CN208917296U - 镀膜装置 - Google Patents

Abstract

本公开涉及一种镀膜装置。装置包括：多个腔室、至少一个载板、传输装置、设置在任意相邻两个腔室之间的、可上下移动的隔离机构、控制器；其中，每个腔室的外侧、邻近隔离机构的位置处均设置至少一个第一位置传感器，它用于检测隔离机构的邻近位置是否有载板；载板设置在传输装置上；隔离机构用于隔离或连通相邻两个腔室，至少一个隔离机构的底部设置有至少一个第二位置传感器，用于检测隔离机构的下方是否有载板；控制器用于根据至少一个第一位置传感器和至少一个第二位置传感器的检测结果，控制隔离机构动作。由此，可有效避免因隔离机构误关闭导致的载板、隔离机构损坏，降低了设备维护成本，缩短了设备维护时间，提升了镀膜效率。

Description

镀膜装置

技术领域

本公开涉及镀膜领域，具体地，涉及一种镀膜装置。

背景技术

镀膜设备在通过传输装置传输载板时，通常采用设置在腔室外侧的位置传感器来检测载板是否靠近相邻两个腔室之间的隔离机构(例如，门阀)，其中，该隔离机构通过上下移动来隔离或连通相邻两个腔室；之后，该位置传感器将检测信号发送至可编程逻辑控制器，该可编程逻辑控制器根据该检测信号，控制隔离机构动作。如果上述位置传感器出现故障(即失效)，可编程逻辑控制器无法接收到相应的检测信号，可能引起隔离机构误动作，从而造成设备损坏。例如，可编程逻辑控制器最近一次接收到的检测信号表示隔离机构下方无载板，此时，可编程逻辑控制器控制隔离机构下移，同时载板通过该隔离机构下方，而位置传感器故障导致可编程逻辑控制器无法接收到新的检测信号，这样，隔离机构会与载板发生碰撞，可能导致载板、载板上的待镀膜样品、以及隔离机构损坏，造成镀膜装置停机。

实用新型内容

为了克服现有技术中存在的问题，本公开提供一种镀膜装置。

为了实现上述目的，本公开提供一种镀膜装置，包括：

多个腔室、至少一个载板、传输装置、设置在任意相邻两个腔室之间的、可上下移动的隔离机构、以及控制器；

其中，每个所述腔室的外侧、邻近所述隔离机构的位置处均设置有至少一个第一位置传感器，所述第一位置传感器用于检测所述隔离机构的邻近位置是否存在所述载板；

所述至少一个载板，设置在所述传输装置上，用于安装待镀膜样品；

所述传输装置，用于将所述至少一个载板从一腔室输送至另一腔室；

所述隔离机构，用于通过上下移动来隔离或连通所述相邻两个腔室，并且，至少一个所述隔离机构的底部设置有至少一个第二位置传感器，所述第二位置传感器为贴片式传感器，用于检测所述隔离机构的下方是否存在所述载板；

所述控制器，分别与所述至少一个第一位置传感器、所述至少一个第二位置传感器以及所述隔离机构连接，用于根据所述至少一个第一位置传感器和所述至少一个第二位置传感器的检测结果，控制所述隔离机构动作。

可选地，所述至少一个第二位置传感器包括以下中的至少一者：

压力传感器、电容式传感器、电阻式传感器。

可选地，所述隔离机构包括上隔挡腔、下开口部、以及与所述上隔挡腔内的驱动杆相连接、可上下移动的止挡件，当所述止挡件移动至所述下开口部时，将所述相邻两个腔室隔离，其中，所述至少一个第二位置传感器设置在所述止挡件底部。

