CN208717471U - 一种便于移动的氧化加工设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种便于移动的氧化加工设备，包括氧化箱，插接架，放置板，滑块，滑轨，移动刹车座，动力锁紧杆结构，循环观察箱结构，箱盖，玻璃片，挂接座，复位弹簧，固定板，悬挂杆和记录板，所述的插接架插接在氧化箱的内部中间位置；所述的放置板从上到下依次焊接在插接架的内壁。本实用新型安装座和移动轮的设置，有利于移动氧化箱，方便不同位置进行氧化工作；插接架，放置板，滑块和滑轨的设置，有利于拿取货物，方便进行氧化工作；循环泵，自吸管，排放管和氧化箱的设置，有利于进行氧化液循环工作，方便进行氧化工作；插接管，L型推动杆，调节螺栓和锁紧螺栓的设置，有利于固定插接架，方便拿取氧化材料。

Description

一种便于移动的氧化加工设备

技术领域

本实用新型属于氧化设备技术领域，尤其涉及一种便于移动的氧化加工设备。

背景技术

在传统技术中在晶圆表面生成氧化膜的方法一般是将晶圆放置于晶舟内支撑架上方，然后通入反应气体，反应气体与在晶圆上表面硅产生反应进而在晶圆的表面生成一层氧化膜。但是传统技术中的高温氧化反应腔室内的晶舟一般呈梯形分布，晶舟上放置的晶圆上下相邻的晶圆的各片位置处的距离相等，气体不容易流通至晶圆表面的中心位置处，导致在通入反应气体后晶圆上表面中心位置处的反应气体浓度小于边缘位置处的气体浓度，进而造成晶圆上表面边缘位置处生长的氧化膜厚度比晶圆上表面中心位置处生长的氧化膜厚度要厚，进而影响器件的性能。

中国专利公开号为CN103280418B，发明创造名称为一种高温氧化设备，包括设置多个圆台状的环形支撑环，且该支撑环斜壁与晶舟内壁保持一定角度，在通入反应气体进行高温氧化工艺时，气体容易流通至晶圆表面的中心位置处，进而减小了晶圆表面反应气体的浓度差，使得晶圆表面不同位置处生长的氧化膜厚度更加均匀，进而提高器件性能及生产工艺。但是现有的高温氧化设备还存在着不方便移动，不方便拿取货物和不方便进行氧化液循环工作的问题。

因此，发明一种便于移动的氧化加工设备显得非常必要。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种便于移动的氧化加工设备，以解决现有的高温氧化设备存在着不方便移动，不方便拿取货物和不方便进行氧化液循环工作的问题。一种便于移动的氧化加工设备，包括氧化箱，插接架，放置板，滑块，滑轨，移动刹车座，动力锁紧杆结构，循环观察箱结构，箱盖，玻璃片，挂接座，复位弹簧，固定板，悬挂杆和记录板，所述的插接架插接在氧化箱的内部中间位置；所述的放置板从上到下依次焊接在插接架的内壁；所述的滑块分别螺栓连接在插接架的左右两侧上部和左右两侧下部；所述的滑轨分别螺栓连接在氧化箱的左右两侧内壁；所述的移动刹车座安装在氧化箱的下端；所述的动力锁紧杆结构安装在氧化箱的上端右侧；所述的循环观察箱结构安装在氧化箱的左侧中间位置；所述的箱盖滑动卡接在氧化箱上端内壁开设的滑槽内；所述的玻璃片镶嵌在箱盖的内部中间位置；所述的挂接座螺栓连接在氧化箱的右侧下部；所述的复位弹簧的一端挂接在挂接座的右下角位置；所述的固定板焊接在氧化箱的右侧下部；所述的悬挂杆焊接在氧化箱的右侧上部；所述的记录板套接在悬挂杆的外壁中间位置；所述的移动刹车座包括安装座，移动轮，刹车板，挂接板，制动杆，移动管，固定螺栓和L型挂接杆，所述的移动轮螺栓连接在安装座的下端左右两侧；所述的刹车板轴接在安装座的右侧内部中间位置；所述的挂接板的右端焊接在刹车板的上端中间位置；所述的制动杆轴接在刹车板的上端右侧内部中间位置；所述的移动管套接在制动杆外壁下部；所述的固定螺栓螺纹连接在移动管的右侧中间位置；所述的L型挂接杆焊接在移动管的左侧中间位置。

