CN208495184U - 一种带有沥干功能的单晶硅清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了单晶硅技术领域的一种带有沥干功能的单晶硅清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱的底部设置机壳，所述机壳的内腔底部设置电机，所述电机的输出端连接转轴，所述转轴的顶端贯穿至清洗箱的内腔并连接清洗装置，所述清洗装置的外壁均匀设置漏网，所述清洗箱的顶部设置沥干箱，所述沥干箱的左右两侧内壁均设置冷风机，所述沥干箱的内腔顶部设置液压伸缩杆，所述液压伸缩杆的输出端连接固定板，所述固定板的左右两侧外壁连接拉绳，所述拉绳的底部连接磁铁，不仅使单晶硅清洗的更加彻底，也更好的在单晶硅清洗过程中保护单晶硅不会损坏，不需要手工取出，加快了单晶硅的沥干速度，保证了单晶硅的产量和质量，结构简单，使用方便。

Description

一种带有沥干功能的单晶硅清洗装置

技术领域

本实用新型涉及单晶硅技术领域，具体为一种带有沥干功能的单晶硅清洗装置。

背景技术

单晶硅片清洗是在硅片的加工过程中，每一道工序都涉及到清洗，硅研磨片清洗质量的好坏将直接影响下一道工序，甚至影响器件的成品率和可靠性。现有的单晶硅在清洗过程中一般都是将单晶硅直接放在清洗机里进行清洗，单晶硅数量多会使单晶硅之间碰撞，容易毁坏单晶硅，而且单晶硅经过清洗后还需要人工取出再放入沥干装置中进行沥干，操作不便使得单晶硅在清洗后不能及时沥干，使得单晶硅的表面容易被污染，影响单晶硅的产量和质量。为此，我们提出一种带有沥干功能的单晶硅清洗装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种带有沥干功能的单晶硅清洗装置，以解决上述背景技术中提出的带有沥干功能的单晶硅清洗装置问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种带有沥干功能的单晶硅清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱的底部设置机壳，所述机壳的内腔底部设置电机，所述电机的输出端连接转轴，所述转轴的顶端贯穿至清洗箱的内腔并连接清洗装置，所述清洗装置的外壁均匀设置漏网，所述清洗箱的顶部设置沥干箱，所述沥干箱的左右两侧内壁均设置冷风机，所述沥干箱的内腔顶部设置液压伸缩杆，所述液压伸缩杆的输出端连接固定板，所述固定板的左右两侧外壁连接拉绳，所述拉绳的底部连接磁铁，所述沥干箱的内腔顶部左右两侧均设置限位板，且拉绳活动设置在限位板上。

优选的，所述清洗装置包括与转轴连接的清洗框，所述清洗框的左右两侧内壁均设置固定块，所述清洗框的内壁连接盛放盒，所述盛放盒的底部内壁均匀设置限位套杆，所述固定块的前后两端均设置与磁铁匹配的铁块。

优选的，所述固定块的顶部设置限位导套，且盛放盒与固定块的连接处设置与限位导套匹配的导柱。

优选的，所述限位板的顶部前后两侧均设置限位孔，且限位孔的内壁粘接保护橡胶套，且拉绳包括与限位孔匹配的两组分绳。

优选的，所述磁铁的顶部设置卡环，且拉绳与磁铁的连接处缠绕在卡环的外壁。

优选的，所述限位套杆的内壁设置紧固套环，且紧固套环的内壁均匀设置弹性橡胶球。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、将单晶硅放入清洗装置中，通过清洗装置中的盛放盒与限位套杆可以将单晶硅隔层进行安放清洗，有效的防止了单晶硅在清洗过程中相互发生碰撞的情况，不仅使单晶硅清洗的更加彻底，也更好的在单晶硅清洗过程中保护单晶硅不会损坏；

2、清洗完后的单晶硅通过液压伸缩杆与拉绳，即可方便的带动盛有单晶硅的清洗框上升，将清洗框拉入沥干箱中，运转沥干箱中的冷风机即可对单晶硅进行沥干，不需要手工取出，加快了单晶硅的沥干速度，保证了单晶硅的产量和质量，结构简单，使用方便。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型清洗装置结构示意图。

图中：1清洗箱、2机壳、3电机、4转轴、5清洗装置、51清洗框、52固定块、53盛放盒、54限位套杆、55铁块、6漏网、7沥干箱、8冷风机、9液压伸缩杆、10固定板、11限位板、12拉绳、13磁铁。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种带有沥干功能的单晶硅清洗装置，包括清洗箱1，清洗箱1的底部设置机壳2，机壳2的内腔底部设置电机3，电机3的输出端连接转轴4，转轴4的顶端贯穿至清洗箱1的内腔并连接清洗装置5，且转轴4与清洗箱1的连接处设置轴承，清洗装置5的外壁均匀设置漏网6，清洗箱1的顶部设置沥干箱7，沥干箱7的左右两侧内壁均设置冷风机8，沥干箱7的内腔顶部设置液压伸缩杆9，液压伸缩杆9的输出端连接固定板10，固定板10的左右两侧外壁连接拉绳12，拉绳12的底部连接磁铁13，沥干箱7的内腔顶部左右两侧均设置限位板11，且拉绳12活动设置在限位板11上，冷风机8与电机3均通过控制开关与电源连接工作。

