CN208818802U - 一种具有环境模拟的点针检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种具有环境模拟的点针检测装置，包括控制器、屏蔽箱体、显微镜头、数组点针头、工作台面、样品台，控制器设置于屏蔽箱体外，工作台面设置于屏蔽箱体内，显微镜头、点针头分别通过支架设置于工作台面之上，显微镜头、点针头通过信号转换器与控制器连接，其中，样品台包括具有加热板的第一样品台、具有制冷板的第二样品台，第一样品台、第二样品台可活动地切换至工作台面上的工作位。通过具有加热板的第一样品台和具有制冷板的第二样品台可活动地单一切换至工作台面上的工作位，使得在对芯片进行检测时，可提供多种测试环境，让芯片在贴切现实工作环境下测试样品，这样可以保证检测结果的真实性，提高检测结果精确度。

Description

一种具有环境模拟的点针检测装置

技术领域

本实用新型涉及芯片检测设备技术领域，尤其涉及一种具有环境模拟的点针检测装置。

背景技术

点针检测装置主要用于半导体集成电路的芯片检测和故障分析。现有技术的点针检测装置在对芯片功能检测或者失效分析检测时，其提供的是常温环境的检测环境。通常，芯片的工作环境并非一直保持在常温下，针对一些例如高温环境或低温环境等特定环境下工作的设备，芯片的性能参数难以通过常温环境检测得出精度要求高的检测结果，导致检测结果真实性比较差。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种具有环境模拟的点针检测装置，以解决现有技术中点针检测装置测试环境单一，导致检测结果真实性比较差的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案是：

本实用新型的一种具有环境模拟的点针检测装置，包括控制器、屏蔽箱体、显微镜头、数组点针头、工作台面、样品台，所述控制器设置于所述屏蔽箱体外，所述工作台面设置于所述屏蔽箱体内，所述显微镜头、点针头分别通过支架设置于所述工作台面之上，所述显微镜头、点针头通过信号转换器与所述控制器连接，所述样品台包括具有加热板的第一样品台、具有制冷板的第二样品台，所述第一样品台、第二样品台可活动地切换至所述工作台面上的工作位。

进一步改进在于，所述工作位位于所述显微镜头的正下方，所述第一样品台、第二样品台通过可水平移动的基座设置于所述工作台面上，以使所述第一样品台、第二样品台中的其中一个位于所述工作位上。

进一步改进在于，所述基座包括可水平旋转的基板，所述基板通过转轴设置于所述工作台面上。

进一步改进在于，所述基座包括可水平直线移动的基板，所述基板通过线性导轨设置于所述工作台面上。

进一步改进在于，还包括驱动电机，所述驱动电机与所述控制器连接，用于自动控制所述第一样品台、第二样品台自动切换至所述工作位。

进一步改进在于，所述屏蔽箱体的侧面设置有透明的检测箱门。

进一步改进在于，还包括温度传感器，所述温度传感器与所述控制器连接，所述第一样品台、第二样品台上均设有所述温度传感器。

本实用新型由于采用了以上技术方案，使其具有以下有益效果是：

由于本实用新型中的点针检测装置包括具有加热板的第一样品台、具有制冷板的第二样品台，且可活动地单一切换至工作台面上的工作位，使得点针检测装置在对芯片进行检测时，可提供多种测试环境，比如：对高温环境下工作的芯片、低温环境工作的芯片、常温环境工作的芯片等，让芯片在贴切现实工作环境下测试样品，这样可以保证检测结果的真实性，提高检测结果精确度；第一样品台、第二样品台通过水平移动的基座进行位置切换，结构简单，操作方便；通过驱动电机控制第一、第二样品台自动切换至工作位，自动化程度高，提高了检测效率；屏蔽箱体具有透明的检测箱门，方便操作人员进行检测操作；采用信号转换器，可保证点针检测装置在无外界干扰的环境下检测产品的同时，便于检测时将芯片内部讯号导出来。

附图说明

图1为本实用新型一种点针检测装置的结构示意图；

图2为本实用新型中样品台的第一实施例的结构示意图；

图3为本实用新型中样品台的第二实施例的结构示意图；

图中，1-控制器，10-支架，11-信号转换器，2-屏蔽箱体，3-显微镜头，4-点针头，5-工作台面，6-样品台，61-第一样品台，62-第二样品台，7-芯片样品，8-基板，81-直线导轨，82-滑块，83-转轴。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1、图2所示，本实用新型提供了一种具有环境模拟的点针检测装置，包括控制器1、屏蔽箱体2、显微镜头3、数组点针头4、工作台面5、样品台6，所述控制器1设置于所述屏蔽箱体2外，所述工作台面5设置于所述屏蔽箱体2内，所述显微镜头3、点针头4分别通过支架10设置于所述工作台面5之上，所述显微镜头3、点针头4通过信号转换器11与所述控制器1连接，其中，所述样品台6包括具有加热板(图中未示出)的第一样品台61、具有制冷板(图中未示出)的第二样品台62，所述第一样品台61、第二样品台62可活动地切换至所述工作台面5上的工作位，在本实用新型中，工作位为显微镜头3正下方的位置。

