CN208883980U - 一种曲柄摇杆式磁控溅射设备阴极挡板 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种曲柄摇杆式磁控溅射设备阴极挡板，包括真空室和磁控溅射阴极，所述磁控溅射阴极位于真空室内；还包括驱动机构、曲柄挡板、摇杆挡板以及滑套，所述驱动机构的转轴外围设置有轴套，所述曲柄挡板的上端与轴套连接，所述曲柄挡板的底端通过第一铰链与摇杆挡板的上端铰接，所述摇杆挡板的底端通过第二铰链与滑套铰接，所述真空室内设置有导向杆，所述滑套位于导向杆上，所述导向杆与磁控溅射阴极的位置相对应。本实用新型可减小磁控溅射阴极的挡板运动时对空间的需求，降低磁控溅射阴极‑工件距离，并有效利用真空室的空间。
Description
技术领域
本实用新型涉及磁控溅射设备相关领域，具体涉及一种曲柄摇杆式磁控溅射设备阴极挡板。
背景技术
目前现有的磁控溅射设备通常采用多个磁控溅射阴极。但在镀膜时，并不一定是所有阴极都同时使用。为了避免不同阴极之间的相互污染，通常在不工作的阴极前加设挡板。
但目前的挡板均采用整体结构，其形状不可变化，在移动挡板时所需空间较大，这导致磁控溅射阴极与工件之间能够采用的最小距离较大，有时甚至显著大于磁控溅射工艺合理的磁控溅射阴极-工件距离。
实用新型内容
本实用新型的目的是：提供一种采用曲柄滑块机构的可移动挡板，可减小磁控溅射阴极的挡板运动时对空间的需求，降低磁控溅射阴极-工件距离，并有效利用真空室的空间。
为了实现上述目的，本实用新型提供如下的技术方案：
一种曲柄摇杆式磁控溅射设备阴极挡板，包括真空室和磁控溅射阴极，所述磁控溅射阴极位于真空室内；还包括驱动机构、曲柄挡板、摇杆挡板以及滑套，所述驱动机构的转轴外围设置有轴套，所述曲柄挡板的上端与轴套连接，所述曲柄挡板的底端通过第一铰链与摇杆挡板的上端铰接，所述摇杆挡板的底端通过第二铰链与滑套铰接，所述真空室内设置有导向杆，所述滑套位于导向杆上，所述导向杆与磁控溅射阴极的位置相对应。
进一步的，所述导向杆竖向设置并且与磁控溅射阴极所在平面相平行；所述驱动机构的转轴水平设置并且与磁控溅射阴极所在平面相平行。
进一步的，所述驱动机构位于真空室侧面，所述驱动机构的转轴具体位于导向杆顶端远离磁控溅射阴极的一侧。
进一步的，所述驱动机构具体为低速电机或气动马达。
进一步的，所述第一铰链和第二铰链的轴所在直线均与驱动机构的转轴相平行。
进一步的，所述滑套与导向杆呈过渡配合。
本实用新型的有益效果为：一种采用曲柄滑块机构的可移动挡板，通过驱动机构、轴套、曲柄挡板、第一铰链、摇杆挡板、第二铰链、滑套以及导向杆的配合使用，摇杆挡板可相对于曲柄挡板进行翻转和折叠，使得挡板机构本身可变形，因此可显著减小磁控溅射阴极的挡板运动时对空间的需求，同时降低磁控溅射阴极-工件距离，保证工件的工艺加工质量，并有效利用真空室的空间。
附图说明
图1为本实用新型一种曲柄摇杆式磁控溅射设备阴极挡板的整体结构示意图。
图2为图1中的A-A剖面示意图。
图中：1、真空室；2、磁控溅射阴极；3、驱动机构；4、轴套；5、曲柄挡板；6、第一铰链；7、摇杆挡板；8、第二铰链；9、滑套；10、导向杆。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型作进一步的详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
参考图1以及图2，一种曲柄摇杆式磁控溅射设备阴极挡板，包括真空室1和磁控溅射阴极2，所述磁控溅射阴极2位于真空室1内；还包括驱动机构3、曲柄挡板5、摇杆挡板7以及滑套9，所述驱动机构3的转轴外围设置有轴套4，所述曲柄挡板5的上端与轴套4连接，所述曲柄挡板5的底端通过第一铰链6与摇杆挡板7的上端铰接，所述摇杆挡板7的底端通过第二铰链8与滑套9铰接，所述真空室1内设置有导向杆10，所述滑套9位于导向杆10上，所述导向杆10与磁控溅射阴极2的位置相对应。
所述曲柄挡板5与摇杆挡板7均用于对磁控溅射阴极2起到遮挡作用。
所述导向杆10竖向设置并且与磁控溅射阴极2所在平面相平行；所述驱动机构3的转轴水平设置并且与磁控溅射阴极2所在平面相平行。
所述驱动机构3位于真空室1侧面，所述驱动机构3的转轴具体位于导向杆10顶端远离磁控溅射阴极2的一侧。
所述驱动机构3具体为低速电机或气动马达，所述驱动机构3用于驱动轴套4旋转特定角度。
所述第一铰链6和第二铰链8的轴所在直线均与驱动机构3的转轴相平行。
所述滑套9与导向杆10呈过渡配合，所述滑套9可沿导向杆10上下滑动。
