CN208733223U - 夹具、蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种夹具、蒸镀装置，属于蒸镀技术领域。本实用新型的夹具，包括：支撑组件，其用于支撑基板；连接组件，其与所述支撑组件连接；沿着所述夹具的高度方向，所述支撑组件包括相对设置的第一侧面、第二侧面，所述连接组件包括相对设置的第三侧面、第四侧面，所述第三侧面高于所述第一侧面；调整组件，用于调整所述基板的位置。

Description

夹具、蒸镀装置

技术领域

本实用新型属于蒸镀技术领域，具体涉及一种夹具、蒸镀装置。

背景技术

目前，在对玻璃基板3进行蒸镀之前，需做一定的准备工作，例如：将待进行蒸镀的玻璃基板3贴合至冷却板上。

具体的，首先，机械手将待进行蒸镀的玻璃基板3运送至蒸镀腔室内，并根据预先设定的坐标位置，将该玻璃基板3放置在如图1所示的台阶形夹具上；待机械手退出蒸镀腔室之后，夹具会向上移动，直至其所承载的玻璃与冷却板完全贴合为止。

然而，在实际操作中，即便机械手到达了预先设定的坐标位置，但在其将其所夹持的玻璃基板3放置在夹具上时，仍存在一定的位置偏差，此时，该玻璃基板3极易搭在夹具的台阶上，从而使得在上升夹具，以将夹具所承载的玻璃基板3与冷却板相贴合的过程中，搭在台阶处的玻璃基板3极易因受到夹具与冷却板的相互作用力而发生破碎，此时，待进行蒸镀的玻璃基板3不仅会被损坏，而且，由于夹具要工作一段时间后才会对其进行检修，故破碎的玻璃碎片将残留在该夹具上很长一段时间，此时，在使用该夹具承载其他的玻璃基板3时，这些玻璃基板3势必会被其上残留的玻璃碎片划伤，甚至再次发生破碎，从而导致包括该夹具的蒸镀装置宕机，无法对玻璃基板3进行蒸镀工艺。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种避免夹碎玻璃基板的夹具、蒸镀装置。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是一种夹具，包括：

支撑组件，其用于支撑基板；

连接组件，其与所述支撑组件连接；沿着所述夹具的高度方向，所述支撑组件包括相对设置的第一侧面、第二侧面，所述连接组件包括相对设置的第三侧面、第四侧面，所述第三侧面高于所述第一侧面；

调整组件，用于调整所述基板的位置。

优选的是，所述调整组件为转动组件，其设置在所述第一侧面，用于在外力作用下发生转动。

优选的是，所述支撑组件的第一侧面设有凹槽，所述转动组件设置在所述凹槽中，并在外力作用下，在所述凹槽中发生转动。

优选的是，

所述连接组件还包括第五侧面，所述第五侧面位于所述第二侧面与所述第三侧面之间，且与所述第二侧面、所述第三侧面连接；

所述凹槽的中心点与所述第五侧面的距离为所述凹槽的宽度的一半，且所述转动组件位于所述凹槽中时，其的高度大于或等于所述连接组件的高度。

优选的是，所述转动组件的中轴线与所述第一侧面位于同一水平面上。

优选的是，所述转动组件包括转动部件、轴杆；所述转动部件具有用于容纳所述轴杆的通孔，所述轴杆套设于所述通孔中，且所述轴杆的两端分别固定在所述支撑组件上。

优选的是，

所述转动组件还包括：一对固定部件，其均套设并固定在所述轴杆上，所述转动部件位于两个所述固定部件之间。

优选的是，所述转动部件包括滚轮或滑轮。

优选的是，所述转动部件的材料包括：聚四氟乙烯。

优选的是，所述转动部件的直径包括：5mm～6mm。

优选的是，所述支撑组件与所述连接组件为一体成型结构。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是一种蒸镀装置，其包括上述任意一种夹具。

附图说明

图1为现有的夹具的示意图；

图2为本实用新型的实施例1的夹具的示意图；

其中附图标记为：1、支撑组件；2、连接组件；3、玻璃基板；4、转动组件；41、转动部件；42、轴杆5、凹槽。

具体实施方式

为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述。

除非另外定义，本实用新型使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

其中，在本实施例中，以基板为玻璃基板3为例进行说明，当然该基板并不局限于玻璃基板3，在此不做限定。

实施例1：

本实施例提供一种夹具，包括：支撑组件1、连接组件2、调整组件；其中，支撑组件1用于支撑玻璃基板3；连接组件2与支撑组件1连接，而且，沿着夹具的高度方向，支撑组件1包括相对设置的第一侧面、第二侧面，连接组件2包括相对设置的第三侧面、第四侧面，第三侧面高于第一侧面；调整组件用于调整玻璃基板3的位置。

