CN208943860U - 一种高精度稀释配气仪 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一高精度稀释配气仪，包括气体流路和液体流路，其特征在于所述气体流路和液体流路与高温汽化混合装置连接；气体流路包括稀释气口、配比气口和与其相对应的两个气体质量流量控制器MFC，稀释气与配比气分别通过两个气体质量流量控制器MFC经汇流后，通过标准气口进入高温汽化混合装置；液体流路包含液体入口、蠕动泵和与其对应的液体质量流量计MFM，蠕动泵抽取液体经液体质量流量计MFM后进入高温汽化混合装置。本实用新型可以实现配比气的高精度及加湿气化混合的均匀性，保证配气仪的标定精度。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种高精度稀释配气仪，还包括一种配套设计的汽化混合装置，适用于实验室分析仪表及现场分析仪表的标准气的稀释配气。
背景技术
环境监测及工业过程分析需要大量的气体分析仪表及分析系统。气体分析仪表及系统的标定大多采用标准气，分析仪表及系统的标定需要一系列标气用于线性化检测，，采用高精度稀释配气仪可以直接用量程标气与零点气配比，实现高精度的线性化配气要求，替代线性化监检测需要的各种标气，从而满足分析仪表的线性化标定检测。高精度稀释配气仪是分析仪表常用的标准配置设备。
高精度稀释配气仪是用于标定分析仪表的线性化的精密配气设备，根据比例稀释的原理，将已知浓度标准物质按照体积成比例稀释成所需浓度标准样气，用于产生各种浓度的标准气，广泛应用于化学分析实验室、仪表研发与制造实验室、电厂、化工厂等现场分析监测领域。
加湿汽化混合装置是高精度稀释配气仪的重要组成部分，按照配气的湿度要求加湿，并与稀释气体混合，气液混合越均匀，稀释配气仪配置的标气对分析仪表标定越准确，因此，加湿及汽化混合的性能直接影响稀释配气仪的精度。
如何实现配比气的高精度及加湿气化混合的均匀性，以保证配气仪的标定精度，成为本领域技术人员亟需解决的问题。
实用新型内容
本实用新型目的是为了提供一种高精度稀释配气仪，用以实现标准气配置中高精度的问题。
本实用新型是这样实现的：高精度稀释配气仪，包括气体流路和液体流路，其特征在于所述气体流路和液体流路与高温汽化混合装置连接；所述气体流路包括稀释气口、配比气口和与其相对应的两个气体质量流量控制器MFC，稀释气与配比气分别通过两个气体质量流量控制器MFC经汇流后，通过标准气口进入高温汽化混合装置；所述液体流路包含液体入口、蠕动泵和与其对应的液体质量流量计MFM，蠕动泵抽取液体经液体质量流量计MFM后进入高温汽化混合装置；所述高温汽化混合装置包括设有出口的耐高温壳体，耐高温壳体内有混合腔，混合腔的上部设有PEEK喷头，液体由喷头上端进入，高压气体由喷头侧面进入，高压气体与液体碰撞产生雾化，再经喷头进入高温混合腔进行充分混合。
一般地，所述气体流路的管路及高温汽化装置的混合腔内壁均采用经钝化处理的不锈钢材质。
所述液体流路的管路采用PEEK毛细管，毛细管的内径1mm。
所述气体质量流量控制器MFC为热式质量流量控制器，准确度为±0.1%F.S.。
所述液体质量流量计MFM采用科里奥利式流量计，准确度为±0.2%F.S.。
所述高温汽化混合装置设有加热与控温装置。
所述的高精度稀释配气仪，还包括设定单元与微处理单元，设定单元用于设定配置参数及开关机，配制参数包括稀释比例、气体种类及流量，设定单元联接微处理单元，微处理单元与两个气体质量流量控制器MFC、液体质量流量计MFM、蠕动泵以及高温汽化混合装置的控温装置联接。
所述设定单元还包括可触控显示屏。
本实用新型的优点：1）采用进口高精度热式气体质量流量控制器（MFC）和高精度液体质量流量计（MFM）；2）气体流路的管路及混合腔的内壁均采用经过钝化处理的不锈钢材质，减小吸附影响；可以使用酸洗法进行钝化处理，测试表明，钝化处理后所得稀释配比气更加接近设定值；3）液体流路的管路采用PEEK毛细管，对大多数溶剂其化学性能稳定，极少产生不良反应，且具有非常光滑的内表面；细小的口径利于控制流量以及利于汽化；4）专门设计配套的高温汽化混合装置，采用具有毛细通道的peek喷头，peek喷头使得高压气体与液体对碰从而喷射进入混合腔产生汽化。
本实用新型可以实现配比气的高精度及加湿气化混合的均匀性，保证配气仪的标定精度。
附图说明
图1是本实用新型实施例高精度稀释配气仪的连接结构示意图。
图中，1-气体流路，2-液体流路，3-高温汽化混合装置；11、12-气体质量流量控制器MFC，21-液体质量流量计MFM，22-蠕动泵，31-进液口，32-进气口，33-混合腔。
具体实施方式
下面结合实施例和附图对本实用新型做进一步说明。
实施例
高精度的稀释配气仪，参考附图1，主要包括气体流路1和液体流路2，气体流路1和液体流路2与高温汽化混合装置3连接；所述气体流路1包括稀释气口、配比气口和与其相对应的两个气体质量流量控制器MFC 11和12，稀释气与配比气分别通过两个气体质量流量控制器MFC经汇流后，通过标准气口进入高温汽化混合装置3；所述液体流路2包含液体入口、蠕动泵22和与其对应的液体质量流量计MFM 21，蠕动泵22抽取液体经液体质量流量计MFM21后进入高温汽化混合装置3；所述高温汽化混合装置3包括设有出口的耐高温壳体，耐高温壳体内有混合腔33，混合腔33的上部设有PEEK喷头，进入高温汽化装置的气体和液体经的PEEK喷头喷射进入混合腔33。
