CN208460723U - 一种可调节排气量的废气排放机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种可调节排气量的废气排放机构，包括排气板、排气调节板，排气板宽度方向的两侧开设有排气板调节孔，排气调节板宽度方向的两侧设有竖直的调节轴；排气调节板宽度方向两侧的底部固定连接有水平设置的直行齿条，直行齿条的底部啮合有第一齿轮，第一齿轮的中心孔之间固定连接有传动轴；第一齿轮的底部啮合有第二齿轮，第二齿轮连接有一伺服电机；排气调节板上设有排气量调节机构，该排气量调节机构包括：收缩流道、扩张流道，收缩流道与扩张流道之间设有平稳流道，收缩流道与扩张流道相互连通且均呈等腰梯形结构。本实用新型的废气排气量可以进行自动精确的控制，提高了废气排放效率，湿式制程中的废气排放更加稳定。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体湿式制程设备领域，具体涉及一种可调节排气量的废气排放机构。
背景技术
湿式制程中的相关机器的废气排放系统都是通过控制排气板上开口大小来控制排气量和排气速率。现有的废气排放机构一般是在排气板的下端设置排气调节板，在排气板和排气调节板上均设置有相同形状大小的排气孔，排气调节板的下端固定连接有直行齿条，直行齿条啮合有齿轮，通过手动转动与齿轮连接的手轮，可以调节排气孔的大小以控制排气量和排气速率。但是其存在以下缺陷：1、需要通过手动转动手轮来调节齿轮，以调节排气口的大小，增加了工人的劳动强度，降低了工作效率；2、无法精确调节排气口的大小，使得排气量无法精确控制，导致湿式制程中的废气排放系统工作不稳定。
实用新型内容
为了解决上述的技术问题，本实用新型的目的在于提供一种可调节排气量的废气排放机构，通过伺服电机的旋转带动第一齿轮与第二齿轮的转动，使得直行齿条带动排气调节板的滑动，使得第一调节孔与第二调节孔的相对位置发生变化，废气的排气量得到自动精确的控制，无需手动调节控制，提高了废气排放效率，湿式制程中的废气排放更加稳定。
本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：
一种可调节排气量的废气排放机构，包括排气板、排气调节板，所述排气板宽度方向的两侧开设有排气板调节孔，排气调节板宽度方向的两侧设有竖直的调节轴，调节轴的上端穿过排气板调节孔并能沿排气板调节孔水平滑动；
所述排气调节板宽度方向两侧的底部固定连接有水平设置的直行齿条，直行齿条的底部啮合有第一齿轮，第一齿轮的中心孔之间固定连接有传动轴，通过第一齿轮的转动，与其啮合的直行齿条带动调节轴沿排气板调节孔水平滑动；
所述第一齿轮的底部啮合有第二齿轮，第二齿轮连接有一伺服电机；通过伺服电机的驱动，第二齿轮的转动带动与其啮合的第一齿轮转动；
所述排气调节板上设有排气量调节机构，该排气量调节机构包括：收缩流道、扩张流道，收缩流道与扩张流道之间设有平稳流道，收缩流道与扩张流道相互连通且均呈等腰梯形结构；平稳流道上均匀分布有竖向导流孔。
作为本实用新型进一步的方案，所述排气板上设有第一调节孔，所述排气调节板的顶部设有第二调节孔。
作为本实用新型进一步的方案，所述第一调节孔和第二调节孔的形状均呈长条状，第二调节孔的面积大于第一调节孔的面积。
作为本实用新型进一步的方案，所述第二齿轮的直径小于第一齿轮的直径。
作为本实用新型进一步的方案，所述调节轴沿排气板调节孔水平滑动的最大距离为6-10cm。
本实用新型的有益效果：
1、本实用新型可调节排气量的废气排放机构，通过伺服电机的旋转带动第一齿轮的转动，第一齿轮带动与其啮合的第二齿轮转动，第二齿轮的旋转运动转化为与其啮合的直行齿条的直线运动，直行齿条的运动带动排气调节板的直线运动，使得排气调节板上的调节轴沿排气板调节孔移动，第一调节孔与第二调节孔的相对位置发生变化；废气的排气量通过伺服电机的正反转得到自动控制，无需手动调节控制，提高了废气排放效率，湿式制程中的废气排放更加稳定。
2、排气量调节机构中，废气既可以沿平稳流道上的竖向导流孔排出，再沿第二调节孔、第一调节孔排出，还可以沿收缩流道的收缩后，增大气体压强，进一步沿扩张流道的扩张后，气体压强减小，再沿第二调节孔、第一调节孔排出，气体压强的变化防止了在第二调节孔、第一调节孔间的废气流动量较小时，利于废气的迅速聚集、扩散，增大排气速率。
3、第二调节孔的面积大于第一调节孔，第二齿轮的直径小于第一齿轮，使得伺服电机在做功较小的情况下，即可驱动排气调节板的大位移滑动，节约了电能，增大了第二调节孔与第一调节孔间的排气调节范围。
附图说明
下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。
图1是可调节排气量的废气排放机构的剖视图。
图2是可调节排气量的废气排放机构的正视图。
图3是可调节排气量的废气排放机构的左视图，其中第二齿轮、伺服电机未示出。
图4是排气板的俯视图。
图5是排气调节板的俯视图。
图中：100、排气板，110、排气板调节孔，120、第一调节孔，200、排气调节板，210、调节轴，220、收缩流道，230、扩张流道，240、平稳流道，241、竖向导流孔，250、第二调节孔，300、直行齿条，400、第一齿轮，500、传动轴，600、第二齿轮，700、伺服电机。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1、图4、图5所示，本实施例提供一种可调节排气量的废气排放机构，包括排气板100、排气调节板200。其中，排气板100宽度方向的两侧开设有排气板调节孔110，排气调节板200宽度方向的两侧设有竖直的调节轴210，调节轴210的上端穿过排气板调节孔110并能沿排气板调节孔110水平滑动。调节轴210沿排气板调节孔110水平滑动的最大距离为6-10cm。排气板100上设有第一调节孔120，排气调节板200的顶部设有第二调节孔250。第一调节孔120和第二调节孔250的形状均呈长条状，第二调节孔250的面积大于第一调节孔120的面积，使得伺服电机700在做功较小的情况下，即可驱动排气调节板200的大位移滑动，节约电能和做功。
