CN209039581U - 石英匀流板 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种石英匀流板，石英匀流板包括：第一匀流板，第二匀流板和第一连接件；第二匀流板与第一匀流板相对设置，且第二匀流板上设置至少两个导流孔；第一连接件的一端与第一匀流板的中心相连接，且第一连接件的另一端与第二匀流板的中心相连接，以使第一匀流板与第二匀流板之间存有间隙；其中，气体经至少两个导流孔流入，且从间隙中流出。通过在第二匀流板上设置至少两个导流孔，可实现气体均匀流入到间隙中，以避免大量气体突然间进入到间隙，从而实现节约气体，防止气体的浪费，从而降低了生产成本，提高工艺均匀镀膜的稳定性，提升了用户的体验。

Description

石英匀流板

技术领域

本实用新型涉及石英技术领域，具体而言，涉及一种石英匀流板。

背景技术

目前，在相关技术中，现有的石英导流板，由于只设置一个导流孔，因此气体经石英导流板改变流动方向时，会堆积在石英导流板处，从而使气体无法均匀流入，致使气体造成浪费，进而增加了生产成本。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型的提出一种石英匀流板。

有鉴于此，本实用新型提供了一种石英匀流板，石英云流板包括：第一匀流板，第二匀流板和第一连接件；第二匀流板与第一匀流板相对设置，且第二匀流板上设置至少两个导流孔；第一连接件的一端与第一匀流板的中心相连接，且第一连接件的另一端与第二匀流板的中心相连接，以使第一匀流板与第二匀流板之间存有间隙；其中，气体经至少两个导流孔流入，且从间隙中流出。

在该技术方案中，首先，将第二匀流板和第一匀流板相对设置，并在第二匀流板上设置至少两个导流孔；其次，通过将第一连接件的一端与第一匀流板的中心相连接，并将第一连接件的另一端与第二匀流板的中心相连接，以实现使第一匀流板和第二匀流板之间存有间隙。由于第二匀流板设置有至少两个导流孔，且第一匀流板上未设置通孔，因此气体从第二匀流板上的导流孔进入后，从第一匀流板和第二匀流板之间的间隙中流出，从而实现对气体流向的导流作用，使气体可沿多种方向流通，进而拓展了石英匀流板的适用范围，提高了石英匀流板的适用性。同时，通过在第二匀流板上设置至少两个导流孔，可实现气体均匀流入到间隙中，以避免大量气体突然间进入到间隙，从而实现节约气体，防止气体的浪费，从而降低了生产成本，提高工艺均匀镀膜的稳定性，提升了用户的体验。

另外，本实用新型提供的上述技术方案中的石英匀流板还可以具有如下附加技术特征：

在上述技术方案中，优选地，石英匀流板还包括：第二连接件，至少一个第二连接件的一端与第一匀流板相连接，且至少一个第二连接件的另一端与第二匀流板相连接。

在该技术方案中，通过将至少一个第二连接件的一端与第一匀流板相连接，并将至少一个第二连接件的另一端与第二匀流板相连接，以实现将第一匀流板和第二匀流板多点固定，从而提高了第一匀流板和第二匀流板连接的牢固性，以避免石英匀流板发生解体的情况，进而使石英匀流板处于稳定的状态。

在上述技术方案中，优选地，第二连接件为三个，且三个第二连接件沿第一匀流板和第二匀流板的上部均匀分部。

在该技术方案中，通过将第二连接件设置为三个，并使三个第二连接件沿第一匀流板和第二匀流板的上部均匀分部，进一步提高了第一匀流板和第二匀流板连接的牢固性，并使第一匀流板和第二匀流板的受力更加均匀，以避免石英匀流板发生解体的情况，进而使石英匀流板处于稳定的状态。

在上述技术方案中，优选地，石英匀流板还包括：第一定位槽和第二定位槽；第一定位槽同时穿过第一匀流板和第二匀流板；第二定位槽同时穿过第一匀流板和第二匀流板。

在该技术方案中，通过使第一定位槽同时穿过第一匀流板和第二匀流板，并将第二定位槽同时穿过第一匀流板和第二匀流板，以实现通过第一定位槽和第二定位槽将石英匀流板定位，从而提高石英匀流板的装配效率。

在上述技术方案中，优选地，石英匀流板还包括：第一固定孔和第二固定孔；第一固定孔设置在第一匀流板的中心，且第一固定孔包裹在第一连接件的外侧；第二固定孔设置在第二匀流板的中心，且第二固定孔包裹在第一连接件的外侧。