可选地，所述上隔挡腔和所述止挡件顶部之间依次设置有拉力传感器和弹簧，其中，所述拉力传感器用于检测所述弹簧的拉力；

所述控制器，与所述拉力传感器连接，用于根据所述拉力传感器检测到的所述拉力、以及所述检测结果，控制所述隔离机构动作。

可选地，所述控制器与至少一个所述第一位置传感器和/或至少一个所述第二位置传感器之间通过多条导线相连。

可选地，所述至少一个第一位置传感器为光电传感器。

可选地，所述光电传感器为对射式光电传感器，其中，所述对射式光电传感器包括相对设置的发射器、接收器。

可选地，至少一个所述第二位置传感器的外表面设有镀镍层。

可选地，所述控制器为可编程逻辑控制器。

可选地，所述装置还包括：

告警装置，与所述控制器连接；

所述控制器，还用于在确定所述隔离机构的下方存在所述载板、且所述隔离机构处于下降过程时，向所述告警装置输出告警消息。

在上述技术方案中，控制器至少根据一个第一位置传感器和一个第二位置传感器的检测结果来控制隔离机构动作。这样，即使其中一个位置传感器发生故障，控制器也可实现隔离机构的正常控制，从而有效避免了因隔离机构误关闭导致的载板、隔离机构损坏，降低了设备维护成本，缩短了设备维护时间，进而提升了镀膜效率。

本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：

图1是根据一示例性实施例示出一种镀膜装置的结构示意图。

图2是根据另一示例性实施例示出一种镀膜装置的结构示意图。

图3是根据另一示例性实施例示出一种镀膜装置的结构示意图。

图4A和4B是根据一示例性实施例示出的一种隔离机构的结构示意图。

图4C是根据一示例性实施例示出的一种第二位置传感器设置位置的示意图。

图4D是根据另一示例性实施例示出的一种第二位置传感器设置位置的示意图。

图5是根据另一示例性实施例示出一种镀膜装置的结构示意图。

图6是根据另一示例性实施例示出的一种隔离机构的局部示意图。

图7是根据另一示例性实施例示出一种镀膜装置的结构示意图。

附图标记说明

1 腔室 2 载板

3 传输装置 4 隔离机构

5 控制器 6 第一位置传感器

7 第二位置传感器 8 告警装置

11 上隔挡腔 12 下开口部

13 止挡件 14 拉力传感器

15 弹簧 61 发射器

62 接收器 111 驱动杆

具体实施方式

以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。

在本公开中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上”、“下”通常是以图中所示的图面方向为基准定义的，“内”、“外”是指相应部件轮廓的内和外，此外，本公开中使用的术语“第一”“第二”等是为了区别一个要素和另一个要素，不具有顺序性和重要性，另外，下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。

图1是根据一示例性实施例示出的一种镀膜装置的结构示意图。参照图1，该镀膜装置包括：多个腔室1(其中，图1中以两个腔室1为例)、一个载板2、传输装置3、设置在任意相邻两个腔室1之间的、可上下移动的隔离机构4、以及控制器5。

在本公开中，上述多个腔室1可以用于进行不同的镀膜作业，即提供不同的镀膜作业空间。载板2可以用于安装待镀膜样品，并设置在传输装置3(示例地，该传输装置3为传输带)上，这样，传输装置3可以将该至少一个载板2从一腔室1运输至另一腔室1。

并且，各腔室1的外侧、邻近隔离机构4的位置处均设置有至少一个第一位置传感器6(如图1所示，腔室1的外侧、邻近隔离机构4的位置处设置有一个位置传感器6)，其中，该第一位置传感器6可以用于检测隔离机构4的邻近位置是否存在载板2，即第一位置传感器6的检测结果包括：检测到检隔离机构4的邻近位置存在载板2，或者，检测到检隔离机构4的邻近位置不存在载板2。

示例地，如图1所示，该第一位置传感器6可以为反射式光电传感器，其中，该反射式光电传感器包括发射器和接收器，且发射器和接收器设置在一起，发射器发出的光线(例如，红外光线)经过待测物体(即载板2)的反射被接收器接收，再经过相关电路的处理得到所需要的信息，从而可以探测有无载板2接近隔离机构4。

又示例地，该第二位置传感器6为对射式光电传感器，如图2所示，该对射式光电传感器包括相对设置的发射器61、接收器62，并且，该接收器62与控制器5连接，即发射器61向接收器62发射光线，接收器62接收该光线。当载板2靠近隔离机构4时，发射器61和接收器62之间的光路被阻断，接收器62无法接收到光线。因此，当接收器62在预设时长内(例如，0.5s)内未接收到光线，即表明有载板2阻断了发射器61向该接收器62发送的光线，即可以确定有载板2靠近隔离机构4。另外，虽然图2中以发射器61和接收器62相对设置在腔室1的下侧、上侧为例进行说明，但二者还可以相对设置在腔室1的左右两侧，并且使得发射器61和接收器62之间的光路与载板2的运动方向垂直、发射器61和接收器62之间的光路通过载板2所在平面。

