CN208399080U - 一种新型反磁控规及皮拉尼规复合传感器 - Google Patents
一种新型反磁控规及皮拉尼规复合传感器 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型公开了一种新型反磁控规及皮拉尼规复合传感器,包括金属外壳、绝缘盖、可伐杆和永磁体,金属外壳为顶部开口和底部开口的管形腔体,绝缘盖与金属外壳的顶部开口密封连接,在绝缘盖上连接有阳极杆,阳极杆位于金属外壳内,阳极杆与金属外壳之间留有间隙,在绝缘盖上还设有可伐杆,可伐杆设有两个,两个可伐杆在绝缘盖上间隔设置,在绝缘盖下端面的可伐杆位于金属外壳内,在绝缘盖下端面的两个可伐杆之间连接有灯丝,永磁体为圆环形结构,永磁体套设在金属外壳的外壁上。该传感器综合了反磁控规与皮拉尼规的测量方法,能够根据具体的真空度进行单独测量,提高了该传感器的适用范围,降低使用成本,扩大了真空度测量范围。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空测量仪器技术领域,具体涉及一种新型反磁控规及皮拉尼规复合传感器。
背景技术
反磁控规具有卓越的超高真空测量能力,即同时兼顾稳定的超高真空压力测量和快速的压力响应能力。由于没有热灯丝,因此将规内的气体逸出量降至最低。该反磁控规不发射电子或光子,因而不会干扰试验过程。反磁控规测量真空时,是利用真空中的高压放电现象实现真空度的测量,其主要构造为圆柱形阳极,圆筒状的阴极和永久磁铁。在阳极两极加高压,少量诱导粒子激发少量电子。
从阴极放出的电子受洛仑兹力而作螺旋运动,并被束缚在磁场中。螺旋运动使得电子的飞行距离大幅增加。电子最终会被阳极捕捉,但是在被捕捉之前多次和气体分子发生碰撞,在两阴极之间产生等离子体状态。等离子体中的电子和阴极放出的电子一样会作螺旋运动,但阳离子因为质量较大,螺旋运动半径较大,短时间内阳离子因为质量较大,螺旋运动半径较大,短时间内被阴极捕获,并产生二次发射电子。气体电离产生的电子和阴极发射的二次电子也在阴极间长期运动,从而使电离过程连锁地进行下去。阴极放电可在0.1pa的压强下发生。在阴极被捕获到的离子数量,与压强及气体分子的电离断面面积成正比例。如果知道离子电流和压强的比例系数,侧可知道压强值。
皮拉尼规的工作原理是根据真空度不同,单位体积内的空气分子数就不同,对于正在发热的电阻丝带走热量的能力(散热能力)就不同,电阻丝温度就不同,因为电阻丝的电阻率是温度的函数,所以不同的真空度就引起了电阻率的不同,则电阻就不同,电流在电阻丝上的压降就不同,根据电压的变化就能换算出空气压强,也就是测量真空度。
现有的反磁控规和皮拉尼规是以分体式的方式来测量真空度,需要根据真空度的大小来选型不同类型的真空规管来使用,由于不用种类的真空规管测量的真空度的范围不同,因此需要用户根据具体需要来选择适合自己使用的真空规管。这样给用户的使用产生的了诸多不便,不同种类的真空规管不能通用,不利于真空度的简化测量。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是现有技术的不足,目的在于提供一种新型反磁控规及皮拉尼规复合传感器。
本实用新型通过下述技术方案实现:
