CN208982706U - 一种超高纯单向阀 - Google Patents

Abstract

一种超高纯单向阀，包括单向阀母体，单向阀母体的一侧焊接有单向阀子体，单向阀子体靠近单向阀母体的一侧固定安装有密封塞头，密封塞头与单向阀子体之间设有填充物，单向阀母体靠近单向阀子体的一侧安装有单向阀垫片，单向阀垫片和密封塞头之间安装有薄片，所述单向阀母体的一侧设有第一固定块，第一固定块靠近单向阀母体的一侧开设有放置槽，单向阀母体的一侧延伸至放置槽内，单向阀母体的顶部和底部均焊接有第二固定块，第二固定块远离第一固定块的一侧开设有转动槽，转动槽内转动安装有旋转块。本实用新型便于对单向阀母体进行安装、固定，便于人员操作，结构简单，使用方便。

Description

一种超高纯单向阀

技术领域

本实用新型涉及机械领域，尤其涉及单向阀，特别是一种超高纯单向阀。

背景技术

随着电子半导体行业，液晶屏行业与生物制药行业在国内的逐渐兴起，在建设与维护整个生产系统的时候，需要用到大量高纯系列的阀门与管件，该单向阀相比以往单向阀更适用于超高纯（UHP）系统中，解决管道在输送超高纯工艺气体的过程中，因为阀门内部不干净或者结构死角过多，而造成的对输送的工艺气体的二次污染问题。芯片的制造等级越来越高，液晶屏的制造要求也越来越高，那么除了制造设备要先进之外，针对于下游环节中的阀门与管件要求也随之越来越高，为了实现生产技术要求，所有与半导体制造有关的企业都在积极的参加与开发满足使用要求的配件与设备。其中就包含单向阀，市场上的单向阀种类很多，结构方式也有很多，其中有一种直流式的单向阀，内部由螺旋弹簧、塞头和阀瓣组成，其工作原理是靠介质本身流动实现弹簧压缩而自动启闭，用来防止气体倒流而造成的一系列问题，还可以防止容器中介质的泄露。现有技术的缺点;1.单向阀的开启压力不够灵敏与精确。单向阀内部构造复杂，阻流效果大。单向阀内部零件多，死角多，在超高纯气体管路或者系统中，不易于吹扫，内部零件表面粗糙度也很难达到更高的制造要求。外部使用螺纹连接，因此长期震动频繁受力会出现内部密封配合松动的现象，以致导致阀体内密封泄漏。申请号为201220549462.5的专利文献公开了一种单向阀，所述单向阀包括阀体、阀芯、弹簧和封堵，阀芯安装于阀体内，弹簧支撑阀芯，水压压动弹簧，弹簧带动阀芯进行开通与关闭的动作；阀芯头部连接封堵，放置于进口处；述封堵与阀芯为分体结构；封堵的材料为软质的橡胶和塑料材料。这种单向阀结构简单，封堵与阀芯为分体结构，与阀芯的材料不同，为软质材料，能够解决现有的单向阀关闭不严的情况，但是，不便于安装、固定。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种超高纯单向阀。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种超高纯单向阀，包括单向阀母体，单向阀母体的一侧焊接有单向阀子体，单向阀子体靠近单向阀母体的一侧固定安装有密封塞头，密封塞头与单向阀子体之间设有填充物，单向阀母体靠近单向阀子体的一侧安装有单向阀垫片，单向阀垫片和密封塞头之间安装有薄片，所述单向阀母体的一侧设有第一固定块，第一固定块靠近单向阀母体的一侧开设有放置槽，单向阀母体的一侧延伸至放置槽内，单向阀母体的顶部和底部均焊接有第二固定块，第二固定块远离第一固定块的一侧开设有转动槽，转动槽内转动安装有旋转块，第二固定块的另一侧开设有转动孔，转动孔与转动槽连通，转动孔内转动安装有丝杆，丝杆的一端延伸至转动槽内并焊接于旋转块上，第一固定块的顶部和底部均焊接有第三固定块。

