CN208434130U - 一种薄膜式基板加热装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种薄膜式基板加热装置，包括第一伸缩杆，转动式安装在第一伸缩杆上端的第二伸缩杆，安装在第二伸缩杆端部的红外测温器，基座，薄膜式加热器，导热硅胶；第一伸缩杆竖直设置，第二伸缩杆水平设置，薄膜式加热器安装在基座上，导热硅胶叠放在薄膜式加热器的上表面，基板叠放在导热硅胶的上表面，红外测温器位于基板的上方。加热装置还包括反馈电路和加热电路；红外测温器与反馈电路信号连接，反馈电路与加热电路信号连接，薄膜式加热器连接在加热电路上。本加热装置能均匀地加热基板，属于薄膜式基板加热的技术领域。

Description

一种薄膜式基板加热装置

技术领域

本实用新型涉及薄膜式基板加热的技术领域，尤其涉及一种薄膜式基板加热装置。

背景技术

薄膜加热材料按主要成份可分为金属薄膜加热材料、无机薄膜加热材料和有机薄膜加热材料。

金属薄膜加热材料把金属材料或金属氧化物，如银、铂、锡、钨等，用气相生长、电弧等方法把金属材料涂到绝缘材料表面，形成薄薄的一层导电膜。金属膜加工工艺复杂，成本较高，是第一代薄膜加热材料。

无机膜是将无机导电材料，如石墨、SiC、SiO2和其它硅酸盐材料，在无机导电材料中添加成膜剂、阻燃剂等助剂制成涂料，把这种涂料涂抹在绝缘材料的表面，经高温处理后，去除粘结材料，在绝缘材料表面形成一层导电膜。由于无机材料本身所拥有的特点，因此，它具有寿命长、成本低、耐高温的优点。但是，无机材料是脆性材料，它只能用于制作刚性薄膜。

有机加热薄膜材料是在有机高分子材料中加入导电粒子，或用导电有机材料制成薄膜材料，也可以把有机材料涂在绝缘材料表面制成有机导电薄膜。例如：由聚四氟乙烯掺杂碳黑，制成一种类似塑料薄膜式的加热带，不须依附于任何基材，柔软可折叠，本身导电无绝缘层。使用时可采用聚酰亚胺薄膜作绝缘层，有机膜具有弯曲性能，可折叠，但一般只能在较低温度下使用。导电薄膜材料不同，特点不同，一般可根据使用要求选择不同的导电薄膜材料。

一般而言，都需要对薄膜加热材料进行加热，但是现有技术中，很难对薄膜材料进行均匀加热。

实用新型内容

针对现有技术中存在的技术问题，本实用新型的目的是：提供一种薄膜式基板加热装置，能均匀地加热基板。

为了达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种薄膜式基板加热装置，包括第一伸缩杆，转动式安装在第一伸缩杆上端的第二伸缩杆，安装在第二伸缩杆端部的红外测温器，基座，薄膜式加热器，导热硅胶；第一伸缩杆竖直设置，第二伸缩杆水平设置，薄膜式加热器安装在基座上，导热硅胶叠放在薄膜式加热器的上表面，基板叠放在导热硅胶的上表面，红外测温器位于基板的上方。

进一步的是：加热装置还包括反馈电路和加热电路；红外测温器与反馈电路信号连接，反馈电路与加热电路信号连接，薄膜式加热器连接在加热电路上。

进一步的是：薄膜式加热器由柔性材料制成。

进一步的是：加热装置还包括四个压合器，四个压合器分别压住基板上表面的四个角落。

进一步的是：加热装置还包括导轨和滑动式安装在导轨上的滑块，第一伸缩杆的下端安装在滑块上，导轨沿着基板的长度方向设置。

总的说来，本实用新型具有如下优点：

本实用新型的一种薄膜式基板加热装置，采用了薄膜式加热器给基板均匀加热。由于柔性的薄膜式加热器能够更好地跟基板接触，从而实现均匀加热。薄膜式加热器采用柔性材料，比较容易刮伤，通过将薄膜式加热器放置在基座上，然后再通过导热硅胶跟被加热基板接触，这样可以延长薄膜式加热器的使用寿命。

附图说明

图1是本加热装置的结构示意图。

图2是薄膜式加热器的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合附图和具体实施方式来对本实用新型做进一步详细的说明。