本实用新型的工作原理为：当需要调整磁控溅射阴极2的挡板机构时，驱动机构3通电运转，驱动机构3的转轴驱动轴套4一并旋转，进而带动曲柄挡板5进行翻转动作，同时在第一铰链6与第二铰链8的作用下，摇杆挡板7与滑套9均动作，使摇杆挡板7与曲柄挡板5的夹角发生变化，实现类似折叠的效果，同时滑套9沿导向杆10滑动，时的挡板机构在真空室1内部狭小空间内实现动作，降低挡板机构对真空室1的空间需求。
上述实施例用于对本实用新型作进一步的说明，但并不将本实用新型局限于这些具体实施方式。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应理解为在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种曲柄摇杆式磁控溅射设备阴极挡板，包括真空室(1)和磁控溅射阴极(2)，所述磁控溅射阴极(2)位于真空室(1)内；其特征在于：还包括驱动机构(3)、曲柄挡板(5)、摇杆挡板(7)以及滑套(9)，所述驱动机构(3)的转轴外围设置有轴套(4)，所述曲柄挡板(5)的上端与轴套(4)连接，所述曲柄挡板(5)的底端通过第一铰链(6)与摇杆挡板(7)的上端铰接，所述摇杆挡板(7)的底端通过第二铰链(8)与滑套(9)铰接，所述真空室(1)内设置有导向杆(10)，所述滑套(9)位于导向杆(10)上，所述导向杆(10)与磁控溅射阴极(2)的位置相对应。
2.根据权利要求1所述的一种曲柄摇杆式磁控溅射设备阴极挡板，其特征在于：所述导向杆(10)竖向设置并且与磁控溅射阴极(2)所在平面相平行；所述驱动机构(3)的转轴水平设置并且与磁控溅射阴极(2)所在平面相平行。
3.根据权利要求2所述的一种曲柄摇杆式磁控溅射设备阴极挡板，其特征在于：所述驱动机构(3)位于真空室(1)侧面，所述驱动机构(3)的转轴具体位于导向杆(10)顶端远离磁控溅射阴极(2)的一侧。
4.根据权利要求3所述的一种曲柄摇杆式磁控溅射设备阴极挡板，其特征在于：所述驱动机构(3)具体为低速电机或气动马达。
5.根据权利要求1所述的一种曲柄摇杆式磁控溅射设备阴极挡板，其特征在于：所述第一铰链(6)和第二铰链(8)的轴所在直线均与驱动机构(3)的转轴相平行。
6.根据权利要求1所述的一种曲柄摇杆式磁控溅射设备阴极挡板，其特征在于：所述滑套(9)与导向杆(10)呈过渡配合。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201821531935.2U CN208883980U (zh) | 2018-09-19 | 2018-09-19 | 一种曲柄摇杆式磁控溅射设备阴极挡板 |
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| CN201821531935.2U CN208883980U (zh) | 2018-09-19 | 2018-09-19 | 一种曲柄摇杆式磁控溅射设备阴极挡板 |
Publications (1)
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| CN208883980U true CN208883980U (zh) | 2019-05-21 |
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ID=66513069
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| CN (1) | CN208883980U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110218985A (zh) * | 2019-07-19 | 2019-09-10 | 贵州商学院 | 一种曲柄摇杆式磁控溅射设备阴极挡板 |
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2018
- 2018-09-19 CN CN201821531935.2U patent/CN208883980U/zh active Active
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| CN110218985A (zh) * | 2019-07-19 | 2019-09-10 | 贵州商学院 | 一种曲柄摇杆式磁控溅射设备阴极挡板 |
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