优选的，所述第三固定块靠近第二固定块的一侧开设有螺纹槽，丝杆的一端延伸至第二固定块的外侧并与对应的螺纹槽螺纹连接。

优选的，所述丝杆上固定套设有环形块，转动孔的内壁上开设有环形槽，环形块和对应的环形槽相适配。

优选的，所述第二固定块和第三固定块之间设有橡胶垫片，橡胶垫片套设于丝杆上。

优选的，所述转动槽和转动孔的竖截面构成T形，旋转块和丝杆构成T型结构。

优选的，所述填充物为氟橡胶材质，薄片为镍钴合金。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

通过第一固定块、放置槽、第二固定块、转动槽、旋转块、转动孔、丝杆、环形槽、环形块、第三固定块、螺纹槽和橡胶垫片，在安装时，将单向阀母体插入第一固定块的上的放置槽内，同时使两个丝杆与螺纹槽对准，转动旋转块，旋转块带动丝杆转动，通过环形槽和环形块的配合对丝杆进行限位，保证丝杆转动不偏位，丝杆在螺纹槽内转动，从而实现第二固定块和第三固定块之间的紧固，通过橡胶垫片的配合，从而实现第二固定块和第三固定块连接更加贴合，第二固定块和第三固定块之间的连接从而实现对单向阀母体进行安装固定；

本实用新型便于对单向阀母体进行安装、固定，便于人员操作，结构简单，使用方便。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种超高纯单向阀的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种超高纯单向阀的单向阀母体结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种超高纯单向阀的A部分结构示意图。

图中：1单向阀母体、2单向阀垫片、3薄片、4密封塞头、5填充物、6单向阀子体、7第一固定块、8放置槽、9第二固定块、10转动槽、11旋转块、12转动孔、13丝杆、14环形槽、15环形块、16第三固定块、17螺纹槽、18橡胶垫片。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-3，一种超高纯单向阀，包括单向阀母体1，单向阀母体1的一侧焊接有单向阀子体6，单向阀子体6靠近单向阀母体1的一侧固定安装有密封塞头4，密封塞头4与单向阀子体6之间设有填充物5，单向阀母体1靠近单向阀子体6的一侧安装有单向阀垫片2，单向阀垫片2和密封塞头4之间安装有薄片3，单向阀母体1的一侧设有第一固定块7，第一固定块7靠近单向阀母体1的一侧开设有放置槽8，单向阀母体1的一侧延伸至放置槽8内，单向阀母体1的顶部和底部均焊接有第二固定块9，第二固定块9远离第一固定块7的一侧开设有转动槽10，转动槽10内转动安装有旋转块11，第二固定块9的另一侧开设有转动孔12，转动孔12与转动槽10连通，转动孔12内转动安装有丝杆13，丝杆13的一端延伸至转动槽10内并焊接于旋转块11上，第一固定块7的顶部和底部均焊接有第三固定块16，通过第一固定块7、放置槽8、第二固定块9、转动槽10、旋转块11、转动孔12、丝杆13、环形槽14、环形块15、第三固定块16、螺纹槽17和橡胶垫片18，在安装时，将单向阀母体1插入第一固定块7的上的放置槽8内，同时使两个丝杆13与螺纹槽17对准，转动旋转块11，旋转块11带动丝杆13转动，通过环形槽14和环形块15的配合对丝杆13进行限位，保证丝杆13转动不偏位，丝杆13在螺纹槽17内转动，从而实现第二固定块9和第三固定块16之间的紧固，通过橡胶垫片18的配合，从而实现第二固定块9和第三固定块16连接更加贴合，第二固定块9和第三固定块16之间的连接从而实现对单向阀母体1进行安装固定，本实用新型便于对单向阀母体1进行安装、固定，便于人员操作，结构简单，使用方便。