优选的，所述的刹车板的下端右侧胶接有下端带有十字形防滑纹的橡胶垫。

优选的，所述的固定板设置在挂接座的上方；所述的复位弹簧的的另一端挂接在挂接板的左上角位置；所述的L型挂接杆的左端挂接在固定板右侧内部开设的挂孔内。

优选的，所述的氧化箱螺栓连接在安装座的上端；所述的氧化箱和安装座之间设置有厚度为三毫米至五毫米的橡胶垫。

优选的，所述的动力锁紧杆结构包括插接管，L型推动杆，把杆，调节螺栓，锁紧螺栓和防滑套，所述的L型推动杆的左端贯穿插接管的内部中间位置；所述的把杆焊接在L型推动杆的右侧上端；所述的调节螺栓螺纹连接在插接管的上端中间位置；所述的锁紧螺栓贯穿L型推动杆的正表面左侧中间位置；所述的防滑套套接在把杆的外壁。

优选的，所述的锁紧螺栓和L型推动杆螺纹连接；所述的防滑套采用外壁带有一字形防滑纹的橡胶垫。

优选的，所述的插接管焊接在氧化箱的上端右侧。

优选的，所述的循环观察箱结构包括固定箱，循环泵，自吸管，排放管，观察片和循环开关，所述的循环泵螺栓连接在固定箱的左侧内壁中间位置；所述的自吸管的一端螺纹连接在循环泵的下端中间位置；所述的排放管的一端螺纹连接在循环泵的上端中间位置；所述的观察片镶嵌在固定箱的正表面中间位置；所述的循环开关螺纹连接在固定箱的左侧上部。

优选的，所述的自吸管的另一端焊接在氧化箱的左侧下部；所述的排放管的另一端焊接在氧化箱的左侧上部；所述的固定箱螺栓连接在氧化箱的左侧中间位置。

优选的，所述的观察片具体采用厚度为三毫米至五毫米的透明塑料片。

优选的，所述的循环泵具体采用型号为GP125W的自吸泵；所述的循环开关具体采用型号为QCX5-12的磁力启动器。

优选的，所述的循环泵电性连接循环开关。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

1.本实用新型中，所述的安装座和移动轮的设置，有利于移动氧化箱，方便不同位置进行氧化工作。

2.本实用新型中，所述的插接架，放置板，滑块和滑轨的设置，有利于拿取货物，方便进行氧化工作。

3.本实用新型中，所述的循环泵，自吸管，排放管和氧化箱的设置，有利于进行氧化液循环工作，方便进行氧化工作。

4.本实用新型中，所述的插接管，L型推动杆，调节螺栓和锁紧螺栓的设置，有利于固定插接架，方便拿取氧化材料。

5.本实用新型中，所述的插接管，L型推动杆，把杆和调节螺栓的设置，有利于推动氧化箱，方便氧化箱移动工作。

6.本实用新型中，所述的安装座，刹车板和制动杆的设置，有利于进行制动工作，防止在氧化的过程中氧化箱移动，影响工作和造成事故。

7.本实用新型中，所述的固定板，移动管，固定螺栓和L型挂接杆的设置，有利于固定制动杆，方便进行长时间固定氧化箱。

8.本实用新型中，所述的挂接座，复位弹簧和挂接板的设置，有利于制动后使刹车板进行复位工作，方便氧化箱移动。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的移动刹车座的结构示意图。

图3是本实用新型的动力锁紧杆结构的结构示意图。

图4是本实用新型的循环观察箱结构的结构示意图。

图中：

1、氧化箱；2、插接架；3、放置板；4、滑块；5、滑轨；6、移动刹车座；61、安装座；62、移动轮；63、刹车板；64、挂接板；65、制动杆；66、移动管；67、固定螺栓；68、L型挂接杆；7、动力锁紧杆结构；71、插接管；72、L型推动杆；73、把杆；74、调节螺栓；75、锁紧螺栓；76、防滑套；8、循环观察箱结构；81、固定箱；82、循环泵；83、自吸管；84、排放管；85、观察片；86、循环开关；9、箱盖；10、玻璃片；11、挂接座；12、复位弹簧；13、固定板；14、悬挂杆；15、记录板。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进行具体描述，如附图1和附图2所示，一种便于移动的氧化加工设备，一种便于移动的氧化加工设备，包括氧化箱1，插接架2，放置板3，滑块4，滑轨5，移动刹车座6，动力锁紧杆结构7，循环观察箱结构8，箱盖9，玻璃片10，挂接座11，复位弹簧12，固定板13，悬挂杆14和记录板15，所述的插接架2插接在氧化箱1的内部中间位置；所述的放置板3从上到下依次焊接在插接架2的内壁；所述的滑块4分别螺栓连接在插接架2的左右两侧上部和左右两侧下部；所述的滑轨5分别螺栓连接在氧化箱1的左右两侧内壁；所述的移动刹车座6安装在氧化箱1的下端；所述的动力锁紧杆结构7安装在氧化箱1的上端右侧；所述的循环观察箱结构8安装在氧化箱1的左侧中间位置；所述的箱盖9滑动卡接在氧化箱1上端内壁开设的滑槽内；所述的玻璃片10镶嵌在箱盖9的内部中间位置；所述的挂接座11螺栓连接在氧化箱1的右侧下部；所述的复位弹簧12的一端挂接在挂接座11的右下角位置；所述的固定板13焊接在氧化箱1的右侧下部；所述的悬挂杆14焊接在氧化箱1的右侧上部；所述的记录板15套接在悬挂杆14的外壁中间位置；所述的移动刹车座6包括安装座61，移动轮62，刹车板63，挂接板64，制动杆65，移动管66，固定螺栓67和L型挂接杆68，所述的移动轮62螺栓连接在安装座61的下端左右两侧；所述的刹车板63轴接在安装座61的右侧内部中间位置；所述的挂接板64的右端焊接在刹车板63的上端中间位置；所述的制动杆65轴接在刹车板63的上端右侧内部中间位置；所述的移动管66套接在制动杆65外壁下部；所述的固定螺栓67螺纹连接在移动管66的右侧中间位置；所述的L型挂接杆68焊接在移动管66的左侧中间位置；推动安装座61，带动氧化箱1移动至合适的位置，松开固定螺栓67，向下压动制动杆65，使刹车板63接触地面，移动移动管66至合适的位置，使L型挂接杆68的左端挂接在固定板13的右侧，拧紧固定螺栓67，固定好刹车板63，防止氧化箱1移动，拉开箱盖9，向氧化箱1的内部注入适量的氧化液。