在该技术方案中，通过将第一固定孔设置在第一匀流板的中心，并使第一固定孔包裹在第一连接件的外侧，以提高第一匀流板和第一连接件连接的牢固性；通过将第二固定孔设置在第二匀流板的中心，并使第二固定孔包裹在第一连接件的外侧，以提高第二匀流板和第二连接件连接的牢固性，以避免石英匀流板发生解体的情况，进而使石英匀流板处于稳定的状态。

在上述技术方案中，优选地，导流孔为23个，且23个导流孔均匀分部在第二匀流板上。

在该技术方案中，通过将导流孔设置为23个，并将23个导流孔均匀分部在第二匀流板上，可进一步实现气体均匀流入到间隙中，以避免大量气体突然间进入到间隙，从而实现节约气体，防止气体的浪费，从而降低了生产成本，提升了用户的体验。

在上述技术方案中，优选地，喷砂层，喷砂层包裹在第一匀流板和第二匀流板的外表面上。

在该技术方案中，通过使喷砂层包裹在第一匀流板和第二匀流板的外表面上，以实现使第一匀流板和第二匀流板的外表面获得一定的清洁度和粗糙度，使第一匀流板和第二匀流板的外表面的机械性能得到改善，因此提高了石英匀流板的抗疲劳性，

在上述技术方案中，优选地，石英匀流板为石英体。

在该技术方案中，通过将石英匀流板为石英体，以实现将石英匀流板设置为绝缘体。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1示出了根据本实用新型的一个实施例的石英匀流板的结构示意图；

图2示出了根据本实用新型的另一个实施例的石英匀流板的结构示意图；

图3示出了根据本实用新型的再一个实施例的石英匀流板的结构示意图；

其中，图1至图3中的附图标记与部件名称之间的对应关系为：

10第一匀流板，20第二匀流板，202导流孔，30第一连接件，40间隙，50第二连接件，60第一定位槽，70第二定位槽，80第一固定孔，90第二固定孔。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

下面参照图1至图3描述根据本实用新型一些实施例所述石英匀流板。

在本实用新型的实施例中，如图1和图2所示，本实用新型提供了一种石英匀流板，石英云流板包括：第一匀流板10，第二匀流板20和第一连接件30；第二匀流板20与第一匀流板10相对设置，且第二匀流板20上设置至少两个导流孔202；第一连接件30的一端与第一匀流板10的中心相连接，且第一连接件30的另一端与第二匀流板20的中心相连接，以使第一匀流板10与第二匀流板20之间存有间隙40；其中，气体经至少两个导流孔202流入，且从间隙40中流出。

在该实施例中，首先，将第二匀流板20和第一匀流板10相对设置，并在第二匀流板20上设置至少两个导流孔202；其次，通过将第一连接件30的一端与第一匀流板10的中心相连接，并将第一连接件30的另一端与第二匀流板20的中心相连接，以实现使第一匀流板10和第二匀流板20之间存有间隙40。由于第二匀流板20设置有至少两个导流孔202，且第一匀流板10上未设置通孔，因此气体从第二匀流板20上的导流孔202进入后，从第一匀流板10和第二匀流板20之间的间隙40中流出，从而实现对气体流向的导流作用，使气体可沿多种方向流通，进而拓展了石英匀流板的适用范围，提高了石英匀流板的适用性。同时，通过在第二匀流板20上设置至少两个导流孔202，可实现气体均匀流入到间隙40中，以避免大量气体突然间进入到间隙40，从而实现节约气体，防止气体的浪费，从而降低了生产成本，提高工艺均匀镀膜的稳定性，提升了用户的体验。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图1和图2所示，石英匀流板还包括：第二连接件50，至少一个第二连接件50的一端与第一匀流板10相连接，且至少一个第二连接件50的另一端与第二匀流板20相连接。

在该实施例中，通过将至少一个第二连接件50的一端与第一匀流板10相连接，并将至少一个第二连接件50的另一端与第二匀流板20相连接，以实现将第一匀流板10和第二匀流板20多点固定，从而提高了第一匀流板10和第二匀流板20连接的牢固性，以避免石英匀流板发生解体的情况，进而使石英匀流板处于稳定的状态。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，第二连接件50为三个，且三个第二连接件50沿第一匀流板10和第二匀流板20的上部均匀分部。