在镀膜生产线中，由于镀膜作业需要在真空环境下进行，因此，当待镀膜样品进出腔室1时，需要相邻两个腔室1之间处于连通的状态，而当待镀膜样品被运输至相应的腔室1中后，在对该待镀膜样品进行镀膜作业之前，需要将该腔室1与相邻腔室1隔离开，为此，如图1-3中所示，可以在任意相邻两个腔室1之间设置隔离机构4。具体来说，该隔离机构4可以通过上下移动来隔离或连通相邻两个腔室1，如图1、图2中所示，当隔离机构4未移动至腔室1底端时，相邻两个腔室1处于连通的状态，如图3中所示，当隔离机构3移动至腔室1底端时，相邻两个腔室1处于隔离状态。

在一种实施方式中，上述隔离机构4为可上下移动的挡板。

在另一种实施方式中，该隔离机构4可以为图4A中所示的门阀。如图4A所示，该门阀包括上隔挡腔11、下开口部12、以及与上隔挡腔11内的驱动杆111相连接(如图4B中所示)、可上下移动的止挡件13。其中，上隔挡腔11可以将相邻两个腔室1的上半部分隔开，上述驱动杆111可以是可伸缩的，用于驱动止挡件13上下移动，以连通或隔离相邻两个腔室1。具体来说，当止挡件13未移动至下开口部12时，相邻两个腔室1的下半部分是连通的，此时，传输装置3可以经由该下开口部12将该至少一个载板2从一腔室1运输至另一腔室1；而当止挡件13移动至下开口部12时，将相邻两个腔室1隔离。

另外，至少一个隔离机构4的底部设置有至少一个第二位置传感器7，它可以用于检测相应隔离机构4的下方是否存在载板2，即第二位置传感器7的检测结果包括：检测到相应隔离机构4的下方存在载板2，或者，检测到相应隔离机构4的下方不存在载板2。并且，该第二位置传感器7为贴片式传感器，这样，当隔离机构4移动至腔室1底端时，可以保证相邻两个腔室1之间的密封性。

在一种实施方式中，如图1、图2、图4C中所示，隔离机构4的底部设置有一个第二位置传感器7，如图4C中所示，第二位置传感器7设置在止挡件13的底部。

在另一种实施方式中，如图4D、图5中所示，隔离机构4的底部设置有两个第二位置传感器7，并且，该两个第二位置传感器7分别位于隔离机构4的底部的左侧、右侧，如图4D中所示，两个第二位置传感器7分别设置在止挡件13的底部的左侧、右侧。这样，可以提升第二位置传感器7对载板2的检测精度，这样，即使其中一个第二位置传感器7失效或者载板2倾斜，均可以实现对载板2的精确检测。

虽然本公开中以隔离机构4下方设置一个或两个第二位置传感器7为例来进行说明，但还可以在隔离机构4下方设置更多个第二位置传感器7，对于第二位置传感器7的设置数量在本公开中不作具体限定，用户可以根据实际需要进行设定。

另外，上述第二位置传感器7可以为压力传感器、电容式传感器、电阻式传感器等可用以检测隔离机构4下方是否有载板2的传感器，在本公开中不作具体限定。

示例地，该第二位置传感器7为压力传感器，在隔离机构4未移动至腔室1底端、而压力传感器的压力值从零开始而逐渐增大时，表明隔离机构4下方存在载板2；而当隔离机构4移动至腔室1底端前，压力传感器的压力值始终为零，或者，当隔离机构4移动至腔室1底端时，压力传感器的压力值为预设接触压力，表明隔离机构4下方不存在载板2。

如图1-图3中所示，控制器5分别与至少一个第一位置传感器6、至少一个第二位置传感器7以及隔离机构4连接，它可以用于根据该至少一个第一位置传感器6和至少一个第二位置传感器7的检测结果，控制隔离机构4动作。示例地，该控制器5可以为可编程逻辑控制器。

在一种实施方式中，控制器5分别与一个第一位置传感器6和一个第二位置传感器7连接。当第一位置传感器6检测到相应隔离机构4的邻近位置存在载板2、而第二位置传感器7未检测到该隔离机构4下方存在载板2时，表明载板2需要进出腔室1，此时，控制该隔离机构4上移，以使相邻两个腔室2之间连通，从而可以通过运输装置3将载板2从一腔室1运输至另一腔室1；当第二位置传感器7检测到相应隔离机构4下方存在载板2、且该隔离机构4处于下降过程时，控制器5控制该隔离机构4停止下移，或者，直接控制隔离机构4上移。