由于本实施例中的夹具包括调整组件，其能够调整玻璃基板3的位置，因此，在使用机械手将其所夹持的玻璃基板3放置在本实施例所提供的夹具的支撑组件1表面时，即便机械手与夹具具有一定的位置偏差，从而出现玻璃基板3搭在夹具的台阶(即图2中所示的A点)上的情况，本实施例中的调整组件也能够通过调整该玻璃基板3的位置，以使其能够平整地贴合在支撑组件1的第一侧面上。这样一来，在采用本实施例中的夹具用于承载玻璃基板3，并将该玻璃基板3贴合至冷却板表面的过程中，玻璃基板3始终是平整地贴合在支撑组件1的第一侧面上的，从而避免了因玻璃基板3搭在夹具的台阶上所导致的夹碎玻璃基板3的情况的发生，进而避免了因玻璃基板3破碎所导致的包括该夹具的蒸镀装置出现宕机的情况，提高该蒸镀装置的稼动率。

其中，本实施例优选的，支撑组件1与连接组件2为一体成型结构，该种结构设置简化了夹具的制备工艺。

与此同时，为清楚地理解本实施例所提供的夹具的具体结构，以下以支撑组件1的第二侧面与连接组件2的第四侧面位于同一平面上为例进行说明；也就是说，支撑组件1与连接组件2相互作用，以构成如图2所示的具有两级台阶结构的夹具，其中，低的台阶即为本实施例的支撑组件1，高的台阶即为本实施例的连接组件2。

其中，本实施例优选的，调整组件为转动组件4，其设置在支撑组件1的第一侧面上，用于在外力作用下发生转动。具体的，此处所指的外力是指：当玻璃基板3搭在夹具的台阶上时，该玻璃基板3会与转动组件4相接触，此时，玻璃基板3会通过其与转动组件4相接触的接触点向转动组件4施加一个压力，该压力即为作用于调整组件表面的外力。例如：当玻璃基板3搭在如图2所示的夹具上时，转动组件4能够在玻璃基板3的作用下作逆时针方向的转动，此时，玻璃基板3也会顺着转动组件4向下运动，以滑落到支撑组件1的第一侧面上，并平整地贴合在支撑组件1的第一侧面上。

具体的，以下对本实施例中的转动组件4的位置、结构进行具体说明。

优选的，如图2所示，支撑组件1的第一侧面设有凹槽5，转动组件4设置在凹槽5中，并在外力作用下，在凹槽5中发生转动。

也就是说，本实施例通过将转动组件4设置在凹槽5中的方式，以限定转动组件4的位置，即凹槽5在第一侧面上的位置即为本实施例中的转动组件4在第一侧面上的位置。

进一步优选的，连接组件2还包括第五侧面，第五侧面位于第二侧面与第三侧面之间，且与第二侧面、第三侧面连接；凹槽5的中心点与第五侧面的距离为凹槽5的宽度的一半，且当转动组件4位于凹槽5中时，其的高度大于或等于连接组件2的高度。该种结构设置能够使得转动组件4与连接组件2的第五侧面相接触，从而使得搭在夹具台阶上的玻璃基板3顺着转动组件4滑落至支撑组件1的第一侧面时，该转动组件4还能够限制玻璃基板3在水平方向上的运动。

在此需要说明的是，在实际应用中，由于待进行支撑的玻璃基板3的尺寸较大，而如图2所示，夹具用于支撑该玻璃基板3的承载面仅有7.5mm，也即支撑组件1的第一侧面用于支撑该玻璃基板3的长度仅仅只有7.5mm，故一块玻璃基板3往往需要多个夹具对其进行支撑。具体的，一块玻璃基板3的四周均设置有多个夹具，且位于该玻璃基板3相对的两侧的夹具的转动组件4能够相互作用，以此来将二者之间的玻璃基板3夹紧。

更进一步优选的，转动组件4的中轴线与第一侧面位于同一水平面上。此时，很容易理解的，在转动组件4与第一侧面相接触的多个点上作切线，这些切线均是垂直于第一侧面的，这样一来，转动组件4的外表面不会与第一侧面形成缝隙，从而避免了玻璃基板3位于该缝隙中时，转动组件4压碎玻璃基板3的情况。

