而提高了晶圆片的质量，及晶圆片表面长膜均匀性。

另外，本实用新型提供的上述技术方案中的石英保温桶还可以具有如下附加技术特征：

在上述技术方案中，优选地，保温片为八个，且八个保温片套设在桶体的底部。

在该技术方案中，通过将保温片设置为八个，并将八个保温片套设在桶体的底部，进一步实现减缓桶体内的温度变化，以对石英保温桶进行保温，从而防止因温度的变化过快，而致使晶圆片发生损坏，进而提高了晶圆片的质量，延长了晶圆片的使用年限。

在上述技术方案中，优选地，石英保温桶包括：固定孔和连接件；至少两个固定孔穿过底板；连接件穿过固定孔与固定面连接。

在该技术方案中，通过将至少两个固定孔穿过底板，并使连接件穿过固定孔后与固定面相连接，以实现将石英保温桶固定在固定面上，从而提高石英保温桶的稳定性，避免石英保温桶发生倾倒，进而提高了石英保温桶使用的安全性，提升用户的体验。

在上述技术方案中，优选地，固定孔为四个，且四个固定孔均匀设置在底板上。

在该技术方案中，通过将固定孔设置为四个，并将四个固定孔均匀设置在底板上，以实现底板的受力更加均匀，从而使石英保温桶保持平衡状态，以避免石英保温桶发生倾倒，进而提高石英保温桶的稳定性，并提高了石英保温桶使用的安全性，提升用户的体验。

在上述技术方案中，优选地，石英保温桶包括：第一连接板、固定轴和第二连接板；第一连接板卡接在端盖上；至少两个固定轴的一端与第一连接板相连接，固定轴上设置有至少两个固定槽，且晶圆片嵌于固定槽中；第二连接板与至少两个固定轴的另一端相连接。

在该技术方案中，通过将至少两个固定轴的一端与第一连接板相连接，并将至少两个固定轴的另一端与第二连接板相连接，以实现将固定轴的两端固定，以避免固定轴发生晃动，从而提高固定轴的稳定性；通过在固定轴上设置有至少两个固定槽，并使晶圆片嵌于固定槽中，以实现将晶圆片嵌于石英保温桶中，从而提高晶圆片放置的稳定性。

在上述技术方案中，优选地，固定槽包括：本体和引导部；本体为矩形槽；引导部与本体相连接，且引导部截面的两侧边的距离由本体向背离本体方向逐渐增大。

在该技术方案中，通过将本体设置为矩形槽，以增大放置晶圆片的空间，从而使晶圆片嵌于固定槽中；通过将引导部与本体相连接，并使引导部截面的两侧边的距离由本体向背离本体方向逐渐增大，以实现使引导部呈喇叭口状，从而降低晶圆片进入到本体内的难度，不仅可降低晶圆片嵌入到固定槽的难度，从而降低操作者的劳动强度，还可提高装配晶圆片的效率，从而提升产品的使用体验。

在上述技术方案中，优选地，引导部截面的两侧边呈预定角度。

在该技术方案中，通过使引导部截面的两侧边呈预定角度，可实现通过设置引导部的开口角度，进一步降低晶圆片嵌入到固定槽的难度，从而降低操作者的劳动强度，并可提高装配晶圆片的效率，从而提升产品的使用体验。

在上述技术方案中，优选地，石英保温桶为石英体。

在该技术方案中，通过将石英保温桶设置为石英体，以实现将石英保温桶设置为绝缘体，从而使晶圆片处于绝缘环境，以防止电流对晶圆片产生损坏，进而提高了晶圆片的质量。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1示出了根据本实用新型的一个实施例的石英保温桶的结构示意图；

图2为图1示出了根据本实用新型的一个实施例的石英保温桶的结构示意图的A向局部放大图；

图3为图1示出了根据本实用新型的一个实施例的石英保温桶的结构示意图的B向局部放大图；

其中，图1至图3中的附图标记与部件名称之间的对应关系为：

10桶体，20底板，30端盖，40保温片，50固定孔，60连接件，70第一连接板，80固定轴，802固定槽，8022本体，8024引导部，90第二连接板。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

下面参照图1至图3描述根据本实用新型一些实施例所述石英保温桶。

在本实用新型的实施例中，如图1所示，本实用新型提供了一种石英保温桶，石英保温桶竖直放置在固定面上，石英保温桶对晶圆片保温，石英保温桶包括：桶体10、底板20、端盖30和保温片40；桶体10为两端具有开口的中空腔体，且晶圆片嵌于桶体10内；底板20盖合在桶体10的底端开口处，且将桶体10的底端开口闭合；端盖30上设置有通孔，端盖30盖合在桶体10的顶端开口处，且通孔与桶体10相通；至少两个保温片40套设在桶体10的外侧。

在该实施例中，通过将桶体10设置为两端具有开口的中空腔体，以实现将晶圆片嵌于桶体10内，从而对晶圆片进行保温；通过将底板20盖合在桶体10的底端开口处，以实现将桶体10的底端开口进行闭合，从而提高石英保温桶的密封性。通过在端盖30上设置有通孔，并将端盖30盖合在桶体10的顶端开口处，以实现将通孔与桶体10相通；通过将至少两个保温片40套设在桶体10的外侧，以将桶体10的外表面分隔成多个部分，减少单个部分的散热面积，以实现当对嵌于桶体10内的晶圆片进行加热时，减缓桶体10内温度的变化速度，从而使晶圆片的温度缓慢上升；同时，当嵌于桶体10内的晶圆片进行散热时，通过将至少两个保温片40套设在桶体10的外侧，可实现对石英保温桶进行保温，从而防止因温度的变化过快，而致使晶圆片发生损坏及避免工艺气相沉积因温度产生晶圆不良率，进而提高了晶圆片的质量，及晶圆片表面长膜均匀性。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，保温片40为八个，且八个保温片40套设在桶体10的底部。

