CN208920858U - 一种用于退火炉的强对流风叶 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于退火炉的强对流风叶，包括支撑板、冷风进风管、加热箱和对流风叶本体，所述支撑板的内部设有冷风腔，冷风腔和支撑板右侧面的冷风进风管相互连通，本实用新型对流风叶本体后方的支撑板内部设有冷风腔，中间转轴上设有加热箱，能够根据实际需求选择对流风叶进入的是热风还是冷风，控制方便，结构简单，本实用新型对流风叶本体固定焊接在连接卡套上，连接卡套固定在中间转轴和固定套之间，且六组对流风叶本体卡合在固定套上与之相对应的对流风叶卡槽中，固定结构稳固，且便于拆装，对流风叶本体为矩形板状结构，便于清理，使用方便。
Description
技术领域
本实用新型涉及退火炉技术领域，具体为一种用于退火炉的强对流风叶。
背景技术
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，强对流风叶是退火炉中一种供对流使用的风叶，它在实际使用时存在以下弊端：
1.现有的对流风叶在实际使用时往往不能根据需求改变对流风的冷热，适用范围较小；
2.对流风叶在使用时表面容易粘附灰尘，由于风叶形状不规则，不方便清理，使用不便。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于退火炉的强对流风叶，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于退火炉的强对流风叶，包括支撑板、冷风进风管、加热箱和对流风叶本体，所述支撑板的内部设有冷风腔，冷风腔和支撑板右侧面的冷风进风管相互连通，所述冷风腔和支撑板前侧表面的冷风排出口相互连通设置，所述冷风排出口下方的冷风腔中设有六组与之相匹配的密封挡块，六组密封挡块的上表面通过一个半环状的转动环一体连接，所述支撑板的后方设有电机，电机的转轴固定焊接在贯穿支撑板前侧表面的加热箱上，所述加热箱的前端表面固定焊接有中间转轴，中间转轴上活动套设有固定套，所述固定套和中间转轴之间留有间隙，固定套和中间转轴之间的空隙处后端密封，前端开口，固定套上还设有六组呈圆环状贯穿固定套前侧表面的对流风叶卡槽，所述对流风叶卡槽中活动插合有对流风叶本体；
所述对流风叶本体呈矩形板状结构，六组对流风叶卡槽上对应的六组对流风叶本体呈圆形阵列状固定焊接在一个连接卡套上，连接卡套前端设有限位螺杆，所述加热箱的前表面设有热流出口，热流出口和加热箱内部的加热腔相连通，加热腔中设有电加热丝，电加热丝的两端分别与加热箱的内部的正极导线和负极导线之间电性连接，所述正极导线和负极导线远离电加热丝的端部均贯穿加热箱的外圈处设置，且正极导线和负极导线贯穿加热箱外圈处的一端固定焊接有环形的电性接触环，且正极导线和负极导线上的电性接触环分别贴合设在直流电池的正极接线和负极接线处，所述直流电池通过密封卡盖卡合在支撑板内部的槽体中。
优选的，所述冷风排出口呈弧形槽体状结构，冷风排出口设有六组，六组冷风排出口呈圆形阵列状分布，且六组冷风排出口之间彼此相隔二十四度设置。
优选的，所述转动环活动穿过支撑板表面的转动槽设置，且转动环活动穿过冷风排出口的中间位置。
优选的，所述连接卡套呈圆环状结构，连接卡套活动套设在固定套和中间转轴之间的空隙处。
优选的，所述限位螺杆同时贯穿中间转轴和固定套设置，且限位螺杆贯穿固定套的两端处均通过螺纹配合连接有限位螺母。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1.本实用新型对流风叶本体后方的支撑板内部设有冷风腔，中间转轴上设有加热箱，能够根据实际需求选择对流风叶进入的是热风还是冷风，控制方便，结构简单；