本实施方案中，结合附图3所示，所述的动力锁紧杆结构7包括插接管71，L型推动杆72，把杆73，调节螺栓74，锁紧螺栓75和防滑套76，所述的L型推动杆72的左端贯穿插接管71的内部中间位置；所述的把杆73焊接在L型推动杆72的右侧上端；所述的调节螺栓74螺纹连接在插接管71的上端中间位置；所述的锁紧螺栓75贯穿L型推动杆72的正表面左侧中间位置；所述的防滑套76套接在把杆73的外壁；松开调节螺栓74向左移动L型推动杆72，向上移动插接架2，拉动至合适的位置，拧紧锁紧螺栓75，固定好插接架2，把需要氧化的材料放置在放置板3的上端，松开锁紧螺栓75，把插接架2插入氧化箱1的内部，将箱盖9关闭好，进行氧化工作。

本实施方案中，结合附图4所示，所述的循环观察箱结构8包括固定箱81，循环泵82，自吸管83，排放管84，观察片85和循环开关86，所述的循环泵82螺栓连接在固定箱81的左侧内壁中间位置；所述的自吸管83的一端螺纹连接在循环泵82的下端中间位置；所述的排放管84的一端螺纹连接在循环泵82的上端中间位置；所述的观察片85镶嵌在固定箱81的正表面中间位置；所述的循环开关86螺纹连接在固定箱81的左侧上部；关闭箱盖9后，打开循环开关86使循环泵82开始工作，通过自吸管83吸取氧化箱1内部的氧化液，通过排放管84排入氧化箱1内部，使氧化液进行路东循环工作，增加氧化速度提高工作效率。

工作原理

本实用新型中，工作时，推动安装座61，带动氧化箱1移动至合适的位置，松开固定螺栓67，向下压动制动杆65，使刹车板63接触地面，移动移动管66至合适的位置，使L型挂接杆68的左端挂接在固定板13的右侧，拧紧固定螺栓67，固定好刹车板63，防止氧化箱1移动，拉开箱盖9，向氧化箱1的内部注入适量的氧化液，松开调节螺栓74向左移动L型推动杆72，向上移动插接架2，拉动至合适的位置，拧紧锁紧螺栓75，固定好插接架2，把需要氧化的材料放置在放置板3的上端，松开锁紧螺栓75，把插接架2插入氧化箱1的内部，将箱盖9关闭好，进行氧化工作，关闭箱盖9后，打开循环开关86使循环泵82开始工作，通过自吸管83吸取氧化箱1内部的氧化液，通过排放管84排入氧化箱1内部，使氧化液进行路东循环工作，增加氧化速度提高工作效率，进而完成工作。