实施例中，气体流路1的管路及高温汽化装置的混合腔33内壁均采用经钝化处理的不锈钢材质，可以使用酸洗法进行钝化处理；液体流路2的管路采用PEEK毛细管，毛细管的内径1mm。
实施例中，两个气体质量流量控制器MFC，利用热式质量流量控制器原理，准确度为±0.1%F.S.；液体质量流量计（MFM），采用进口的科里奥利式流量计，准确度为±0.2%F.S.。
实施例中，高温汽化混合装置3设有加热与控温装置。
实施例的高精度稀释配气仪，还包括该领域所熟知的设定单元与微处理单元（图中未标出），设定单元用于设定配置参数及开关机，配制参数包括稀释比例、气体种类及流量，设定单元联接微处理单元，微处理单元与两个气体质量流量控制器MFC、液体质量流量计MFM、蠕动泵以及高温汽化混合装置的控温装置联接。设定单元还包括可触控显示屏。
实施例的运行过程：气体流路，稀释气与配比气分别通过两个气体质量流量控制器经过汇流后，再通过标准气进气口32进入高温汽化混合装置3与液体混合；液体流路，蠕动泵22抽取液体通过液体质量流量计控制后，经进液口31进入高温汽化混合装置3与气体混合；在此流程中，通过设定单元中给定了稀释比例、气体种类及流量，微处理单元与气体质量流量控制器、液体质量流量计、蠕动泵以及温控装置相连，起到控制作用。
实施例的高温汽化混合装置3，主要包括设有出口的耐高温壳体，耐高温壳体内有混合腔33，混合腔33的上部的PEEK喷头，进入高温汽化装置的气体和液体在PEEK喷头内发生碰撞，液体被打散成雾状形成雾化效果，再喷射进入混合腔33，由于耐高温壳体具有较高恒温温度，从而保证了试剂在该温度下处于汽化状态，气体和液体在混合腔33内得到充分混合后经由出口排出；这样，通过本高温汽化混合装置混合产生的标准气较为均匀，从而保证了标准气配气仪的标定精度。
Claims (8)
1.一种高精度稀释配气仪，包括气体流路和液体流路，其特征在于所述气体流路和液体流路与高温汽化混合装置连接；所述气体流路包括稀释气口、配比气口和与其相对应的两个气体质量流量控制器MFC，稀释气与配比气分别通过两个气体质量流量控制器MFC经汇流后，通过标准气口进入高温汽化混合装置；所述液体流路包含液体入口、蠕动泵和与其对应的液体质量流量计MFM，蠕动泵抽取液体经液体质量流量计MFM后进入高温汽化混合装置；所述高温汽化混合装置包括耐高温壳体，耐高温壳体内有混合腔，混合腔设有出口，混合腔的上部设有PEEK喷头，液体由喷头上端进入，高压气体由喷头侧面进入，高压气体与液体碰撞产生雾化，再经喷头进入高温混合腔进行充分混合。
2.根据权利要求1所述的高精度稀释配气仪，其特征在于，气体流路的管路及高温汽化装置的混合腔内壁均采用经钝化处理的不锈钢材质。
3.根据权利要求1所述的高精度稀释配气仪，其特征在于，液体流路的管路采用PEEK毛细管，毛细管的内径1mm。
4.根据权利要求1所述的高精度稀释配气仪，其特征在于，气体质量流量控制器MFC为热式质量流量控制器，准确度为±0.1%F.S.。
5.根据权利要求1所述的高精度稀释配气仪，其特征在于，液体质量流量计MFM采用科里奥利式流量计，准确度为±0.2%F.S.。
6.根据权利要求1所述的高精度稀释配气仪，其特征在于，高温汽化混合装置设有加热与控温装置。
7.根据权利要求1所述的高精度稀释配气仪，其特征在于，还包括设定单元与微处理单元，设定单元用于设定配置参数及开关机，配制参数包括稀释比例、气体种类及流量，设定单元联接微处理单元，微处理单元与两个气体质量流量控制器MFC、液体质量流量计MFM、蠕动泵以及高温汽化混合装置的控温装置联接。
8.根据权利要求7所述的高精度稀释配气仪，其特征在于，设定单元包括可触控显示屏。
Priority Applications (1)
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| CN201821633589.9U CN208943860U (zh) | 2018-10-09 | 2018-10-09 | 一种高精度稀释配气仪 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111735510A (zh) * | 2020-06-09 | 2020-10-02 | 浙江恒澜科技有限公司 | 一种基于质量流量控制器串联的在线检测浆液含固率装置及方法 |
| CN112924263A (zh) * | 2021-01-30 | 2021-06-08 | 河南省奥瑞环保科技有限公司 | 稀释配气动态控制系统 |
| CN112944213A (zh) * | 2021-03-17 | 2021-06-11 | 重庆渝微电子技术研究院有限公司 | 一种动态气液配气系统及方法 |
| CN114624387A (zh) * | 2020-12-10 | 2022-06-14 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种高压液体中配气的装置及其配气方法 |
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2018
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