参阅图1-3所示，排气调节板200宽度方向两侧的底部固定连接有水平设置的直行齿条300，直行齿条300的底部啮合有第一齿轮400，第一齿轮400的中心孔之间固定连接有传动轴500。通过第一齿轮400的转动，与其啮合的直行齿条300带动调节轴210沿排气板调节孔110水平滑动。第一齿轮400的底部啮合有第二齿轮600，第二齿轮600连接有一伺服电机700。第二齿轮600的直径小于第一齿轮400的直径。通过伺服电机700的驱动，第二齿轮600的转动带动与其啮合的第一齿轮400转动。排气调节板200上设有排气量调节机构，该排气量调节机构包括：收缩流道220、扩张流道230，收缩流道220与扩张流道230之间设有平稳流道240，收缩流道220与扩张流道230相互连通且均呈等腰梯形结构；平稳流道240上均匀分布有竖向导流孔241。
本实施例的可调节排气量的废气排放机构的工作过程如下：
(1)启动伺服电机700，伺服电机输出轴的旋转带动第一齿轮400的转动，第一齿轮400带动与其啮合的第二齿轮600转动，第二齿轮600的旋转运动转化为与其啮合的直行齿条300的直线运动，直行齿条300的运动带动排气调节板200的直线运动，使得排气调节板200上的调节轴210沿排气板调节孔110移动，第一调节孔120与第二调节孔250的相对位置发生变化，使得排气量得到调节；
(2)废气一方面可以沿平稳流道240上的竖向导流孔241排出，再沿第二调节孔250、第一调节孔120排出，另一方面可以沿收缩流道220收缩后，增大气体压强，进一步沿扩张流道230扩张后，气体压强减小，再沿第二调节孔250、第一调节孔120排出，利于废气的迅速聚集、扩散，增大排气速率。
以上内容仅仅是对本实用新型结构所作的举例和说明，所属本技术领域的技术人员对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离实用新型的结构或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种可调节排气量的废气排放机构，包括排气板(100)、排气调节板(200)，其特征在于，所述排气板(100)宽度方向的两侧开设有排气板调节孔(110)，排气调节板(200)宽度方向的两侧设有竖直的调节轴(210)，调节轴(210)的上端穿过排气板调节孔(110)并能沿排气板调节孔(110)水平滑动；
所述排气调节板(200)宽度方向两侧的底部固定连接有水平设置的直行齿条(300)，直行齿条(300)的底部啮合有第一齿轮(400)，第一齿轮(400)的中心孔之间固定连接有传动轴(500)，通过第一齿轮(400)的转动，与其啮合的直行齿条(300)带动调节轴(210)沿排气板调节孔(110)水平滑动；
所述第一齿轮(400)的底部啮合有第二齿轮(600)，第二齿轮(600)连接有一伺服电机(700)；通过伺服电机(700)的驱动，第二齿轮(600)的转动带动与其啮合的第一齿轮(400)转动；
所述排气调节板(200)上设有排气量调节机构，该排气量调节机构包括：收缩流道(220)、扩张流道(230)，收缩流道(220)与扩张流道(230)之间设有平稳流道(240)，收缩流道(220)与扩张流道(230)相互连通且均呈等腰梯形结构；平稳流道(240)上均匀分布有竖向导流孔(241)。
2.根据权利要求1所述的可调节排气量的废气排放机构，其特征在于，所述排气板(100)上设有第一调节孔(120)，所述排气调节板(200)的顶部设有第二调节孔(250)。
3.根据权利要求2所述的可调节排气量的废气排放机构，其特征在于，所述第一调节孔(120)和第二调节孔(250)的形状均呈长条状，第二调节孔(250)的面积大于第一调节孔(120)的面积。
4.根据权利要求1所述的可调节排气量的废气排放机构，其特征在于，所述第二齿轮(600)的直径小于第一齿轮(400)的直径。
5.根据权利要求1所述的可调节排气量的废气排放机构，其特征在于，所述调节轴(210)沿排气板调节孔(110)水平滑动的最大距离为6-10cm。
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| CN201821323875.5U CN208460723U (zh) | 2018-08-16 | 2018-08-16 | 一种可调节排气量的废气排放机构 |
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Cited By (1)
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| CN111579312A (zh) * | 2019-02-18 | 2020-08-25 | 帆宣系统科技股份有限公司 | 气体侦测器取样装置 |
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