在该实施例中，通过将保温片40设置为八个，并将八个保温片40套设在桶体10的底部，进一步实现减缓桶体10内的温度变化，以对石英保温桶进行保温，从而防止因温度的变化过快，而致使晶圆片发生损坏，进而提高了晶圆片的质量，延长了晶圆片的使用年限。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图2所示，石英保温桶包括：固定孔50和连接件60；至少两个固定孔50穿过底板20；连接件60穿过固定孔50与固定面连接。

在该实施例中，通过将至少两个固定孔50穿过底板20，并使连接件60穿过固定孔50后与固定面相连接，以实现将石英保温桶固定在固定面上，从而提高石英保温桶的稳定性，避免石英保温桶发生倾倒，进而提高了石英保温桶使用的安全性，提升用户的体验。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，固定孔50为四个，且四个固定孔50均匀设置在底板20上。

在该实施例中，通过将固定孔50设置为四个，并将四个固定孔50均匀设置在底板20上，以实现底板20的受力更加均匀，从而使石英保温桶保持平衡状态，以避免石英保温桶发生倾倒，进而提高石英保温桶的稳定性，并提高了石英保温桶使用的安全性，提升用户的体验。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图1所示，石英保温桶包括：第一连接板70、固定轴80和第二连接板90；第一连接板70卡接在端盖30上；至少两个固定轴80的一端与第一连接板70相连接，固定轴80上设置有至少两个固定槽802，且晶圆片嵌于固定槽802中；第二连接板90与至少两个固定轴80的另一端相连接。

在该实施例中，通过将至少两个固定轴80的一端与第一连接板70相连接，并将至少两个固定轴80的另一端与第二连接板90相连接，以实现将固定轴80的两端固定，以避免固定轴80发生晃动，从而提高固定轴80的稳定性；通过在固定轴80上设置有至少两个固定槽802，并使晶圆片嵌于固定槽802中，以实现将晶圆片嵌于石英保温桶中，从而提高晶圆片放置的稳定性。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图3所示，固定槽802包括：本体8022和引导部8024；本体8022为矩形槽；引导部8024与本体8022相连接，且引导部8024截面的两侧边的距离由本体8022向背离本体8022方向逐渐增大。

在该实施例中，通过将本体8022设置为矩形槽，以增大放置晶圆片的空间，从而使晶圆片嵌于固定槽802中；通过将引导部8024与本体8022相连接，并使引导部8024截面的两侧边的距离由本体8022向背离本体8022方向逐渐增大，以实现使引导部8024呈喇叭口状，从而降低晶圆片进入到本体8022内的难度，不仅可降低晶圆片嵌入到固定槽802的难度，从而降低操作者的劳动强度，还可提高装配晶圆片的效率，从而提升产品的使用体验。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图3所示，引导部8024截面的两侧边呈预定角度。

在该实施例中，通过使引导部8024截面的两侧边呈预定角度，可实现通过设置引导部8024的开口角度，进一步降低晶圆片嵌入到固定槽802的难度，从而降低操作者的劳动强度，并可提高装配晶圆片的效率，从而提升产品的使用体验。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，石英保温桶为石英体。

在该实施例中，通过将石英保温桶设置为石英体，以实现将石英保温桶设置为绝缘体，从而使晶圆片处于绝缘环境，以防止电流对晶圆片产生损坏，进而提高了晶圆片的质量。

在本实用新型的描述中，术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“连接”、“安装”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本实用新型中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种石英保温桶，所述石英保温桶竖直放置在固定面上，所述石英保温桶对晶圆片保温，其特征在于，所述石英保温桶包括：

桶体，所述桶体为两端具有开口的中空腔体，且所述晶圆片嵌于所述桶体内；

底板，所述底板盖合在所述桶体的底端开口处，且将所述桶体的底端开口闭合；

端盖，所述端盖上设置有通孔，所述端盖盖合在所述桶体的顶端开口处，且所述通孔与所述桶体相通；

保温片，至少两个所述保温片套设在所述桶体的外侧。

2.根据权利要求1所述的石英保温桶，其特征在于：

所述保温片为八个，且八个所述保温片套设在所述桶体的底部。

3.根据权利要求1所述的石英保温桶，其特征在于，所述石英保温桶包括：

固定孔，至少两个所述固定孔穿过所述底板；

连接件，所述连接件穿过所述固定孔与所述固定面连接。

4.根据权利要求3所述的石英保温桶，其特征在于：

所述固定孔为四个，且四个所述固定孔均匀设置在所述底板上。

5.根据权利要求1所述的石英保温桶，其特征在于，所述石英保温桶包括：

第一连接板，所述第一连接板卡接在所述端盖上；

固定轴，至少两个所述固定轴的一端与所述第一连接板相连接，所述固定轴上设置有至少两个固定槽，且所述晶圆片嵌于所述固定槽中；

第二连接板，所述第二连接板与至少两个所述固定轴的另一端相连接。

6.根据权利要求5所述的石英保温桶，其特征在于，所述固定槽包括：

本体，所述本体为矩形槽；

引导部，所述引导部与所述本体相连接，且所述引导部截面的两侧边的距离由所述本体向背离所述本体方向逐渐增大。

7.根据权利要求6所述的石英保温桶，其特征在于：

所述引导部截面的两侧边呈预定角度。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的石英保温桶，其特征在于：

所述石英保温桶为石英体。