CN208800471U - 一种高压泵清洗机改造模块及改造后二流体清洗机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及芯片清洗技术领域，具体涉及一种高压泵清洗机改造模块，包括纯水改造模块、压缩空气改造模块和二流体喷头，所述纯水改造模块用于通过纯水且包括依次连接的节流阀一和水流量计，所述压缩空气改造模块用于通过压缩空气且包括气压表，所述纯水改造模块、压缩空气改造模块和二流体喷头的连接满足：经过纯水改造模块的水和经过压缩空气改造模块的气体由二流体喷头混合后喷出，该二流体喷头出水通道为非直通型。该高压泵清洗机改造模块可以将现有的高压泵清洗改造成二流体清洗机，降低了新设备的采购成本，改造后清洗机维护次数大大减少，使用低压水清洗对管路要求低。
Description
技术领域
本实用新型涉及芯片清洗技术领域，特别是一种高压泵清洗机改造模块及改造后二流体清洗机。
背景技术
半导体IC制程主要以20世纪50年代以后发明的四项基础工艺离子注入、扩散、外延生长及光刻为基础逐渐发展起来，由于集成电路内各元件及连线相当细微，因此制造过程中，如果遭到尘粒、金属的污染，很容易造成晶片内电路功能的损坏，形成短路或断路等，故而清洗工作显得尤为重要。
如图1所示，高压泵清洗洗机包括纯水模块和压缩空气模块，纯水模块包括电磁阀一，压缩空气模块包括电磁阀二和节流阀二，压缩空气驱动高压泵将高压泵的低压纯水加压成高压纯水，由高压喷头喷出，高压泵与喷头之间设有压力表用于测量和观察水压。
高压泵清洗的高压泵与备件价格昂贵，维护成本高。使用的密封圈等零部件易磨损，维护频率高。为了有效稳压，喷头与稳压阀口径小，极易造成堵塞，从而使清洗能力下降。
为了降低新设备采购成本，提高旧设备高压泵清洗机的使用寿命，继续将原来有的高压泵清洗机改造成为二流体清洗机。
实用新型内容
本实用新型的发明目的在于：针对现有技术存在新设备采购成本高，需要将原有的高压泵清洗机改造成为二流体清洗机的问题，提供一种高压泵清洗机改造模块及改造后二流体清洗机，该高压泵清洗机改造模块可以将现有的高压泵清洗改造成二流体清洗机，降低了新设备的采购成本，改造后清洗机维护次数大大减少，使用低压水清洗对管路要求低。
为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：
一种高压泵清洗机改造模块，包括纯水改造模块、压缩空气改造模块和二流体喷头，所述纯水改造模块用于通过纯水且包括依次连接的节流阀一和水流量计，所述压缩空气改造模块用于通过压缩空气且包括气压表，所述纯水改造模块、压缩空气改造模块和二流体喷头的连接满足：经过纯水改造模块的水和经过压缩空气改造模块的气体由二流体喷头混合后喷出，该二流体喷头出水通道为非直通型。
该高压泵清洗机改造模块将现有的高压泵清洗机进行改造，直接将原有的高压泵清洗机的高压泵和压力表拆除后替换为本实用新型高压泵清洗机改造模块，即可得到二流体清洗机，降低了新设备的采购成本，改造后二流体清洗机利用压缩空气高速流动的原理，使液体变微粒化，微粒经特殊喷嘴高速喷出，当从喷嘴喷出的微粒喷射到晶圆表面会立即崩解晶圆表面的微粒，并产生强大的冲击力，晶圆表面附着的超小微粒在二流体喷射是产生的冲击波作用下而被去除，且低压水对管路要求低，喷嘴相对于高压喷头喷嘴尺寸较大，不易堵塞，从而其设备的故障率较低，维护费用低。
作为本实用新型的优选方案，所述二流体喷头喷嘴直径在2.5mm和3mm之间。将喷嘴直径设置在2.5mm到3mm之间既能保证清洗效果，又不易堵塞。
作为本实用新型的优选方案，所述二流体喷头出水通道设置为截面为锯齿形结构。采用截面锯齿形结构，可提高液体微粒化，从而提高清洗效果。
作为本实用新型的优选方案，所述水流量计与二流体喷头之间设有单向阀一。在水流量计与喷头之间设置单向阀，防止水回流，还可以防止水进入气路影响气路元器件寿命。
作为本实用新型的优选方案，所述压力表与二流体喷头之间设有单向阀二。在压力表与喷头之间设置单向阀，防止压缩空气回流。
对应的本实用新型还提供了一种二流体清洗机，所述二流体清洗机包括纯水模块、压缩空气模块和如上所述的二流体喷头，所述纯水模块包括依次连接的电磁阀一和如上所述的纯水改造模块，所述压缩空气改造模块包括依次连接的电磁阀二、节流阀二和如上所述的压缩空气改造模块，连接后经过纯水模块调节的水和经过压缩空气模块调节的气体由二流体喷头混合后喷出。
该二流体清洗机是将纯水与压缩空气在特制喷头内混合成二流体，二流体接触产品时会发生微观上的爆破，通过其爆炸力将产品表面的异物清除掉，从而实现清洁产品的目的，其较高压泵清洗机具有维护频率低、管路成本低、维护成本低和清洗效果更佳的优势。
综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：
1、将现有的高压泵清洗机改造成二流体清洗机，降低了新设备采购成本。
