CN208466691U - 一种酸洗水洗一体装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种酸洗水洗一体装置，涉及半导体技术领域，该装置包括：清洗槽、缓冲槽、隔膜泵、控制器、进水管道、排水管道、第一管道、第二管道、第三管道、第四管道以及分别设置在各个管道上的气动阀门；进水管道的一端连清洗槽，另一端连进水口；排水管道的一端连清洗槽，另一端连排水口；第一管道的一端连清洗槽，另一端连隔膜泵；第二管道的一端连清洗槽，另一端连在第四管道气动阀门下方；第三管道的一端连缓冲槽，另一端连在第一管道气动阀门下方；第四管道的一端连缓冲槽，另一端连隔膜泵；控制器分别控制隔膜泵和各个气动阀门的开关。解决了清洗效率低、浪费人工的问题，达到了提高安全性、提高清洗效率、节省人工的效果。

Description

一种酸洗水洗一体装置

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其是一种酸洗水洗一体装置。

背景技术

在硅片生产流程中，为避免污染，需要对使用过的石英件和其他辅助石英件进行清洗，用于清洗的化学液是100％的氢氟酸。

传统的清洗设备由一个酸槽和一个水槽组成，清洗时将需要清洗的石英件放到提篮中，然后将提篮放到酸槽中，等酸洗时间到了，需要把提篮从酸槽拿出迅速放到水槽中，水槽冲洗完成后取出，放到烘箱中烘干。

由于提篮放入酸槽和从酸槽中取出时酸气会大量溢出污染环境，操作人员一旦吸入还会对身体造成伤害，并且提篮的放入和转移都需要耗费操作人员大量体力，清洗效率低，另外在酸洗时需要操作人员等待酸洗时间，浪费人工。

实用新型内容

本实用新型针对上述问题及技术需求，提出了一种酸洗水洗一体装置。

本实用新型的技术方案如下：

一种酸洗水洗一体装置，所述装置包括：清洗槽、缓冲槽、隔膜泵、控制器、进水管道、排水管道、第一管道、第二管道、第三管道、第四管道以及分别设置在各个管道上的气动阀门；所述清洗槽用于放置待清洗的石英件，所述缓冲槽用于存储清洗溶液；

所述进水管道的一端与所述清洗槽相连，另一端与进水口相连；

所述排水管道的一端与所述清洗槽相连，另一端与排水口相连；

所述第一管道的一端与所述清洗槽相连，另一端与所述隔膜泵相连；

所述第二管道的一端与所述清洗槽相连，另一端连接在所述第四管道的气动阀门的下方；

所述第三管道的一端与所述缓冲槽相连，另一端连接在所述第一管道的气动阀门的下方；

所述第四管道的一端与所述缓冲槽相连，另一端与所述隔膜泵相连；

所述控制器分别与所述隔膜泵和各个所述气动阀门相连，控制所述隔膜泵和各个所述气动阀门的开关。

其进一步的技术方案为：所述装置还包括启动按钮，所述启动按钮按下时，所述控制器自动运行清洗程序。

其进一步的技术方案为：所述控制器是可编程逻辑控制器PLC。

其进一步的技术方案为：所述缓冲槽中的清洗溶液在所述隔膜泵、所述第二管道和所述第三管道上的气动阀门打开时输送至所述清洗槽；所述缓冲槽中的清洗溶液在所述隔膜泵、所述第二管道和所述第三管道上的气动阀门关闭时停止输送；

所述清洗槽中的清洗溶液在所述隔膜泵、所述第一管道和所述第四管道上的气动阀门打开时输送至所述缓冲槽；所述清洗槽中的清洗溶液在所述隔膜泵、所述第一管道和所述第四管道上的气动阀门关闭时停止输送；

所述进水口在所述进水管道上的气动阀门打开时输送清水至所述清洗槽；

所述清洗槽中清洗后的废水在排水管道上的气动阀门打开时排放至所述排水口。

本实用新型的有益技术效果是：

通过将酸洗和水洗设置成一体的结构，可以减少石英件从酸槽转移至水槽的步骤，解决了转移时酸气溢出污染环境，伤害操作人员身体的问题，并且提高了清洗效率，另外，由于通过控制器控制隔膜泵和气动阀门的开关，可以利用控制器控制酸洗时间，无需操作人员在旁等待，节省了人工。

通过隔膜泵和气动阀门的开关动作可以实现清洗溶液在清洗槽和缓冲槽之间的相互输送，以及后续的冲水和排水步骤，这些控制均可以由控制器上的预定程序实现，减少了人工操作。

附图说明

图1是一种酸洗水洗一体装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做进一步说明。

图1是一种酸洗水洗一体装置的结构示意图，如图1所示，该装置包括清洗槽1、缓冲槽2、隔膜泵3、控制器4、进水管道5、排水管道6、第一管道7、第二管道8、第三管道9、第四管道10以及分别设置在各个管道上的气动阀门11。

