CN208982719U - 一种真空镀膜设备过压溢流保护阀 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空镀膜设备过压溢流保护阀，一种针对真空镀膜生产线进出腔体充气破真空时候使用的机械式过压溢流保护阀。其特征主要包括：密封盖板、过渡连接板、连接轴、支撑板、轴用挡圈、O型密封圈、KF法兰卡箍、带密封圈中心支架。所述过压溢流保护阀为机械式结构，密封盖板通过连接轴、过渡连接板与支撑板相连接，连接轴两侧开有安装槽，通过轴用挡圈固定其位置，支撑板上开有密封圈槽，用以安装O型密封圈，密封盖板通过O型密封圈与支撑板之间进行配合，连接板通过KF法兰卡箍和带密封圈中心支架与真空腔体之间进行连接。当腔体处于真空状态，即负压状态时候，密封盖板起到真空密封作用，当腔体内正压过大时候，密封盖板将脱离O型密封圈，起到过压溢流作用。该机构可以广泛应用于真空镀膜设备上，特别是大型高生产节拍的真空镀膜生产线。

Description

一种真空镀膜设备过压溢流保护阀

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备安全保护领域，特别是涉及大型且生产节拍较快的真空镀膜生产线领域。

背景技术

在真空镀膜生产线的领域中，设备使用方都希望在一定程度上提高设备的生产节拍，以提高生产效率。在提高生产节拍的主要因素中，除了抽气时间和传输时间之外，还有一个重要的因素，那就是放气时间。因此，在环境允许情况下，大部分设备厂商会通过高压气体进行破真空，以达到快速放气的作用。针对于高压气体破真空放气的方式，需要在软件上设计一整套安全互锁功能，同时在硬件上也需要一套安全措施，用以保证当软件出现问题时候，过大的压力不会破坏到腔体。但是现有的一些硬件保护结构，很大一部分存在工作不稳定的情况。因此，提供一种简单有效的过压溢流保护装置，是本实用新型亟需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种过压溢流保护阀，该过压溢流保护阀是以硬件形式安装于真空腔体上，能够解决腔体破真空时候，过压气体不会损坏到腔体，从而实现安全生产的作用。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：提供一种过压溢流保护阀。其特征主要包括：密封盖板、过渡连接板、连接轴、支撑板、轴用挡圈、O型密封圈、KF法兰卡箍、带密封圈中心支架。本实用新型结构简单，安装容易，且安全性能非常高。

本实用新型的有益效果是：

1. 本实用新型结构简单，完全不需要借助其它动力源进行工作；

2. 本实用新型利用腔体自身的压力状况，来实现密封和过压溢流的作用。

附图说明

图1是本实用新型一种真空镀膜设备过压溢流保护阀的整体结构图；

图2 是本实用新型半剖切示意图

图3是本实用新型支撑板结构图

主要元件符号说明 10……………….密封盖板 20………………过渡连接板30………………. 连接轴 40……………….支撑板 50……………….轴用挡圈60………………. O型密封圈

70………………. KF法兰卡箍

80……………….带密封圈中心支架。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

请参阅图1和图2，本实用新型实施例包括：

一种过压溢流保护装置，其特征主要包括：密封盖板（10）、过渡连接板（20）、连接轴（30）、支撑板（40）、轴用挡圈（50）、O型密封圈（60）、KF法兰卡箍（70）、带密封圈中心支架（80）；所述过压溢流保护阀为机械式结构，密封盖板（10）通过连接轴（30）、过渡连接板（20）与支撑板（40）相连接，支撑板（40）上开有密封圈槽，用以安装O型密封圈（60），密封盖板（10）通过O型密封圈（60）与支撑板（40）之间实现真空密封作用，支撑板（40）通过KF法兰卡箍（70）和带密封圈中心支架（80）与腔体之间进行连接。

请参阅图1和图2，在实施例中，将装配好的过压溢流保护阀通过KF法兰卡箍（70）和带密封圈中心支架（80）与腔体之间进行连接。常规状态下，密封盖板（10）在重力状态下垂直向下，并与支撑板（40）保持平行。当腔体开始抽真空时候，密封盖板（10）在腔体的负压牵引下开始挤压支撑板（40）上的O型密封圈（60），而此时过渡连接板（20）开启补偿角度模式，使密封盖板（10）与支撑板（40）保持平行，实现密封盖板（10）、O型密封圈（60）和支撑板（40）三者之间的平衡，执行真空密封的功能；腔体开启破真空模式时候，当气体压力超过设定值时候，腔体内的压力会急剧增加，此时压力完全大于密封盖板（10）的重力，而将其与O型密封圈（60）强行分离，腔体内的部分压力通过支撑板（40）的通孔泄压，该装置实现过压溢流保护功能。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (4)

1.一种真空镀膜设备过压溢流保护阀，其特征主要包括：密封盖板（10）、过渡连接板（20）、连接轴（30）、支撑板（40）、轴用挡圈（50）、O型密封圈（60）、KF法兰卡箍（70）、带密封圈中心支架（80）；所述过压溢流保护阀为机械式结构，密封盖板（10）通过连接轴（30）、过渡连接板（20）与支撑板（40）相连接，支撑板（40）上开有密封圈槽，用以安装O型密封圈（60），密封盖板（10）通过O型密封圈（60）与支撑板（40）之间实现真空密封作用，支撑板（40）通过KF法兰卡箍（70）和带密封圈中心支架（80）与真空腔体之间进行连接。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备过压溢流保护阀，其特征在于：所述过压溢流保护阀的支撑板（40），其主要结构为焊接结构，材质为Al 6061-T6，支撑板（40）的正面开有密封燕尾槽，用以安装O型密封圈（60）；支撑板背面焊接KF40的短管法兰，用以对接真空腔体部分；底部开有Φ6.2mm的内孔，用以安装过渡连接板（20）。

3.根据权利要求2所述的支撑板（40）底部开有Φ6.2mm的内孔，该内孔通过连接轴（30）与过渡连接板（20）进行连接，同时连接轴（30）两端开有Φ5.7mm，宽度0.8mm的槽，用以安装轴用挡圈（50），该轴用挡圈对过渡连接板（20）起到左右限位的作用，过渡连接板（20）开有两个直径6.2mm的内孔，通过与连接轴（30）的间隙配合，过渡连接板（20）可以上下自由运动，该过渡连接板（20）同时连接着支撑板（40）和密封盖板（10），起到连接与角度补偿作用。

4.根据权利要求3所述的密封盖板（10），其特征在于：材质为Al 6061-T6,顶部开有Φ6.2mm的内孔，正面为光洁度Ra0.8的密封面，其Φ6.2mm的内孔与过渡连接板（20）通过连接轴（30）的间隙配合，可以上下活动，过渡连接板（20）具有连接和角度补偿作用，使密封盖板（10）的密封面与支撑板（40）上安装的O型密封圈（60）进行配合，当腔体处于真空（负压）状态时候达到真空密封的作用；当腔体内正压过压时候，压力推动密封盖板（10）使其与O型密封圈（60）脱离，达到过压溢流作用。