2、改造后二流体清洗机是将纯水与压缩空气在特制喷头内混合成二流体，二流体接触产品时会发生微观上的爆破，通过其爆炸力将产品表面的异物清除掉，从而实现清洁产品的目的，其较高压泵清洗机具有维护频率低、管路成本低、维护成本低和清洗效果更佳的优势。
附图说明
图1是原高压泵清洗机模块的示意图。
图2是本实用新型高压泵清洗机改造模块的示意图。
图3是本实用新型高压泵清洗机改造后二流体清洗机的模块示意图。
图4是改造后二流体清洗机的喷嘴的结构示意图。
图中标记：1-纯水，2-压缩空气，3-电磁阀一，4-节流阀一，5-水流量机，6-单向阀一，7-电磁阀二，8-节流阀二，9-气压表，10-单向阀二，11-二流体喷头，12-高压泵，13-压力表，14-高压喷头，15-出水通道。
具体实施方式
下面结合附图，对本实用新型作详细的说明。
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
实施例1
如图2和图4所示，本实用新型高压泵清洗机改造模块，括纯水改造模块、压缩空气改造模块和二流体喷头11，所述纯水改造模块用于通过纯水1且包括依次连接的节流阀一4和水流量计5，所述压缩空气改造模块用于通过压缩空气2且包括气压表9，所述纯水改造模块、压缩空气改造模块和二流体喷头11的连接满足：经过纯水改造模块的水和经过压缩空气改造模块的气体由二流体喷头11混合后喷出，该二流体喷头11出水通道为非直通型。
具体的，所述二流体喷头喷嘴直径在2.5mm和3mm之间。将喷嘴直径设置在2.5mm到3mm之间既能保证清洗效果，又不易堵塞；二流体喷头11出水通道14设置为截面为锯齿形结构。采用截面锯齿形结构，可提高液体微粒化，从而提高清洗效果。
综上所述，该高压泵清洗机改造模块将现有的高压泵清洗机进行改造，直接将原有的高压泵清洗机的高压泵和压力表拆除后替换为本实用新型高压泵清洗机改造模块，即可得到二流体清洗机，降低了新设备的采购成本，改造后二流体清洗机利用压缩空气高速流动的原理，使液体变微粒化，微粒经特殊喷嘴高速喷出，当从喷嘴喷出的微粒喷射到晶圆表面会立即崩解晶圆表面的微粒，并产生强大的冲击力，晶圆表面附着的超小微粒在二流体喷射是产生的冲击波作用下而被去除，且低压水对管路要求低，喷嘴相对于高压喷头喷嘴尺寸较大，不易堵塞，从而其设备的故障率较低，维护费用低。
实施例2
如图2所示，根据实施例一所述的高压泵清洗机改造模块，所述水流量计5与二流体喷头之11间设有单向阀一6。在水流量计与喷头之间设置单向阀，防止水回流。
实施例3
如图2所示，根据实施例一所述的高压泵清洗机改造模块，所述压力表9与二流体喷头11之间设有单向阀二10。在压力表与喷头之间设置单向阀，防止压缩空气回流，还可以防止水进入气路影响气路元器件寿命。
实施例4
如图3和图4所示，本实用新型还提供了一种二流体清洗机，所述二流体清洗机包括纯水模块、压缩空气模块和如上所述的二流体喷头11，所述纯水模块包括依次连接的电磁阀一3和如上所述的纯水改造模块，所述压缩空气改造模块包括依次连接的电磁阀二7、节流阀二8和如上所述的压缩空气改造模块，连接后经过纯水模块调节的水和经过压缩空气模块调节的气体由二流体喷头11混合后喷出。
该二流体清洗机是将纯水与压缩空气在特制喷头内混合成二流体，二流体接触产品时会发生微观上的爆破，通过其爆炸力将产品表面的异物清除掉，从而实现清洁产品的目的，其相对于高压泵清洗机具有维护频率低、管路成本低、维护成本低和清洗效果更佳的优势。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种高压泵清洗机改造模块，其特征在于，包括纯水改造模块、压缩空气改造模块和二流体喷头，所述纯水改造模块用于通过纯水且包括依次连接的节流阀一和水流量计，所述压缩空气改造模块用于通过压缩空气且包括气压表，所述纯水改造模块、压缩空气改造模块和二流体喷头的连接满足：经过纯水改造模块的水和经过压缩空气改造模块的气体由二流体喷头混合后喷出，该二流体喷头出水通道为非直通型。
2.根据权利要求1所述的高压泵清洗机改造模块，其特征在于，所述二流体喷头喷嘴直径在2.5mm和3mm之间。
3.根据权利要求2所述的高压泵清洗机改造模块，其特征在于，所述二流体喷头出水通道设置为截面为锯齿形结构。
4.根据权利要求3所述的高压泵清洗机改造模块，其特征在于，所述水流量计与二流体喷头之间设有单向阀一。
5.根据权利要求4所述的高压泵清洗机改造模块，其特征在于，所述气压表与二流体喷头之间设有单向阀二。
6.一种二流体清洗机，其特征在于，所述二流体清洗机包括纯水模块、压缩空气模块和如权利要求1-5任一所述的二流体喷头，所述纯水模块包括依次连接的电磁阀一和如权利要求1-5任一所述的纯水改造模块，所述压缩空气改造模块包括依次连接的电磁阀二、节流阀二和如权利要求1-5任一所述的压缩空气改造模块，连接后经过纯水模块调节的水和经过压缩空气模块调节的气体由二流体喷头混合后喷出。
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