一种新型反磁控规及皮拉尼规复合传感器,包括金属外壳、绝缘盖、可伐杆和永磁体,所述金属外壳为顶部开口和底部开口的管形腔体,所述绝缘盖与金属外壳的顶部开口密封连接,在绝缘盖上连接有阳极杆,所述阳极杆位于金属外壳内,阳极杆与金属外壳之间留有间隙,在绝缘盖上还设有可伐杆,所述可伐杆设有两个,两个可伐杆在绝缘盖上间隔设置,可伐杆贯穿于绝缘盖的上端面和下端面,在绝缘盖下端面的可伐杆位于金属外壳内,在绝缘盖下端面的两个可伐杆之间连接有灯丝,所述永磁体为圆环形结构,永磁体套设在金属外壳的外壁上。
优选方案,所述绝缘盖为陶瓷材料,在绝缘盖的中心位置设有不锈钢内螺纹接头,所述不锈钢内螺纹接头与绝缘盖密封连接,不锈钢内螺纹接头贯穿于绝缘盖的上端面和下端面,所述阳极杆的一端与不锈钢内螺纹接头连接。
优选方案,所述绝缘盖为陶瓷材料,在绝缘盖的外圆设有圆环形的可伐,所述可伐的内壁与绝缘盖的外圆密封连接,可伐的外壁与金属外壳的顶部开口的内壁密封连接。
优选方案,所述金属外壳为不锈钢材料,金属外壳包括上壳体、中壳体和下壳体,所述上壳体为顶部开口的杯形体,下壳体为底部开口的杯形体,上壳体与下壳体之间密封连接所述中壳体,所述中壳体为圆柱形管体,中壳体分别与上壳体和下壳体连通,所述中壳体的外径小于上壳体与下壳体的外径。
优选方案,所述阳极杆为不锈钢材料,所述阳极杆包括圆柱形杆体,在圆柱形杆体上间隔设置有第一圆盘和第二圆盘,在圆柱形杆体的两端设有外螺纹。
优选方案,所述阳极杆的第一圆盘位于上壳体内,阳极杆的第二圆盘位于下壳体内。
优选方案,所述永磁体为两个对称设置的半圆弧形结构的永磁体组成。
优选方案,所述灯丝为直径30um的铂金丝。
优选方案,阳极杆与金属外壳之间的间隙距离为5—10mm。
优选方案,所述金属外壳的底部连接有安装法兰。
本实用新型与现有技术相比,具有如下的优点和有益效果:本实用新型的一种新型反磁控规及皮拉尼规复合传感器,该传感器把反磁控规与皮拉尼规组合在一起实现对真空进行测量。该传感器综合了反磁控规与皮拉尼规的测量方式,能够根据具体的真空度进行单独测量,提高了该传感器的适用范围,降低使用成本,扩大了真空度测量的测量范围。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本实用新型实施例的进一步理解,构成本申请的一部分,并不构成对本实用新型实施例的限定。在附图中:
图1为本实用新型的主视图;
图2为本实用新型的俯视图;
图3为本使用新型的立体图;
图4为图2沿A-A方向的剖面图;
图5为本实用新型的阳极杆主视图;
图6为本实用新型的外壳立体图;
图7为本实用新型的外壳剖视图。
附图中标记及对应的零部件名称:
1-金属外壳,2-绝缘盖,3-阳极杆,4-可伐,5-可伐杆,6-永磁体,7-不锈钢内螺纹接头,11-上壳体,12-中壳体,13-下壳体,14-安装法兰,31-圆柱形杆体,32-第一圆盘,33-第二圆盘。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白,下面结合实施例和附图,对本实用新型作进一步的详细说明,本实用新型的示意性实施方式及其说明仅用于解释本实用新型,并不作为对本实用新型的限定。
实施例
如图1至图7所示,本实用新型一种新型反磁控规及皮拉尼规复合传感器,包括金属外壳1、绝缘盖2、可伐杆5和永磁体6。金属外壳1为不锈钢材料,金属外壳1作为反磁控规的阴极导电体,金属外壳1包括上壳体11、中壳体12和下壳体13,上壳体11为顶部开口的杯形体,下壳体13为底部开口的杯形体,上壳体11与下壳体13之间采用满焊密封连接,保证气密性;中壳体12为圆柱形管体,中壳体12分别与上壳体11和下壳体连通,中壳体12的外径小于上壳体11与下壳体13的外径,金属外壳1的下壳体13底部连接有安装法兰14,安装法兰14用于和真空管道或真空设备连接。
