CN208586353U - 一种基座门及镀膜机 - Google Patents

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罗友菊
杨少辉
余冲平
年志刚
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Dongjun new energy Co.,Ltd.
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Hanneng Photovoltaic Technology Co Ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种基座门及镀膜机,涉及镀膜技术领域,为解决现有技术中基座门抗震效果差而导致腔室容易漏气的问题而发明。本实用新型一种基座门,包括基座门本体、以及用于支撑所述基座门本体的滚轮组件,还包括连接机构,所述连接机构包括连接件、柔性衬套以及缓冲弹性机构,所述连接件的第一端与所述基座门本体配合连接,所述连接件的第二端与所述滚轮组件连接,所述柔性衬套套设在所述连接件的外侧,所述缓冲弹性机构套设在所述柔性衬套的外侧。

Description

一种基座门及镀膜机
技术领域
本实用新型涉及镀膜技术领域,尤其涉及一种基座门及镀膜机。
背景技术
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜的设备。真空镀膜机的工作环境,要求设备腔室的真空度、腔室内的气体含量以及气体种类要求很高,需要控制非常精准。
现有真空镀膜机包括机台和基座门,机台与基座门连接形成腔室,基座门上安装有多个硒罐,基座门的底部连接有滚轮,滚轮安装于地面或其他平台的轨道上。
基座门在移动过程或工作过程中,容易产生震动,而现有基座门的抗震效果差,导致基座门容易产生歪斜,腔室密封性差,容易漏气,真空度降低,膜层的厚度难以控制,影响产品的合格率。
实用新型内容
本实用新型的实施例提供一种基座门及镀膜机,可解决现有技术基座门抗震效果差而导致腔室容易漏气的问题。
为达到上述目的,本实用新型的实施例采用如下技术方案:
一种基座门,包括基座门本体、以及用于支撑所述基座门本体的滚轮组件,还包括连接机构,所述连接机构包括连接件、柔性衬套以及缓冲弹性机构,所述连接件的第一端与所述基座门本体配合连接,所述连接件的第二端与所述滚轮组件连接,所述柔性衬套套设在所述连接件的外侧,所述缓冲弹性机构套设在所述柔性衬套的外侧。
进一步地,所述缓冲弹性机构包括缓冲弹簧和缓冲垫片,所述缓冲弹簧的两端分别与所述滚轮组件、所述基座门本体抵靠,所述缓冲垫片分别与所述基座门本体、所述连接件的第一端抵靠。
进一步地,还包括与所述连接件的第一端螺纹连接的调节件,所述调节件用于将所述缓冲垫片与所述基座门本体压紧。
进一步地,所述缓冲垫片有多个,多个所述缓冲垫片沿所述连接件的轴向叠置,多个所述缓冲垫片沿所述连接件的轴向叠置,多个所述缓冲垫片中靠近所述连接件的第一端的一个与所述调节件抵靠,多个所述缓冲垫片中远离所述连接件的第一端的一个与所述基座门本体的上表面抵靠。
进一步地,多个所述缓冲垫片中靠近所述调节件的部分为平垫,多个所述缓冲垫片中靠近所述基座门本体的部分为锥形垫片;或多个所述缓冲垫片中靠近所述调节件的部分为锥形垫片,多个所述缓冲垫片中靠近所述基座门本体的部分为平垫。
进一步地,多个所述缓冲垫片均为锥形垫片。
进一步地,所述基座门本体开设有阶梯孔,所述柔性衬套的上端端面与所述调节件抵靠,所述柔性衬套的下端安装于所述阶梯孔内。
进一步地,所述滚轮组件与所述基座门本体之间设有多个所述连接机构。
进一步地,所述滚轮组件包括滚轮支架、以及安装在所述滚轮支架上的滚轮,所述滚轮支架的上表面与所述缓冲弹性机构抵靠。