在该实施例中，通过将第二连接件50设置为三个，并使三个第二连接件50沿第一匀流板10和第二匀流板20的上部均匀分部，进一步提高了第一匀流板10和第二匀流板20连接的牢固性，并使第一匀流板10和第二匀流板20的受力更加均匀，以避免石英匀流板发生解体的情况，进而使石英匀流板处于稳定的状态。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图1所示，石英匀流板还包括：第一定位槽60和第二定位槽70；第一定位槽60同时穿过第一匀流板10和第二匀流板20；第二定位槽70同时穿过第一匀流板10和第二匀流板20。

在该实施例中，通过使第一定位槽60同时穿过第一匀流板10和第二匀流板20，并将第二定位槽70同时穿过第一匀流板10和第二匀流板20，以实现通过第一定位槽60和第二定位槽70将石英匀流板定位，从而提高石英匀流板的装配效率。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图1至图3所示，石英匀流板还包括：第一固定孔80和第二固定孔90；第一固定孔80设置在第一匀流板10的中心，且第一固定孔80包裹在第一连接件30的外侧；第二固定孔90设置在第二匀流板20的中心，且第二固定孔90包裹在第一连接件30的外侧。

在该实施例中，通过将第一固定孔80设置在第一匀流板10的中心，并使第一固定孔80包裹在第一连接件30的外侧，以提高第一匀流板10和第一连接件30连接的牢固性；通过将第二固定孔90设置在第二匀流板20的中心，并使第二固定孔90包裹在第一连接件30的外侧，以提高第二匀流板20和第二连接件50连接的牢固性，以避免石英匀流板发生解体的情况，进而使石英匀流板处于稳定的状态。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，导流孔202为23个，且23个导流孔202均匀分部在第二匀流板20上。

在该实施例中，通过将导流孔202设置为23个，并将23个导流孔202均匀分部在第二匀流板20上，可进一步实现气体均匀流入到间隙40中，以避免大量气体突然间进入到间隙40，从而实现节约气体，防止气体的浪费，从而降低了生产成本，提升了用户的体验。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，喷砂层，喷砂层包裹在第一匀流板10和第二匀流板20的外表面上。

在该实施例中，通过使喷砂层包裹在第一匀流板10和第二匀流板20的外表面上，以实现使第一匀流板10和第二匀流板20的外表面获得一定的清洁度和粗糙度，使第一匀流板10和第二匀流板20的外表面的机械性能得到改善，因此提高了石英匀流板的抗疲劳性，

在本实用新型的一个实施例中，优选地，石英匀流板为石英体。

在该实施例中，通过将石英匀流板为石英体，以实现将石英匀流板设置为绝缘体。

在本实用新型的描述中，术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“连接”、“安装”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本实用新型中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种石英匀流板，其特征在于，所述石英匀流板包括：

第一匀流板；

第二匀流板，所述第二匀流板与所述第一匀流板相对设置，且所述第二匀流板上设置至少两个导流孔；

第一连接件，所述第一连接件的一端与所述第一匀流板的中心相连接，且所述第一连接件的另一端与所述第二匀流板的中心相连接，以使所述第一匀流板与所述第二匀流板之间存有间隙；

其中，气体经至少两个所述导流孔流入，且从所述间隙中流出。

2.根据权利要求1所述的石英匀流板，其特征在于，所述石英匀流板还包括：

第二连接件，至少一个所述第二连接件的一端与所述第一匀流板相连接，且至少一个所述第二连接件的另一端与所述第二匀流板相连接。

3.根据权利要求2所述的石英匀流板，其特征在于：

所述第二连接件为三个，且三个所述第二连接件沿所述第一匀流板和所述第二匀流板的上部均匀分部。

4.根据权利要求3所述的石英匀流板，其特征在于，所述石英匀流板还包括：

第一定位槽，所述第一定位槽同时穿过所述第一匀流板和所述第二匀流板；

第二定位槽，所述第二定位槽同时穿过所述第一匀流板和所述第二匀流板。

5.根据权利要求1所述的石英匀流板，其特征在于，所述石英匀流板还包括：

第一固定孔，所述第一固定孔设置在所述第一匀流板的中心，且所述第一固定孔包裹在所述第一连接件的外侧；

第二固定孔，所述第二固定孔设置在所述第二匀流板的中心，且所述第二固定孔包裹在所述第一连接件的外侧。

6.根据权利要求1所述的石英匀流板，其特征在于：

所述导流孔为23个，且23个所述导流孔均匀分部在所述第二匀流板上。

7.根据权利要求1所述的石英匀流板，其特征在于，所述石英匀流板还包括：

喷砂层，所述喷砂层包裹在所述第一匀流板和所述第二匀流板的外表面上。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的石英匀流板，其特征在于：

所述石英匀流板为石英体。