其中，清洗装置5包括与转轴4连接的清洗框51，清洗框51的左右两侧内壁均设置固定块52，清洗框51的内壁连接盛放盒53，盛放盒53的底部内壁均匀设置限位套杆54，固定块52的前后两端均设置与磁铁13匹配的铁块55，通过清洗装置5可以将单晶硅放在清洗框51中清洗，同时经过盛放盒53可以使单晶硅分开清洗，使单晶硅清洗的更加干净；

固定块52的顶部设置限位导套，且盛放盒53与固定块52的连接处设置与限位导套匹配的导柱，通过导柱插接在限位导套中，使盛放盒53可以固定在固定块52上；

限位板11的顶部前后两侧均设置限位孔，且限位孔的内壁粘接保护橡胶套，且拉绳12包括与限位孔匹配的两组分绳，设置限位孔可以限制拉绳12的运动轨迹，且保护橡胶套可以减少拉绳12与限位板11之间的摩擦，两组分绳可以使拉绳12带动清洗框51上升更加平稳；

磁铁13的顶部设置卡环，且拉绳12与磁铁13的连接处缠绕在卡环的外壁，使拉绳12与磁铁13之间的连接更加的稳定；

限位套杆54的内壁设置紧固套环，且紧固套环的内壁均匀设置弹性橡胶球，在限位套杆54中设置紧固套环，且通过弹性橡胶球可以将单晶硅固定在盛放盒53中。

工作原理：首先将单晶硅放在清洗装置5中，单晶硅放在盛放盒53中的限位套杆54中，然后将盛放盒53放入清洗框51中，通过固定块52将盛放盒53固定在清洗框51上，向清洗箱1中倒入清洗液，运转电机3通过转轴4带动清洗装置5转动，清洗装置5旋转运动，清洗液通过漏网6进入清洗装置5中，对单晶硅进行清洗，清洗完成后，运转液压伸缩杆9通过固定板10带动拉绳12向下运动，拉绳12通过限位板11限制运动轨迹，拉绳12向下运动使磁铁13与清洗装置5上的铁块55连接，再次运转液压伸缩杆9带动拉绳12向上运动，将带有单晶硅的清洗框51上升至沥干箱7中，运转冷风机8将清洗框51中的单晶硅沥干即可。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种带有沥干功能的单晶硅清洗装置，包括清洗箱(1)，其特征在于：所述清洗箱(1)的底部设置机壳(2)，所述机壳(2)的内腔底部设置电机(3)，所述电机(3)的输出端连接转轴(4)，所述转轴(4)的顶端贯穿至清洗箱(1)的内腔并连接清洗装置(5)，且转轴(4)与清洗箱(1)的连接处设置轴承，所述清洗装置(5)的外壁均匀设置漏网(6)，所述清洗箱(1)的顶部设置沥干箱(7)，所述沥干箱(7)的左右两侧内壁均设置冷风机(8)，所述沥干箱(7)的内腔顶部设置液压伸缩杆(9)，所述液压伸缩杆(9)的输出端连接固定板(10)，所述固定板(10)的左右两侧外壁连接拉绳(12)，所述拉绳(12)的底部连接磁铁(13)，所述沥干箱(7)的内腔顶部左右两侧均设置限位板(11)，且拉绳(12)活动设置在限位板(11)上。

2.根据权利要求1所述的一种带有沥干功能的单晶硅清洗装置，其特征在于：所述清洗装置(5)包括与转轴(4)连接的清洗框(51)，所述清洗框(51)的左右两侧内壁均设置固定块(52)，所述清洗框(51)的内壁连接盛放盒(53)，所述盛放盒(53)的底部内壁均匀设置限位套杆(54)，所述固定块(52)的前后两端均设置与磁铁(13)匹配的铁块(55)。

3.根据权利要求2所述的一种带有沥干功能的单晶硅清洗装置，其特征在于：所述固定块(52)的顶部设置限位导套，且盛放盒(53)与固定块(52)的连接处设置与限位导套匹配的导柱。

4.根据权利要求1所述的一种带有沥干功能的单晶硅清洗装置，其特征在于：所述限位板(11)的顶部前后两侧均设置限位孔，且限位孔的内壁粘接保护橡胶套，且拉绳(12)包括与限位孔匹配的两组分绳。

5.根据权利要求1所述的一种带有沥干功能的单晶硅清洗装置，其特征在于：所述磁铁(13)的顶部设置卡环，且拉绳(12)与磁铁(13)的连接处缠绕在卡环的外壁。

6.根据权利要求2所述的一种带有沥干功能的单晶硅清洗装置，其特征在于：所述限位套杆(54)的内壁设置紧固套环，且紧固套环的内壁均匀设置弹性橡胶球。