其中，本实施例优选的，转动组件4包括转动部件41、轴杆42；转动部件41具有用于容纳轴杆42的通孔，轴杆42套设于通孔中，且轴杆42的两端分别固定在支撑组件1上。

也就是说，当玻璃基板3搭在夹具的台阶上，且与转动部件41相接触时，玻璃基板3会向转动部件41施加压力，此时转动部件41会在轴杆42上发生转动，以带动与其相接触的玻璃基板3向下运动，直至玻璃基板3滑落到支撑组件1的第一侧面上，并平整地贴合在支撑组件1的第一侧面上为止。

其中，本实施例优选的，转动部件41可以为滚轮或滑轮，当然，本实施例中的转动部件41还可以为其他的转动体，只要其能够在其与玻璃基板3发生触碰时发生转动，以带动玻璃基板3下滑至支撑组件1的第一侧面上即可，在此不做限定。

其中，本实施例优选的，该转动部件41的直径包括：5mm～6mm。

为避免转动部件41在轴杆42上转动时，出现左右晃动的情况，优选的，转动组件4还包括：一对固定部件，其均套设并固定在轴杆42上，转动部件41位于两个固定部件之间。

为避免转动部件41与玻璃基板3接触时，转动部件41划伤玻璃基板3表面，优选的，本实施例的转动组件4的材料包括聚四氟乙烯。而且，该聚四氟乙烯还具有耐高温等特性，其可以延长转动组件4的使用寿命。当然，转动组件4的材料并不局限于聚四氟乙烯，在此不再一一赘述。

综上，由于本实施例中的夹具包括转动组件4，该转动组件4设置在支撑组件1的第一侧面上，且与连接组件2的第五侧面相接触，故当玻璃基板3搭在夹具的台阶上时，转动组件4会与玻璃基板3相接触，且受到玻璃基板3向其施加的作用力从而发生转动，以带动与其相接触的玻璃基板3向下运动，直至玻璃基板3滑落到支撑组件1的第一侧面上，并平整地贴合在支撑组件1的第一侧面上为止，从而避免了因玻璃基板3搭在夹具的台阶上所导致的夹碎玻璃基板3的情况的发生，进而避免了因玻璃基板3破碎所导致的包括该夹具的蒸镀装置出现宕机的情况，提高该蒸镀装置的稼动率。

实施例2：

本实施例提供一种蒸镀装置，其包括实施例1的夹具。

由于本实施例的蒸镀装置包裹上述的夹具，故本实施例的蒸镀装置具有较高的稼动率。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。

Claims (12)

1.一种夹具，其特征在于，包括：

支撑组件，其用于支撑基板；

连接组件，其与所述支撑组件连接；沿着所述夹具的高度方向，所述支撑组件包括相对设置的第一侧面、第二侧面，所述连接组件包括相对设置的第三侧面、第四侧面，所述第三侧面高于所述第一侧面；

调整组件，用于调整所述基板的位置。

2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述调整组件为转动组件，其设置在所述第一侧面，用于在外力作用下发生转动。

3.根据权利要求2所述的夹具，其特征在于，所述支撑组件的第一侧面设有凹槽，所述转动组件设置在所述凹槽中，并在外力作用下，在所述凹槽中发生转动。

4.根据权利要求3所述的夹具，其特征在于，所述连接组件还包括第五侧面，所述第五侧面位于所述第二侧面与所述第三侧面之间，且与所述第二侧面、所述第三侧面连接；

所述凹槽的中心点与所述第五侧面的距离为所述凹槽的宽度的一半，且所述转动组件位于所述凹槽中时，其的高度大于或等于所述连接组件的高度。

5.根据权利要求3所述的夹具，其特征在于，所述转动组件的中轴线与所述第一侧面位于同一水平面上。

6.根据权利要求2所述的夹具，其特征在于，所述转动组件包括转动部件、轴杆；所述转动部件具有用于容纳所述轴杆的通孔，所述轴杆套设于所述通孔中，且所述轴杆的两端分别固定在所述支撑组件上。

7.根据权利要求6所述的夹具，其特征在于，所述转动组件还包括：一对固定部件，其均套设并固定在所述轴杆上，所述转动部件位于两个所述固定部件之间。

8.根据权利要求6所述的夹具，其特征在于，所述转动部件包括滚轮或滑轮。

9.根据权利要求6所述的夹具，其特征在于，所述转动部件的材料包括：聚四氟乙烯。

10.根据权利要求6所述的夹具，其特征在于，所述转动部件的直径包括：5mm～6mm。

11.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述支撑组件与所述连接组件为一体成型结构。

12.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括权利要求1-11中任一所述的夹具。