CN208459870U - 一种机械型气体质量流量控制器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种机械型气体质量流量控制器，包括前卡块、透气孔、串口九针座数据接口、驱动电机和固定块，所述前卡块的前侧安装有观察窗，且前卡块的后侧连接有后卡块，所述前卡块的外侧设置有固定钉，且前卡块的底端连接有支脚，所述透气孔位于后卡块的外侧，所述计量管顶端连接有橡胶垫，所述计量管的中部上方安装有分流管，所述PCB电路板的上方设置有显示窗口，所述串口九针座数据接口安装在显示窗口的上方，所述驱动电机位于感应圈的下方，所述驱动轮的外侧连接有传动带，所述固定块安装在传动带的左侧。该机械型气体质量流量控制器，便于进行安装，方便进行气体管道的连接，阀芯不易损坏，方便进行调节。

Description

一种机械型气体质量流量控制器

技术领域

本实用新型涉及气体质量流量控制器技术领域，具体为一种机械型气体质量流量控制器。

背景技术

气体质量流量控制器用于对气体质量流量进行精密测量及控制，主要应用于半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中，而现有的气体质量流量控制器不便于进行安装，不方便进行气体管道的连接，阀芯调节方式多采用电磁装置，容易受到损坏，因此，我们提出一种机械型气体质量流量控制器，以便于解决上述中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种机械型气体质量流量控制器，以解决现有技术中存在的气体质量流量控制器不便于进行安装，不方便进行气体管道的连接，阀芯调节方式多采用电磁装置，容易受到损坏的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种机械型气体质量流量控制器，包括前卡块、透气孔、串口九针座数据接口、驱动电机和固定块，所述前卡块的前侧安装有观察窗，且前卡块的后侧连接有后卡块，所述前卡块的外侧设置有固定钉，且前卡块的底端连接有支脚，所述透气孔位于后卡块的外侧，且后卡块的内部安装有计量管，所述计量管顶端连接有橡胶垫，且计量管的外侧连接有紧定套，所述计量管的中部上方安装有分流管，且分流管的上方设置有PCB电路板，所述PCB电路板的上方设置有显示窗口，且显示窗口的右侧设置有感应圈，所述串口九针座数据接口安装在显示窗口的上方，且串口九针座数据接口的右侧设置有S端子，所述驱动电机位于感应圈的下方，且驱动电机的输出端连接有驱动轮，所述驱动轮的外侧连接有传动带，且传动带的内侧上方安装有从动轮，所述固定块安装在传动带的左侧，且固定块的左侧连接有连接杆，并且连接杆的底部连接有阀芯。

优选的，所述前卡块与观察窗的连接方式为镶嵌连接，且观察窗的内围尺寸不小于显示窗口的外围尺寸，前卡块与后卡块之间为拆卸结构，且前卡块通过固定钉与后卡块固定连接。

优选的，所述透气孔等间距分布在后卡块的外侧，且后卡块与计量管的连接方式为卡合连接。

优选的，所述紧定套在计量管的外侧为转动结构，且紧定套的内壁结构呈螺纹结构。

优选的，所述分流管与计量管为一体化结构，且分流管的左右两侧呈弧形结构。

优选的，所述驱动轮、从动轮与传动带构成连动结构，且驱动轮和从动轮与传动带的连接方式均为啮合连接，并且传动带、固定块、连接杆与阀芯构成连动结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该机械型气体质量流量控制器，便于进行安装，方便进行气体管道的连接，阀芯不易损坏，方便进行调节；

(1)本实用新型设置有固定钉与支脚，通过固定钉便于将前卡块和后卡块固定连接到一起，便于进行安装，且通过支脚便于对该控制器的位置进行固定，便于进行使用；

(2)本实用新型设置有橡胶垫和紧定套，能够保证气体管道与计量管连接处的密闭性，保证了气体管道与计量管的连接紧密程度；

(4)本实用新型设置有传动带，传动带与主动轮和从动轮均为啮合连接，能够避免传动带滑动，便于对阀芯的位置进行调节，能够避免阀芯遭受损坏，有利于长期进行使用。

附图说明

图1为本实用新型的纵剖图；

图2为本实用新型的主视图；

图3为本实用新型的侧视图；

图4为图1中A部放大结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种机械型气体质量流量控制器，包括前卡块1、观察窗2、后卡块3、固定钉4、支脚5、透气孔6、计量管7、橡胶垫8、紧定套9、分流管10、PCB电路板11、感应圈12、显示窗口13、串口九针座数据接口14、S端子15、驱动电机16、驱动轮17、从动轮18、传动带19、固定块20、连接杆21和阀芯22，前卡块1的前侧安装有观察窗2，且前卡块1的后侧连接有后卡块3，前卡块1的外侧设置有固定钉4，且前卡块1的底端连接有支脚5，透气孔6位于后卡块3的外侧，且后卡块3的内部安装有计量管7，计量管7顶端连接有橡胶垫8，且计量管7的外侧连接有紧定套9，紧定套9在计量管7的外侧为转动结构，且紧定套9的内壁结构呈螺纹结构，便于将外部气体管道与计量管7进行连接，能够保证连接处的密闭性，计量管7的中部上方安装有分流管10，分流管10与计量管7为一体化结构，且分流管10的左右两侧呈弧形结构，保证了气体能够顺利进入分流管10，保证了气体质量流量监测的正常进行，分流管10的上方设置有PCB电路板11，PCB电路板11的上方设置有显示窗口13，且显示窗口13的右侧设置有感应圈12，串口九针座数据接口14安装在显示窗口13的上方，且串口九针座数据接口14的右侧设置有S端子15，驱动电机16位于感应圈12的下方，且驱动电机16的输出端连接有驱动轮17，驱动轮17的外侧连接有传动带19，且传动带19的内侧上方安装有从动轮18，固定块20安装在传动带19的左侧，且固定块20的左侧连接有连接杆21，并且连接杆21的底部连接有阀芯22。