进一步地,所述连接件为螺杆,所述调节件为与所述螺杆配合的调节螺母。
进一步地,所述缓冲弹簧的弹性系数为1300~1400磅/英寸。
本实用新型实施例还包括一种镀膜机,包括上述技术方案所述的基座门。
本实用新型实施例提供的基座门及镀膜机,连接件的两端分别与滚轮组件、基座门本体连接,并在连接件的外侧套设有缓冲弹性结构和柔性衬套,缓冲弹性机构可提高基座门的缓冲效果,使基座门的抗震效果较好,腔室的密闭性较好,膜层的厚度稳定,产品的合格率较高;柔性衬套位于连接件与缓冲弹性机构之间,可减少缓冲弹性机构与连接件的刚性接触,降低连接件的磨损。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型实施例基座门的结构示意图;
图2为本实用新型实施例基座门的爆炸图;
图3为本实用新型实施例基座门中局部结构的俯视图;
图4为图3的A-A的截面图;
图5为本实用新型实施例基座门中局部结构的示意图;
图6为本实用新型实施例基座门中缓冲垫片的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
参照图1~5,本实用新型实施例一种基座门,包括基座门本体1和滚轮组件2,滚轮组件2用于支撑基座门本体1;还包括连接机构3,连接机构3包括连接件31、柔性衬套35以及缓冲弹性机构,连接件31的第一端31a与基座门本体1配合连接,连接件31的第二端31b与滚轮组件2连接,柔性衬套35套设在连接件31的外侧,缓冲弹性结构套设在柔性衬套35的外侧。
本实用新型实施例提供的基座门,连接件31的两端分别与滚轮组件2、基座门本体1连接,并在连接件31外套设有缓冲弹性结构和柔性衬套35,缓冲弹性机构可提高基座门的缓冲效果,使基座门的抗震效果较好,腔室的密闭性较好,膜层的厚度稳定,产品的合格率较高;柔性衬套35位于连接件31与缓冲弹性机构之间,可减少缓冲弹性机构与连接件31的刚性接触,降低连接件的磨损。
上述的缓冲弹性机构包括缓冲弹簧32和缓冲垫片33,缓冲弹簧32的两端分别与滚轮组件2、基座门本体1抵靠,缓冲垫片33分别与基座门本体1、连接件31的第一端31a抵靠。缓冲垫片33的缓冲效果好,基座门稳固,不易产生歪斜。当然,缓冲弹性机构可也包括两个缓冲弹簧,一个缓冲弹簧的两端分别与滚轮组件、基座门本体抵靠,另一个缓冲弹簧分别与基座门本体、连接件的第一端抵靠。
可选地,连接机构3中的连接件31为螺钉,上述连接件31的第一端31a为螺钉头,通过螺钉头将缓冲垫片33压紧在基座门本体1上。可选地,连接机构3还包括调节件34,调节件34用于将缓冲垫片23与基座门本体1压紧。参照图1和图4,调节件34位于基座门本体1的上方、连接件31的第一端31a的下方,调节件34可将缓冲垫片33压紧在基座门本体1上。
进一步地,缓冲垫片33有多个,多个缓冲垫片33沿连接件31的轴向叠置,多个缓冲垫片33中靠近连接件31的第一端31a的一个与调节件34抵靠,多个缓冲垫片33中远离连接件31的第一端31a的一个与基座门本体1的上表面抵靠,如图4~5所示,能够实现低行程高补偿力的效果,从而可提高基座门1的抗震性,且基座门本体1的摆动幅度小,使基座门不容易产生倾斜。
基于上述实施例,参照图4~6,多个缓冲垫片33中靠近调节件34的部分为平垫,多个缓冲垫片33中靠近基座门本体1的部分为锥形垫片;或者多个缓冲垫片33中靠近基座门本体1的部分为平垫,多个缓冲垫片33中靠近调节件34的部分为锥形垫片;或者多个缓冲垫片33均为锥形垫片。上述的多个缓冲垫片33中部分或全部为锥形垫片的方案,锥形垫片的支承载荷大和弹性恢复力较大,有利于提高基座门的缓冲效果。