2.本实用新型对流风叶本体固定焊接在连接卡套上，连接卡套固定在中间转轴和固定套之间，且六组对流风叶本体卡合在固定套上与之相对应的对流风叶卡槽中，固定结构稳固，且便于拆装，对流风叶本体为矩形板状结构，便于清理，使用方便；
3.本实用新型加热箱结构设置合理，在跟随中间转轴转动的同时能够保证支撑板内部槽体中的直流电池给电加热丝供电，转动的同时热流从热流出口散热，能够通过对流风叶本体均匀散出；
4.冷风腔前端的冷风排出口开合方便，控制转动转动环即可，密封挡块密封在冷风排出口时冷风腔被密封，密封挡块打开时，冷风腔的冷风排出口可顺利排出冷风，冷风进风管供连接冷风源。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型俯视图；
图3为本实用新型正视图；
图4为本实用新型图3中D-D处截面图；
图5为本实用新型支撑板剖视图。
图中：支撑板1、冷风进风管2、冷风排出口3、冷风腔4、转动环5、密封挡块6、加热箱7、热流出口8、密封卡盖9、对流风叶本体10、限位螺杆11、固定套12、连接卡套13、中间转轴14、对流风叶卡槽15、电机16、直流电池17、电加热丝18、正极导线19、负极导线20。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种用于退火炉的强对流风叶，包括支撑板1、冷风进风管2、加热箱7和对流风叶本体10，支撑板1的内部设有冷风腔4，冷风腔4和支撑板1右侧面的冷风进风管2相互连通，冷风腔4和支撑板1前侧表面的冷风排出口3相互连通设置，冷风排出口3下方的冷风腔4中设有六组与之相匹配的密封挡块6，六组密封挡块6的上表面通过一个半环状的转动环5一体连接，支撑板1的后方设有电机16，电机16的转轴固定焊接在贯穿支撑板1前侧表面的加热箱7上，加热箱7的前端表面固定焊接有中间转轴14，中间转轴14上活动套设有固定套12，固定套12和中间转轴14之间留有间隙，固定套12和中间转轴14之间的空隙处后端密封，前端开口，固定套12上还设有六组呈圆环状贯穿固定套12前侧表面的对流风叶卡槽15，对流风叶卡槽15中活动插合有对流风叶本体10；
对流风叶本体10呈矩形板状结构，六组对流风叶卡槽15上对应的六组对流风叶本体10呈圆形阵列状固定焊接在一个连接卡套13上，连接卡套13前端设有限位螺杆11，加热箱7的前表面设有热流出口8，热流出口8和加热箱7内部的加热腔相连通，加热腔中设有电加热丝18，电加热丝18的两端分别与加热箱7的内部的正极导线19和负极导线20之间电性连接，正极导线19和负极导线20远离电加热丝18的端部均贯穿加热箱7的外圈处设置，且正极导线19和负极导线20贯穿加热箱7外圈处的一端固定焊接有环形的电性接触环，且正极导线19和负极导线20上的电性接触环分别贴合设在直流电池17的正极接线和负极接线处，直流电池17通过密封卡盖9卡合在支撑板1内部的槽体中。
冷风排出口3呈弧形槽体状结构，冷风排出口3设有六组，六组冷风排出口3呈圆形阵列状分布，且六组冷风排出口3之间彼此相隔二十四度设置。
转动环5活动穿过支撑板1表面的转动槽设置，且转动环5活动穿过冷风排出口3的中间位置。
连接卡套13呈圆环状结构，连接卡套13活动套设在固定套12和中间转轴14之间的空隙处。
限位螺杆11同时贯穿中间转轴14和固定套12设置，且限位螺杆11贯穿固定套12的两端处均通过螺纹配合连接有限位螺母。
工作原理：本实用新型对流风叶本体10后方的支撑板1内部设有冷风腔4，中间转轴14上设有加热箱7，能够根据实际需求选择对流风叶进入的是热风还是冷风，控制方便，结构简单；
本实用新型对流风叶本体10固定焊接在连接卡套13上，连接卡套13固定在中间转轴14和固定套12之间，且六组对流风叶本体10卡合在固定套12上与之相对应的对流风叶卡槽15中，固定结构稳固，对流风叶本体10通过限位螺杆11同时贯穿固定套12和中间转轴14固定，拆卸下限位螺杆11两端的限位螺母，即可将对流风叶本体10拆卸，便于拆装，对流风叶本体10为矩形板状结构，便于清理，使用方便，且固定套12固定对流风叶本体10的同时起到了稳固和减少对流风叶本体10和中间转轴14之间的磨损的作用，增加了设备的使用寿命；
