CN208720999U - 双视场干涉仪 - Google Patents

Abstract

本实用新型提出一种双视场干涉仪，包括：激光点光源；分光棱镜，所述分光棱镜设在所述激光点光源的下面；分光镜，所述分光镜设在所述分光棱镜的下面；准直镜，所述准直镜设在所述分光镜的右面；反射标准镜，所述反射标准镜设在所述准直镜的右面；测试相机，所述测试相机设在所述分光棱镜的左面；辅助对准相机，所述辅助对准相机设在所述分光镜的左面。根据本实用新型的双视场干涉仪，可以在大视场辅助对准模式下保证零场调节的精度，同时可以在小视场高分辨率测试模式下，保证超大的测试量程和精度。

Description

双视场干涉仪

技术领域

本实用新型涉及一种双视场干涉仪。

背景技术

采用手机摄像孔检测仪检测摄像孔区域的平行度时，需要首先将透射标准镜与反射标准镜严格调平行。采用的方法是不放置待测样品，将透射标准镜与反射标准镜形成的干涉条纹调节至零场。

实用新型内容

本实用新型的发明人首先认识到，由于仪器的检测口径是5mm，视场太小。当在5mm视场内干涉条纹数目小于1条时，透射标准镜与反射标准镜并没有严格平行。这是因为，如果将视场放大，则会看到在原先5mm视场内的存在多条干涉条纹。例如，在5mm视场内干涉条纹数目小于1条时，当在30mm视场内时，实际存在5条干涉条纹。这表示透射标准镜与反射标准镜的平行度并没有严格调试好。

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。

为此，本实用新型的一个目的在于提出一种双视场干涉仪，可以在大视场辅助对准模式下保证零场调节的精度，同时可以在小视场高分辨率测试模式下，保证超大的测试量程和精度。

根据本实用新型的一种双视场干涉仪，包括：

激光点光源；

分光棱镜，所述分光棱镜设在所述激光点光源的下面；

分光镜，所述分光镜设在所述分光棱镜的下面；

准直镜，所述准直镜设在所述分光镜的右面；

反射标准镜，所述反射标准镜设在所述准直镜的右面；

测试相机，所述测试相机设在所述分光棱镜的左面；

辅助对准相机，所述辅助对准相机设在所述分光镜的左面。

有利地，所述激光点光源输出的激光球面波，经所述分光棱镜、所述分光镜、所述准直镜后输出，经透射与所述反射标准镜反射后，返回的光路分为两路，一路是30mm的全视场光束，由所述辅助对准相机接收，形成全视场的干涉条纹；一路是5m的小视场光束，由所述测试相机接收。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1是根据本实用新型一个实施例的双视场干涉仪的示意图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下面参考附图来详细描述根据本实用新型的双视场干涉仪。

如图1所示，根据本实用新型的一种双视场干涉仪，包括：激光点光源1，分光棱镜2，分光镜3，准直镜4，反射标准镜5，测试相机6，辅助对准相机7。

具体地说，分光棱镜2设在激光点光源1的下面。

分光镜3设在分光棱镜2的下面。

准直镜4设在分光镜3的右面。

反射标准镜5设在准直镜4的右面。

测试相机6设在分光棱镜2的左面。

辅助对准相机7设在分光镜3的左面。

有利地，激光点光源1输出的激光球面波，经分光棱镜2、分光镜3、准直镜4后输出，经透射与反射标准镜5反射后，返回的光路分为两路，一路是30mm的全视场光束101，由辅助对准相机7接收，形成全视场的干涉条纹；一路是5mm的小视场光束102，由测试相机6接收。

当调节空腔干涉条纹时，在辅助对准模式下调节，当条纹数调节至少于1条时，切换到5mm的测试模式。此时5mm的测试模式是理想的零场。

采用双视场光路结构，可以在大视场辅助对准模式下保证零场调节的精度，同时可以在小视场高分辨率测试模式下，保证超大的测试量程和精度。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内对上述实施例进行变化、修改、替换和变型，均落入本实用新型的保护范围。

Claims (2)

1.一种双视场干涉仪，其特征在于，包括：

激光点光源；

分光棱镜，所述分光棱镜设在所述激光点光源的下面；

分光镜，所述分光镜设在所述分光棱镜的下面；

准直镜，所述准直镜设在所述分光镜的右面；

反射标准镜，所述反射标准镜设在所述准直镜的右面；

测试相机，所述测试相机设在所述分光棱镜的左面；

辅助对准相机，所述辅助对准相机设在所述分光镜的左面。

2.根据权利要求1所述的双视场干涉仪，其特征在于，所述激光点光源输出的激光球面波，经所述分光棱镜、所述分光镜、所述准直镜后输出，经透射与所述反射标准镜反射后，返回的光路分为两路，一路是30mm的全视场光束，由所述辅助对准相机接收，形成全视场的干涉条纹；一路是5mm的小视场光束，由所述测试相机接收。