清洗槽1用于放置待清洗的石英件，缓冲槽2用于存储清洗溶液。

可选的，在清洗石英件时，清洗溶液可以是氢氟酸液，若要清洗其他物件时，也可以将清洗溶液换成其他对应的溶液。

进水管道5的一端与清洗槽1相连，另一端与进水口相连。

排水管道6的一端与清洗槽1相连，另一端与排水口相连。

第一管道7的一端与清洗槽1相连，另一端与隔膜泵3相连。

第二管道8的一端与清洗槽1相连，另一端连接在第四管道10的气动阀门11的下方。

第三管道9的一端与缓冲槽2相连，另一端连接在第一管道7的气动阀门11的下方。

第四管道10的一端与缓冲槽2相连，另一端与隔膜泵3相连。

控制器4分别与隔膜泵3和各个气动阀门11相连，控制隔膜泵3和各个气动阀门11的开关。

可选的，该装置还包括启动按钮，启动按钮按下时，控制器4自动运行清洗程序。

可选的，控制器4是可编程逻辑控制器(英文：Programmable Logic Controller，简称：PLC)。

在清洗过程中，缓冲槽2中的清洗溶液在隔膜泵3、第二管道8和第三管道9上的气动阀门11打开时输送至清洗槽1，缓冲槽2中的清洗溶液在隔膜泵3、第二管道8和第三管道9上的气动阀门11关闭时停止输送。

清洗槽1中的清洗溶液在隔膜泵3、第一管道7和第四管道10上的气动阀门11打开时输送至缓冲槽2，清洗槽1中的清洗溶液在隔膜泵3、第一管道7和第四管道10上的气动阀门11关闭时停止输送。

进水口在进水管道5上的气动阀门11打开时输送清水至清洗槽1，清洗槽1中清洗后的废水在排水管道6上的气动阀门11打开时排放至排水口。

使用本实施例提供的酸洗水洗一体装置对石英件进行清洗时，将需要清洗的石英件放入清洗槽1中，按下启动按钮，控制器4中的清洗程序开始运行，发送指令，隔膜泵3、第二管道8和第三管道9上的气动阀门11打开，隔膜泵3将缓冲槽2中存储的氢氟酸液输送至清洗槽1，氢氟酸液抽完后隔膜泵3和气动阀门一起关闭，开始对酸洗时间计时，当酸洗时间达到时，控制器4会控制隔膜泵3、第一管道7和第四管道10上的气动阀门11打开，隔膜泵3将氢氟酸液从清洗槽1输送回缓冲槽2，输送完毕后关闭隔膜泵3和气动阀门11，结束酸洗过程。然后开始水洗过程，控制器4控制进水管道5上的气动阀门11打开，进水口会输送清水至清洗槽1中对石英件进行冲洗，预定时间达到后，控制器4控制进水管道5上的气动阀门11关闭，打开排水管道6上的气动阀门11，将清洗后的废水排出至排水口，然后重复执行几次进水冲洗和废水排放的动作，结束清洗后，控制器4发出结束指令。可选的，该装置还可以包括报警装置，如蜂鸣器，在控制器4发出结束指令时，蜂鸣器报警提醒操作人员完成清洗，操作人员只需将石英件取出放入烘箱烘干。

需要说明的是，对于隔膜泵3、启动阀门11的开启关闭、酸洗时间、水洗时间、排水时间、水洗循环次数均可以通过控制器4中的清洗程序实现。

由于酸洗和水洗一体设置，省略了将石英件从酸槽转移至水槽的步骤，避免操作人员接触到酸气和酸液，从而可以避免化学品对人身的伤害，而且操作人员节省了等待和转移的时间，提高了人工效率。

另外，缓冲槽还可以设置成密封的，清洗溶液储存在密封的缓冲槽中不易挥发失效，可以循环使用较长时间，节约了化学品的使用量，降低了成本。

以上所述的仅是本实用新型的优先实施方式，本实用新型不限于以上实施例。可以理解，本领域技术人员在不脱离本实用新型的精神和构思的前提下直接导出或联想到的其他改进和变化，均应认为包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种酸洗水洗一体装置，其特征在于，所述装置包括：清洗槽、缓冲槽、隔膜泵、控制器、进水管道、排水管道、第一管道、第二管道、第三管道、第四管道以及分别设置在各个管道上的气动阀门；所述清洗槽用于放置待清洗的石英件，所述缓冲槽用于存储清洗溶液；

所述进水管道的一端与所述清洗槽相连，另一端与进水口相连；

所述排水管道的一端与所述清洗槽相连，另一端与排水口相连；

所述第一管道的一端与所述清洗槽相连，另一端与所述隔膜泵相连；

所述第二管道的一端与所述清洗槽相连，另一端连接在所述第四管道的气动阀门的下方；

所述第三管道的一端与所述缓冲槽相连，另一端连接在所述第一管道的气动阀门的下方；

所述第四管道的一端与所述缓冲槽相连，另一端与所述隔膜泵相连；

所述控制器分别与所述隔膜泵和各个所述气动阀门相连，控制所述隔膜泵和各个所述气动阀门的开关。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括启动按钮，所述启动按钮按下时，所述控制器自动运行清洗程序。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述控制器是可编程逻辑控制器PLC。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述缓冲槽中的清洗溶液在所述隔膜泵、所述第二管道和所述第三管道上的气动阀门打开时输送至所述清洗槽；所述缓冲槽中的清洗溶液在所述隔膜泵、所述第二管道和所述第三管道上的气动阀门关闭时停止输送；

所述清洗槽中的清洗溶液在所述隔膜泵、所述第一管道和所述第四管道上的气动阀门打开时输送至所述缓冲槽；所述清洗槽中的清洗溶液在所述隔膜泵、所述第一管道和所述第四管道上的气动阀门关闭时停止输送；

所述进水口在所述进水管道上的气动阀门打开时输送清水至所述清洗槽；

所述清洗槽中清洗后的废水在排水管道上的气动阀门打开时排放至所述排水口。