可选地,上述的柔性衬套35的上端与调节件34抵靠,柔性衬套35的下端与基座门本体1的上表面抵靠,柔性衬套35的长度可较短,较省材料;或者在基座门本体1上开设阶梯孔,柔性衬套35的上端端面与调节件34抵靠,柔性衬套35的下端安装于阶梯孔内,可进一步减少缓冲垫片与基座门本体的接触,从而降低磨损。
此外,现有的一些基座门整体的质量较大,且基座门上装有硒罐的一侧较沉,基座门容易出现倾斜,稳定性较差,使得基座门与腔室无法完全吻合,容易出现漏气。因此,本实用新型实施例中滚轮组件2与基座门本体1之间设有多个连接机构3,通过多个连接机构3将滚轮组件2与基座门本体1连接,如图4~5所示,连接力较强,且通过调节件34进行水平调节,可改善基座门的倾斜问题,且基座门的缓冲效果也较好。
需要说明的是,上述的滚轮组件2包括滚轮支架21和安装在滚轮支架21上的滚轮22,滚轮支架21的上表面与缓冲弹簧32的下端面抵靠。
具体地,连接件31为螺栓,调节件34为调节螺母,调节件34与螺栓配合。
若缓冲弹簧32的弹性系数小于1300磅/英寸,缓冲弹簧32的变形量过大,基座门的抗震性较差,基座门容易歪斜;若缓冲弹簧32的弹性系数大于1400磅/英寸,缓冲弹簧32的变形量过小,基座门刚性过大,缓冲效果差。因此,本实用新型实施例中的缓冲弹簧32的弹性系数为1300~1400磅/英寸。
本实用新型实施例还公开了一种镀膜机,包括上述所有的基座门。由于在本实施例的镀膜机内安装的基座门与上述的各实施例中提供的基座门相同,因此二者能够解决相同的技术问题,并达到相同的预期效果。
以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种基座门,包括基座门本体、以及用于支撑所述基座门本体的滚轮组件,其特征在于,还包括连接机构,所述连接机构包括连接件、柔性衬套以及缓冲弹性机构,所述连接件的第一端与所述基座门本体配合连接,所述连接件的第二端与所述滚轮组件连接,所述柔性衬套套设在所述连接件的外侧,所述缓冲弹性机构套设在所述柔性衬套的外侧。
2.根据权利要求1所述的基座门,其特征在于,所述缓冲弹性机构包括缓冲弹簧和缓冲垫片,所述缓冲弹簧的两端分别与所述滚轮组件、所述基座门本体抵靠,所述缓冲垫片分别与所述基座门本体、所述连接件的第一端抵靠。
3.根据权利要求2所述的基座门,其特征在于,还包括与所述连接件的第一端螺纹连接的调节件,所述调节件用于将所述缓冲垫片与所述基座门本体压紧。
4.根据权利要求3所述的基座门,其特征在于,所述缓冲垫片有多个,多个所述缓冲垫片沿所述连接件的轴向叠置,多个所述缓冲垫片中靠近所述连接件的第一端的一个与所述调节件抵靠,多个所述缓冲垫片中远离所述连接件的第一端的一个与所述基座门本体的上表面抵靠。
5.根据权利要求4所述的基座门,其特征在于,多个所述缓冲垫片中靠近所述调节件的部分为平垫,多个所述缓冲垫片中靠近所述基座门本体的部分为锥形垫片;
或多个所述缓冲垫片中靠近所述调节件的部分为锥形垫片,多个所述缓冲垫片中靠近所述基座门本体的部分为平垫。
6.根据权利要求4所述的基座门,其特征在于,多个所述缓冲垫片均为锥形垫片。
7.根据权利要求3所述的基座门,其特征在于,所述基座门本体开设有阶梯孔,所述柔性衬套的上端端面与所述调节件抵靠,所述柔性衬套的下端安装于所述阶梯孔内。
8.根据权利要求1所述的基座门,其特征在于,所述滚轮组件与所述基座门本体之间设有多个所述连接机构。
9.根据权利要求1所述的基座门,其特征在于,所述滚轮组件包括滚轮支架、以及安装在所述滚轮支架上的滚轮,所述滚轮支架的上表面与所述缓冲弹性机构抵靠。
10.一种镀膜机,其特征在于,包括上述权利要求1~9中任一项所述的基座门。
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