如图2和3中前卡块1与观察窗2的连接方式为镶嵌连接，且观察窗2的内围尺寸不小于显示窗口13的外围尺寸，前卡块1与后卡块3之间为拆卸结构，且前卡块1通过固定钉4与后卡块3固定连接，从而便于对该控制器进行安装，便于进行拆卸检修，透气孔6等间距分布在后卡块3的外侧，且后卡块3与计量管7的连接方式为卡合连接，保证了该控制器内部的散热性能。

如图4中驱动轮17、从动轮18与传动带19构成连动结构，且驱动轮17和从动轮18与传动带19的连接方式均为啮合连接，并且传动带19、固定块20、连接杆21与阀芯22构成连动结构，能够避免传动带19滑动，便于对阀芯22的位置进行调节，能够避免阀芯22遭受损坏，有利于长期进行使用。

工作原理：在使用该机械型气体质量流量控制器时，首先将该控制器内部元件安装好，将前卡块1与后卡块3进行卡合，通过固定钉4进行固定连接，且观察窗2卡合在显示窗口13的前侧，便于数据显示，并且通过前卡块1和后卡块3底部的支脚5便于将该控制器位置固定，通过计量管7与外侧气体管道进行连接，通过计量管7顶端的橡胶垫8保证连接的密闭性，且通过紧定套9在计量管7外侧的转动，利用螺纹将外界气体管道与计量管7进行紧密连接，从而保证了该控制器的运行，气体自外界进入计量管7内部后，通过分流管10对气体进行分流，经过感丝绕组与外部电阻的组成的电桥，使得信号传进PCB电路板11内，后经由感应圈12与S端子15分析控制驱动电机16进行驱动，从而由驱动电机16通过驱动轮17带动传动带19进行转动，且传动带19与驱动轮17和从动轮18进行啮合连接，能够避免传动带19滑动，通过传动带19的转动，带动固定块20以及连接杆21进行升降，从而带动阀芯22在计量管7的内部进行升降，进而对气体的流动速度进行调节，这就是该机械型气体质量流量控制器的整个工作过程，本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种机械型气体质量流量控制器，包括前卡块(1)、透气孔(6)、串口九针座数据接口(14)、驱动电机(16)和固定块(20)，其特征在于：所述前卡块(1)的前侧安装有观察窗(2)，且前卡块(1)的后侧连接有后卡块(3)，所述前卡块(1)的外侧设置有固定钉(4)，且前卡块(1)的底端连接有支脚(5)，所述透气孔(6)位于后卡块(3)的外侧，且后卡块(3)的内部安装有计量管(7)，所述计量管(7)顶端连接有橡胶垫(8)，且计量管(7)的外侧连接有紧定套(9)，所述计量管(7)的中部上方安装有分流管(10)，且分流管(10)的上方设置有PCB电路板(11)，所述PCB电路板(11)的上方设置有显示窗口(13)，且显示窗口(13)的右侧设置有感应圈(12)，所述串口九针座数据接口(14)安装在显示窗口(13)的上方，且串口九针座数据接口(14)的右侧设置有S端子(15)，所述驱动电机(16)位于感应圈(12)的下方，且驱动电机(16)的输出端连接有驱动轮(17)，所述驱动轮(17)的外侧连接有传动带(19)，且传动带(19)的内侧上方安装有从动轮(18)，所述固定块(20)安装在传动带(19)的左侧，且固定块(20)的左侧连接有连接杆(21)，并且连接杆(21)的底部连接有阀芯(22)。

2.根据权利要求1所述的一种机械型气体质量流量控制器，其特征在于：所述前卡块(1)与观察窗(2)的连接方式为镶嵌连接，且观察窗(2)的内围尺寸不小于显示窗口(13)的外围尺寸，前卡块(1)与后卡块(3)之间为拆卸结构，且前卡块(1)通过固定钉(4)与后卡块(3)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种机械型气体质量流量控制器，其特征在于：所述透气孔(6)等间距分布在后卡块(3)的外侧，且后卡块(3)与计量管(7)的连接方式为卡合连接。

4.根据权利要求1所述的一种机械型气体质量流量控制器，其特征在于：所述紧定套(9)安装计量管(7)的外侧，且紧定套(9)的内壁结构呈螺纹结构。

5.根据权利要求1所述的一种机械型气体质量流量控制器，其特征在于：所述分流管(10)与计量管(7)为一体化结构，且分流管(10)的左右两侧呈弧形结构。

6.根据权利要求1所述的一种机械型气体质量流量控制器，其特征在于：所述驱动轮(17)、从动轮(18)与传动带(19)构成连动结构，且驱动轮(17)和从动轮(18)与传动带(19)的连接方式均为啮合连接，并且传动带(19)、固定块(20)、连接杆(21)与阀芯(22)构成连动结构。