在另一种实施方式中，控制器5分别与多个第一位置传感器6和多个第二位置传感器7连接，并且该多个第一位置传感器6和多个第二位置传感器7用于检测同一隔离机构的邻近位置或下方是否存在载板2。当任一第一位置传感器6检测到该隔离机构4的邻近位置存在载板2、而所有的第二位置传感器7均未检测到该隔离机构4下方存在载板2时，表明载板2需要进出腔室1，此时，控制器5控制该隔离机构4上移，以使相邻两个腔室2之间连通，从而将载板2从一腔室1运输至另一腔室1；在隔离机构处于下降过程时，当任一第二位置传感器7检测到该隔离机构4下方存在载板2时，控制器5控制隔离机构4停止下移，或者，直接控制隔离机构4上移。

在上述技术方案中，控制器至少根据一个第一位置传感器和一个第二位置传感器的检测结果来控制隔离机构动作。这样，即使其中一个位置传感器发生故障，控制器也可实现隔离机构的正常控制，从而有效避免了因隔离机构误关闭导致的载板、隔离机构损坏，降低了设备维护成本，缩短了设备维护时间，进而提升了镀膜效率。

另外，为了进一步提升上述第二位置传感器7对载板2的检测精度，可以在上述隔离机构4上设置弹簧，这样，控制器5可以同时根据至少一个第一位置传感器6和至少一个第二位置传感器7的检测结果、以及该弹簧的当前长度来控制隔离机构4动作。

在一种实施方式中，控制器5分别与一个第一位置传感器6和一个第二位置传感器7连接。当第一位置传感器6检测到相应隔离机构4的邻近位置存在载板2、而第二位置传感器7未检测到该隔离机构4下方存在载板2时，表明载板2需要进出腔室1，此时，控制该隔离机构4上移，以使相邻两个腔室2之间连通，从而可以通过运输装置3将载板2从一腔室1运输至另一腔室1；当第二位置传感器7检测到相应隔离机构4下方存在载板2、且上述弹簧的当前长度大于第一预设长度阈值、且小于第二预设长度阈值时，表明隔离机构4处于运动状态，如果隔离机构4处于下降过程，控制器5控制该隔离机构4停止下移，或者，直接控制隔离机构4上移，其中，上述第一预设长度阈值为隔离机构4完全打开时弹簧的长度，第二预设长度阈值为隔离机构4完全闭合时弹簧的长度；当第二位置传感器7检测到相应隔离机构4下方存在载板2、且上述弹簧的当前长度大于第一预设长度阈值、且小于第二预设长度阈值时，如果隔离机构4处于上升过程，控制器5控制该隔离机构4继续上移即可。

示例地，上述隔离机构4可以为图4A中所示的门阀，即该门阀包括上隔挡腔11、下开口部12、以及设置在上隔挡腔11内、可上下移动的止挡件13。并且，如图6中所示，上述上隔挡腔11和止挡件13顶部之间依次设置有拉力传感器14和弹簧15，其中，该拉力传感器14可以用于检测弹簧15的拉力。这样，控制器5可以与拉力传感器14连接，用于根据该拉力传感器14检测到的拉力、以及上述检测结果，控制隔离机构4动作。具体来说，控制器5可以根据拉力传感器14检测到的拉力以及弹簧的弹性系数，得到弹簧的当前长度，在该当前长度大于上述第一预设长度阈值、且小于上述第二预设长度阈值时，表明隔离机构4处于运动状态，当该隔离机构4处于下降过程时，如果上述至少一个第二位置传感器7中的任意一者检测到该隔离机构4下方存在载板2时，控制该隔离机构4停止下移，或者，直接控制隔离机构4上移。

另外，为了避免因控制器5与第一位置传感器6和/或第二位置传感器7因连接线损坏而导致第一位置传感器6和/或第二位置传感器7失效，可以在控制器5与至少一个第一位置传感器6和/或至少一个第二位置传感器7之间设置多条(例如，2条)导线。