为了便于统一查看说明书附图里面的各个附图标记，现对说明书附图里出现的附图标记统一说明如下：

1为第一伸缩杆，2为第二伸缩杆，3为基座，4为薄膜式加热器，5为导热硅胶，6为基板，7为红外测温器。

结合图1、图2所示，一种薄膜式基板加热装置，包括第一伸缩杆，转动式安装在第一伸缩杆上端的第二伸缩杆，安装在第二伸缩杆端部的红外测温器，基座，薄膜式加热器，导热硅胶。第二伸缩杆可以绕着第一伸缩杆旋转，第一伸缩杆可以在竖直方向上伸缩，第二伸缩杆可以在水平方向上伸缩，第一伸缩杆竖直设置，第二伸缩杆水平设置，第一伸缩杆和第二伸缩杆及其两者之间的安装属于现有技术。薄膜式加热器安装在基座上，导热硅胶叠放在薄膜式加热器的上表面，基板叠放在导热硅胶的上表面，基座在最下面，薄膜式加热器、导热硅胶、基板由下往上依次叠放，红外测温器位于基板的上方，第一伸缩杆可以调整红外测温器到基板的高度，第二伸缩杆可以使红外测温器位于基板同一高度的不同位置上，从而可以测量基板不同位置的温度，第一伸缩杆和第二伸缩杆用于将红外测温器移动到基板上表面不同的位置进行测温。

加热装置还包括反馈电路和加热电路；红外测温器与反馈电路信号连接，反馈电路与加热电路信号连接，薄膜式加热器连接在加热电路上。反馈电路中设定一个标准温度，当测得的温度高于标准温度时就反馈一个降低电流的信号，从而放缓对薄膜式加热器进行加热；当测得的温度低于标准温度时就反馈一个增加电流的信号，从而加快对薄膜式加热器进行加热。加热电路通过调整电流来加快或放缓对薄膜式加热器进行加热。反馈电路可以保证基板的温度一直维持在标准温度附近。反馈电路、加热电路、薄膜式加热器之间的信号传输及控制技术属于现有的技术，也可以采用现有技术中的其他控制系统，该控制系统可以接收红外测温器的信号并控制薄膜式加热器的温度。

薄膜式加热器由柔性材料制成。

加热装置还包括四个压合器，四个压合器分别压住基板上表面的四个角落。压合器可以保证薄膜式加热器跟基座、导热硅胶充分接触，导热硅胶跟基板充分接触，从而提交热传递效率。

加热装置还包括导轨和滑动式安装在导轨上的滑块，第一伸缩杆的下端安装在滑块上，导轨沿着基板的长度方向设置。

本实用新型的一种薄膜式基板加热装置，采用了薄膜式加热器给基板均匀加热。由于柔性的薄膜式加热器能够更好地跟基板接触，从而实现均匀加热。薄膜式加热器采用柔性材料，比较容易刮伤，通过将薄膜式加热器放置在基座上，然后再通过导热硅胶跟被加热基板接触，这样可以延长薄膜式加热器的使用寿命。为了避免基板对薄膜式加热器造成刮伤，本实用新型在薄膜式加热器和基板之间增加了导热硅胶，通过导热硅胶将薄膜式加热器的热量传输给基板。薄膜式加热器的作用是为被加热的基板提供热源，红外测温器用于获取被加热基板的温度。

上述实施例为本实用新型较佳的实施方式，但本实用新型的实施方式并不受上述实施例的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种薄膜式基板加热装置，其特征在于：包括第一伸缩杆，转动式安装在第一伸缩杆上端的第二伸缩杆，安装在第二伸缩杆端部的红外测温器，基座，薄膜式加热器，导热硅胶；第一伸缩杆竖直设置，第二伸缩杆水平设置，薄膜式加热器安装在基座上，导热硅胶叠放在薄膜式加热器的上表面，基板叠放在导热硅胶的上表面，红外测温器位于基板的上方。

2.按照权利要求1所述的一种薄膜式基板加热装置，其特征在于：加热装置还包括反馈电路和加热电路；红外测温器与反馈电路信号连接，反馈电路与加热电路信号连接，薄膜式加热器连接在加热电路上。

3.按照权利要求1所述的一种薄膜式基板加热装置，其特征在于：薄膜式加热器由柔性材料制成。

4.按照权利要求1所述的一种薄膜式基板加热装置，其特征在于：加热装置还包括四个压合器，四个压合器分别压住基板上表面的四个角落。

5.按照权利要求1所述的一种薄膜式基板加热装置，其特征在于：加热装置还包括导轨和滑动式安装在导轨上的滑块，第一伸缩杆的下端安装在滑块上，导轨沿着基板的长度方向设置。