本实用新型加热箱7结构设置合理，在跟随中间转轴14转动的同时能够保证支撑板1内部槽体中的直流电池17给电加热丝18供电，转动的同时热流从热流出口8散热，能够通过对流风叶本体10均匀散出；
冷风腔4前端的冷风排出口3开合方便，控制转动转动环5即可，密封挡块6密封在冷风排出口3时冷风腔4被密封，密封挡块6打开时，冷风腔4的冷风排出口3可顺利排出冷风，冷风进风管2供连接冷风源，冷风进风管2与冷风腔4连通，保证了冷风顺利进入冷风腔14。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种用于退火炉的强对流风叶，包括支撑板(1)、冷风进风管(2)、加热箱(7)和对流风叶本体(10)，其特征在于：所述支撑板(1)的内部设有冷风腔(4)，冷风腔(4)和支撑板(1)右侧面的冷风进风管(2)相互连通，所述冷风腔(4)和支撑板(1)前侧表面的冷风排出口(3)相互连通设置，所述冷风排出口(3)下方的冷风腔(4)中设有六组与之相匹配的密封挡块(6)，六组密封挡块(6)的上表面通过一个半环状的转动环(5)一体连接，所述支撑板(1)的后方设有电机(16)，电机(16)的转轴固定焊接在贯穿支撑板(1)前侧表面的加热箱(7)上，所述加热箱(7)的前端表面固定焊接有中间转轴(14)，中间转轴(14)上活动套设有固定套(12)，所述固定套(12)和中间转轴(14)之间留有间隙，固定套(12)和中间转轴(14)之间的空隙处后端密封，前端开口，固定套(12)上还设有六组呈圆环状贯穿固定套(12)前侧表面的对流风叶卡槽(15)，所述对流风叶卡槽(15)中活动插合有对流风叶本体(10)；
所述对流风叶本体(10)呈矩形板状结构，六组对流风叶卡槽(15)上对应的六组对流风叶本体(10)呈圆形阵列状固定焊接在一个连接卡套(13)上，连接卡套(13)前端设有限位螺杆(11)，所述加热箱(7)的前表面设有热流出口(8)，热流出口(8)和加热箱(7)内部的加热腔相连通，加热腔中设有电加热丝(18)，电加热丝(18)的两端分别与加热箱(7)的内部的正极导线(19)和负极导线(20)之间电性连接，所述正极导线(19)和负极导线(20)远离电加热丝(18)的端部均贯穿加热箱(7)的外圈处设置，且正极导线(19)和负极导线(20)贯穿加热箱(7)外圈处的一端固定焊接有环形的电性接触环，且正极导线(19)和负极导线(20)上的电性接触环分别贴合设在直流电池(17)的正极接线和负极接线处，所述直流电池(17)通过密封卡盖(9)卡合在支撑板(1)内部的槽体中。
2.根据权利要求1所述的一种用于退火炉的强对流风叶，其特征在于：所述冷风排出口(3)呈弧形槽体状结构，冷风排出口(3)设有六组，六组冷风排出口(3)呈圆形阵列状分布，且六组冷风排出口(3)之间彼此相隔二十四度设置。
3.根据权利要求1所述的一种用于退火炉的强对流风叶，其特征在于：所述转动环(5)活动穿过支撑板(1)表面的转动槽设置，且转动环(5)活动穿过冷风排出口(3)的中间位置。
4.根据权利要求1所述的一种用于退火炉的强对流风叶，其特征在于：所述连接卡套(13)呈圆环状结构，连接卡套(13)活动套设在固定套(12)和中间转轴(14)之间的空隙处。
5.根据权利要求1所述的一种用于退火炉的强对流风叶，其特征在于：所述限位螺杆(11)同时贯穿中间转轴(14)和固定套(12)设置，且限位螺杆(11)贯穿固定套(12)的两端处均通过螺纹配合连接有限位螺母。
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