并且，由于腔室1内温度较高(例如，400℃-500℃)，因此相邻两个腔室1之间的隔离机构4内的温度也相对较高(热传递)，这样，设置在该隔离机构4底部的第二位置传感器7在高温环境下很容易被损坏，为此，可以在至少一个第二位置传感器7的外表面设置耐高温的镀镍层，以提升第二位置传感器7的耐高温能力，从而降低第二位置传感器7被损坏的概率。

此外，如图7所示，上述镀膜装置还可以包括告警装置8(例如，指示灯、语音提醒装置等)，与上述控制器5连接；这样，该控制器5，还可以用于在确定上述隔离机构4的下方存在载板2、且隔离机构4处于下降过程时，向上述告警装置8输出告警消息。这样，用户通过该告警装置8获取到告警消息后，即可获知镀膜装置中的至少一个第一位置传感器可能发生故障，以及时排查发生故障的第一位置传感器。

以上结合附图详细描述了本公开的优选实施方式，但是，本公开并不限于上述实施方式中的具体细节，在本公开的技术构思范围内，可以对本公开的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本公开的保护范围。

另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合。为了避免不必要的重复，本公开对各种可能的组合方式不再另行说明。

此外，本公开的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本公开的思想，其同样应当视为本公开所公开的内容。

Claims (10)

1.一种镀膜装置，其特征在于，包括：

多个腔室(1)、至少一个载板(2)、传输装置(3)、设置在任意相邻两个腔室(1)之间的、可上下移动的隔离机构(4)、以及控制器(5)；

其中，每个所述腔室(1)的外侧、邻近所述隔离机构(4)的位置处均设置有至少一个第一位置传感器(6)，所述第一位置传感器(6)用于检测所述隔离机构(4)的邻近位置是否存在所述载板(2)；

所述至少一个载板(2)，设置在所述传输装置(3)上，用于安装待镀膜样品；

所述传输装置(3)，用于将所述至少一个载板(2)从一腔室(1)输送至另一腔室(1)；

所述隔离机构(4)，用于通过上下移动来隔离或连通所述相邻两个腔室(1)，并且，至少一个所述隔离机构(4)的底部设置有至少一个第二位置传感器(7)，所述第二位置传感器(7)为贴片式传感器，用于检测所述隔离机构(4)的下方是否存在所述载板(2)；

所述控制器(5)，分别与所述至少一个第一位置传感器(6)、所述至少一个第二位置传感器(7)以及所述隔离机构(4)连接，用于根据所述至少一个第一位置传感器(6)和所述至少一个第二位置传感器(7)的检测结果，控制所述隔离机构(4)动作。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述至少一个第二位置传感器(7)包括以下中的至少一者：

压力传感器、电容式传感器、电阻式传感器。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述隔离机构(4)包括上隔挡腔(11)、下开口部(12)、以及与所述上隔挡腔(11)内的驱动杆(111)相连接、可上下移动的止挡件(13)，当所述止挡件(13)移动至所述下开口部(12)时，将所述相邻两个腔室(1)隔离，其中，所述至少一个第二位置传感器(7)设置在所述止挡件(13)底部。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述上隔挡腔(11)和所述止挡件(13)顶部之间依次设置有拉力传感器(14)和弹簧(15)，其中，所述拉力传感器(14)用于检测所述弹簧(15)的拉力；

所述控制器(5)，与所述拉力传感器(14)连接，用于根据所述拉力传感器(14)检测到的所述拉力、以及所述检测结果，控制所述隔离机构(4)动作。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制器(5)与至少一个所述第一位置传感器(6)和/或至少一个所述第二位置传感器(7)之间通过多条导线相连。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述至少一个第一位置传感器(6)为光电传感器。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述光电传感器为对射式光电传感器，其中，所述对射式光电传感器包括相对设置的发射器(61)、接收器(62)。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的装置，其特征在于，至少一个所述第二位置传感器(7)的外表面设有镀镍层。

9.根据权利要求1-7中任一项所述的装置，其特征在于，所述控制器(5)为可编程逻辑控制器。

10.根据权利要求1-7中任一项所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：

告警装置(8)，与所述控制器(5)连接；

所述控制器(5)，还用于在确定所述隔离机构(4)的下方存在所述载板(2)、且所述隔离机构处于下降过程时，向所述告警装置(8)输出告警消息。