本实用新型中，阀门内部用新型弹性膜片代替原有的螺旋弹簧作为启闭元件，在轴向方向上减小了阀门内部密封空间，使单向阀更加短小，并且在使用期间不会有噪音出现，阀门外部密封采用全焊接式结构，完全杜绝阀门零泄漏带来的危险，阀门内部采用机械抛光+电解抛光，使内表面粗糙度Ra≤0.13,大大提高了阀门使用环境的多样性和选择性，改变阀门内部结构，使阀门内部死角介质残留达到最小，使用浇筑密封塞头4方式密封，大大增加了阀门密封效果，使用弹性膜片代替弹簧增强了阀门的耐腐蚀性，使用寿命，以及使用强度，使用弹性膜片代替以往弹簧式单向阀的结构形式，密封塞头4内部浇铸氟橡胶时，浇铸表面必须平整，不能有任何划伤，阀门在焊接的时候必须符合焊接要求，阀门两端接头在电子显微镜观察下不能有任何碰上与擦伤，减少阀门内部密封空间，使用过程无噪音，极大提高密封效果，改变密封形式，使用弹性膜片减少介质内部残留，提高阀门使用洁净程度，密封材质实现了与所有半导体气体的兼容，第三固定块16靠近第二固定块9的一侧开设有螺纹槽17，丝杆13的一端延伸至第二固定块9的外侧并与对应的螺纹槽17螺纹连接，丝杆13上固定套设有环形块15，转动孔12的内壁上开设有环形槽14，环形块15和对应的环形槽14相适配，第二固定块9和第三固定块16之间设有橡胶垫片18，橡胶垫片18套设于丝杆13上，转动槽10和转动孔12的竖截面构成T形，旋转块11和丝杆13构成T型结构，填充物5为氟橡胶材质，薄片3为镍钴合金，通过第一固定块7、放置槽8、第二固定块9、转动槽10、旋转块11、转动孔12、丝杆13、环形槽14、环形块15、第三固定块16、螺纹槽17和橡胶垫片18，在安装时，将单向阀母体1插入第一固定块7的上的放置槽8内，同时使两个丝杆13与螺纹槽17对准，转动旋转块11，旋转块11带动丝杆13转动，通过环形槽14和环形块15的配合对丝杆13进行限位，保证丝杆13转动不偏位，丝杆13在螺纹槽17内转动，从而实现第二固定块9和第三固定块16之间的紧固，通过橡胶垫片18的配合，从而实现第二固定块9和第三固定块16连接更加贴合，第二固定块9和第三固定块16之间的连接从而实现对单向阀母体1进行安装固定，本实用新型便于对单向阀母体1进行安装、固定，便于人员操作，结构简单，使用方便。

工作原理：在安装时，将单向阀母体1插入第一固定块7的上的放置槽8内，同时使两个丝杆13与螺纹槽17对准，转动旋转块11，旋转块11带动丝杆13转动，通过环形槽14和环形块15的配合对丝杆13进行限位，保证丝杆13转动不偏位，丝杆13在螺纹槽17内转动，从而实现第二固定块9和第三固定块16之间的紧固，通过橡胶垫片18的配合，从而实现第二固定块9和第三固定块16连接更加贴合，第二固定块9和第三固定块16之间的连接从而实现对单向阀母体1进行安装固定。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种超高纯单向阀，包括单向阀母体（1），单向阀母体（1）的一侧焊接有单向阀子体（6），单向阀子体（6）靠近单向阀母体（1）的一侧固定安装有密封塞头（4），密封塞头（4）与单向阀子体（6）之间设有填充物（5），单向阀母体（1）靠近单向阀子体（6）的一侧安装有单向阀垫片（2），单向阀垫片（2）和密封塞头（4）之间安装有薄片（3），其特征在于，所述单向阀母体（1）的一侧设有第一固定块（7），第一固定块（7）靠近单向阀母体（1）的一侧开设有放置槽（8），单向阀母体（1）的一侧延伸至放置槽（8）内，单向阀母体（1）的顶部和底部均焊接有第二固定块（9），第二固定块（9）远离第一固定块（7）的一侧开设有转动槽（10），转动槽（10）内转动安装有旋转块（11），第二固定块（9）的另一侧开设有转动孔（12），转动孔（12）与转动槽（10）连通，转动孔（12）内转动安装有丝杆（13），丝杆（13）的一端延伸至转动槽（10）内并焊接于旋转块（11）上，第一固定块（7）的顶部和底部均焊接有第三固定块（16）。

2.根据权利要求1所述的一种超高纯单向阀，其特征在于，所述第三固定块（16）靠近第二固定块（9）的一侧开设有螺纹槽（17），丝杆（13）的一端延伸至第二固定块（9）的外侧并与对应的螺纹槽（17）螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的一种超高纯单向阀，其特征在于，所述丝杆（13）上固定套设有环形块（15），转动孔（12）的内壁上开设有环形槽（14），环形块（15）和对应的环形槽（14）相适配。

4.根据权利要求1所述的一种超高纯单向阀，其特征在于，所述第二固定块（9）和第三固定块（16）之间设有橡胶垫片（18），橡胶垫片（18）套设于丝杆（13）上。

5.根据权利要求1所述的一种超高纯单向阀，其特征在于，所述转动槽（10）和转动孔（12）的竖截面构成T形，旋转块（11）和丝杆（13）构成T型结构。

6.根据权利要求1所述的一种超高纯单向阀，其特征在于，所述填充物（5）为氟橡胶材质，薄片（3）为镍钴合金。