具体地，所述第一样品台61、第二样品台62通过可水平移动的基座设置于所述工作台面上，在本实施例中，基座包括可水平直线移动的基板8，所述基板8通过直线导轨81设置于所述工作台面上，其中，直线导轨81包括两条，且并排设置于工作台面5上，基板8的下方设置有滑块82与直线导轨81相配合，在外力的作用下，可使所述第一样品台、第二样品台中的其中一个推至工作位上。

参照图3所示，在第二种实施例中，与第一中实施例不同的是，所述基座包括可水平旋转的基板8，所述基板8通过转轴83设置于所述工作台面5上。

为了提高自动化水平和检测效率，在上述的两种实施例的基础上，还可以设置一驱动电机(图中未示出)，所述驱动电机通过信号转换器11与所述控制器1连接，用户可根据实际应用的需要，通过控制器1控制驱动电机来自动控制所述第一样品台61、第二样品台62自动切换至所述工作位。

作为本实用新型的一个优先方案，方便操作人员进行检测操作，在所述屏蔽箱体的侧面设置有透明的检测箱门，透明的检测箱门方便用户在闭门的情况下观察箱体内部的情况。

作为本实用新型的一个优先方案，方便控制第一样品台61或第二样品台62的温度，在两个样品台的台面上设置温度传感器，所述温度传感器通过信号转换器11与所述控制器1连接，控制器1可根据温度传感器采集到的温度值对第一样品台61或第二样品台62的温度进行控制。

在测试时，首先将需要测试的芯片样品7固定在所需环境测试的样品台上，如需测试高温环境下芯片的性能或功能，则将芯片样品7固定在第一样品台61上，低温环境则固定在第二样品台62上，并将点针头与芯片样品7的信号端及电源端连接，为芯片测试提供必要的工作电源和信号输出，信号转换器11将信号放大，并增强点针检测装置的抗干扰能力，保证点针检测装置在无外界干扰的环境下检测产品的同时，便于检测时将芯片内部讯号导出来。

应当理解，方位词均是结合操作者和使用者的日常操作习惯以及说明书附图而设立的，它们的出现不应当影响本实用新型的保护范围。

以上结合附图实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域中普通技术人员可根据上述说明对本实用新型做出种种变化例。因而，实施例中的某些细节不应构成对本实用新型的限定，本实用新型将以所附权利要求书界定的范围作为本实用新型的保护范围。

Claims (7)

1.一种具有环境模拟的点针检测装置，其特征在于，包括控制器、屏蔽箱体、显微镜头、数组点针头、工作台面、样品台，所述控制器设置于所述屏蔽箱体外，所述工作台面设置于所述屏蔽箱体内，所述显微镜头、点针头分别通过支架设置于所述工作台面之上，所述显微镜头、点针头通过信号转换器与所述控制器连接，所述样品台包括具有加热板的第一样品台、具有制冷板的第二样品台，所述第一样品台、第二样品台可活动地切换至所述工作台面上的工作位。

2.根据权利要求1所述的点针检测装置，其特征在于，所述工作位位于所述显微镜头的正下方，所述第一样品台、第二样品台通过可水平移动的基座设置于所述工作台面上，以使所述第一样品台、第二样品台中的其中一个位于所述工作位上。

3.根据权利要求2所述的点针检测装置，其特征在于，所述基座包括可水平旋转的基板，所述基板通过转轴设置于所述工作台面上。

4.根据权利要求2所述的点针检测装置，其特征在于，所述基座包括可水平直线移动的基板，所述基板通过线性导轨设置于所述工作台面上。

5.根据权利要求3或4所述的点针检测装置，其特征在于，还包括驱动电机，所述驱动电机与所述控制器连接，用于自动控制所述第一样品台、第二样品台自动切换至所述工作位。

6.根据权利要求5所述的点针检测装置，其特征在于，所述屏蔽箱体的侧面设置有透明的检测箱门。

7.根据权利要求5所述的点针检测装置，其特征在于，还包括温度传感器，所述温度传感器与所述控制器连接，所述第一样品台、第二样品台上均设有所述温度传感器。