利用本实用新型所述的技术方案，或本领域的技术人员在本实用新型技术方案的启发下，设计出类似的技术方案，而达到上述技术效果的，均是落入本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种便于移动的氧化加工设备，其特征在于，该便于移动的氧化加工设备包括氧化箱(1)，插接架(2)，放置板(3)，滑块(4)，滑轨(5)，移动刹车座(6)，动力锁紧杆结构(7)，循环观察箱结构(8)，箱盖(9)，玻璃片(10)，挂接座(11)，复位弹簧(12)，固定板(13)，悬挂杆(14)和记录板(15)，所述的插接架(2)插接在氧化箱(1)的内部中间位置；所述的放置板(3)从上到下依次焊接在插接架(2)的内壁；所述的滑块(4)分别螺栓连接在插接架(2)的左右两侧上部和左右两侧下部；所述的滑轨(5)分别螺栓连接在氧化箱(1)的左右两侧内壁；所述的移动刹车座(6)安装在氧化箱(1)的下端；所述的动力锁紧杆结构(7)安装在氧化箱(1)的上端右侧；所述的循环观察箱结构(8)安装在氧化箱(1)的左侧中间位置；所述的箱盖(9)滑动卡接在氧化箱(1)上端内壁开设的滑槽内；所述的玻璃片(10)镶嵌在箱盖(9)的内部中间位置；所述的挂接座(11)螺栓连接在氧化箱(1)的右侧下部；所述的复位弹簧(12)的一端挂接在挂接座(11)的右下角位置；所述的固定板(13)焊接在氧化箱(1)的右侧下部；所述的悬挂杆(14)焊接在氧化箱(1)的右侧上部；所述的记录板(15)套接在悬挂杆(14)的外壁中间位置；所述的移动刹车座(6)包括安装座(61)，移动轮(62)，刹车板(63)，挂接板(64)，制动杆(65)，移动管(66)，固定螺栓(67)和L型挂接杆(68)，所述的移动轮(62)螺栓连接在安装座(61)的下端左右两侧；所述的刹车板(63)轴接在安装座(61)的右侧内部中间位置；所述的挂接板(64)的右端焊接在刹车板(63)的上端中间位置；所述的制动杆(65)轴接在刹车板(63)的上端右侧内部中间位置；所述的移动管(66)套接在制动杆(65)外壁下部；所述的固定螺栓(67)螺纹连接在移动管(66)的右侧中间位置；所述的L型挂接杆(68)焊接在移动管(66)的左侧中间位置。

2.如权利要求1所述的便于移动的氧化加工设备，其特征在于，所述的刹车板(63)的下端右侧胶接有下端带有十字形防滑纹的橡胶垫。

3.如权利要求2所述的便于移动的氧化加工设备，其特征在于，所述的固定板(13)设置在挂接座(11)的上方；所述的复位弹簧(12)的另一端挂接在挂接板(64)的左上角位置；所述的L型挂接杆(68)的左端挂接在固定板(13)右侧内部开设的挂孔内。

4.如权利要求1所述的便于移动的氧化加工设备，其特征在于，所述的氧化箱(1)螺栓连接在安装座(61)的上端；所述的氧化箱(1)和安装座(61)之间设置有厚度为三毫米至五毫米的橡胶垫。

5.如权利要求1所述的便于移动的氧化加工设备，其特征在于，所述的动力锁紧杆结构(7)包括插接管(71)，L型推动杆(72)，把杆(73)，调节螺栓(74)，锁紧螺栓(75)和防滑套(76)，所述的L型推动杆(72)的左端贯穿插接管(71)的内部中间位置；所述的把杆(73)焊接在L型推动杆(72)的右侧上端；所述的调节螺栓(74)螺纹连接在插接管(71)的上端中间位置；所述的锁紧螺栓(75)贯穿L型推动杆(72)的正表面左侧中间位置；所述的防滑套(76)套接在把杆(73)的外壁。

6.如权利要求5所述的便于移动的氧化加工设备，其特征在于，所述的锁紧螺栓(75)和L型推动杆(72)螺纹连接；所述的防滑套(76)采用外壁带有一字形防滑纹的橡胶垫。

7.如权利要求5所述的便于移动的氧化加工设备，其特征在于，所述的插接管(71)焊接在氧化箱(1)的上端右侧。

8.如权利要求1所述的便于移动的氧化加工设备，其特征在于，所述的循环观察箱结构(8)包括固定箱(81)，循环泵(82)，自吸管(83)，排放管(84)，观察片(85)和循环开关(86)，所述的循环泵(82)螺栓连接在固定箱(81)的左侧内壁中间位置；所述的自吸管(83)的一端螺纹连接在循环泵(82)的下端中间位置；所述的排放管(84)的一端螺纹连接在循环泵(82)的上端中间位置；所述的观察片(85)镶嵌在固定箱(81)的正表面中间位置；所述的循环开关(86)螺纹连接在固定箱(81)的左侧上部。

9.如权利要求8所述的便于移动的氧化加工设备，其特征在于，所述的自吸管(83)的另一端焊接在氧化箱(1)的左侧下部；所述的排放管(84)的另一端焊接在氧化箱(1)的左侧上部；所述的固定箱(81)螺栓连接在氧化箱(1)的左侧中间位置。

10.如权利要求8所述的便于移动的氧化加工设备，其特征在于，所述的观察片(85)具体采用厚度为三毫米至五毫米的透明塑料片。