绝缘盖2为陶瓷材料,陶瓷具有优良的电绝缘性非常适合作为绝缘盖2的基材,绝缘盖2的外圆设有圆环形的可伐4,可伐4的内壁与绝缘盖2的外圆采用银焊密封连接,可伐4的外壁与金属外壳1的上壳体11顶部开口的内壁银焊密封连接,保证连接处的气密性。在绝缘盖2的中心位置设有不锈钢内螺纹接头7,不锈钢内螺纹接头7与绝缘盖2采用银焊密封连接,不锈钢内螺纹接头7贯穿于绝缘盖2的上端面和下端面。
如图4和5所示,在不锈钢内螺纹接头7上连接阳极杆3,阳极杆3为不锈钢材料,阳极杆3是作为反磁控规的阳极导电体,阳极杆3包括圆柱形杆体31,在圆柱形杆体31上间隔设置有第一圆盘32和第二圆盘33,第一圆盘32和第二圆盘33有利于阳极杆3均匀放电。在圆柱形杆体31的两端设有外螺纹,外螺纹与不锈钢内螺纹接头7连接。阳极杆3位于金属外壳1内部的空腔内,阳极杆3的第一圆盘32位于上壳体11内,阳极杆3的第二圆盘33位于下壳体13内,圆柱形杆11体位于上壳体11、中壳体12和下壳体13内。阳极杆3与金属外壳1之间留有间隙,间隙距离为6mm。
在绝缘盖2上还设有可伐杆5,可伐杆5与绝缘盖2采用铅焊连接,可伐杆5设有两个,两个可伐杆5在绝缘盖2上间隔设置,可伐杆5贯穿于绝缘盖2的上端面和下端面,在绝缘盖2下端面的可伐杆5位于金属外壳1内,位于绝缘盖2下端面的两个可伐杆5之间连接有灯丝,灯丝为直径30um的铂金丝。
在金属外壳1的中壳体12上安装有永磁体6,永磁体6为两个对称设置的半圆弧形结构的永磁体组成,永磁体6套设在金属外壳1的中壳体12的外壁上。
由于反磁控规及皮拉尼规的工作原理皆为现有技术,在此不再对其工作原理做重复赘述。
以上所述的具体实施方式,对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本实用新型的具体实施方式而已,并不用于限定本实用新型的保护范围,凡在本实用新型的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种新型反磁控规及皮拉尼规复合传感器,其特征在于,包括金属外壳、绝缘盖、可伐杆和永磁体,所述金属外壳为顶部开口和底部开口的管形腔体,所述绝缘盖与金属外壳的顶部开口密封连接,在绝缘盖上连接有阳极杆,所述阳极杆位于金属外壳内,阳极杆与金属外壳之间留有间隙,在绝缘盖上还设有可伐杆,所述可伐杆设有两个,两个可伐杆在绝缘盖上间隔设置,可伐杆贯穿于绝缘盖的上端面和下端面,在绝缘盖下端面的可伐杆位于金属外壳内,在绝缘盖下端面的两个可伐杆之间连接有灯丝,所述永磁体为圆环形结构,永磁体套设在金属外壳的外壁上。
2.根据权利要求1所述的一种新型反磁控规及皮拉尼规复合传感器,其特征在于,所述绝缘盖为陶瓷材料,在绝缘盖的中心位置设有不锈钢内螺纹接头,所述不锈钢内螺纹接头与绝缘盖密封连接,不锈钢内螺纹接头贯穿于绝缘盖的上端面和下端面,所述阳极杆的一端与不锈钢内螺纹接头连接。
3.根据权利要求1所述的一种新型反磁控规及皮拉尼规复合传感器,其特征在于,所述绝缘盖为陶瓷材料,在绝缘盖的外圆设有圆环形的可伐,所述可伐的内壁与绝缘盖的外圆密封连接,可伐的外壁与金属外壳的顶部开口的内壁密封连接。
4.根据权利要求1所述的一种新型反磁控规及皮拉尼规复合传感器,其特征在于,所述金属外壳为不锈钢材料,金属外壳包括上壳体、中壳体和下壳体,所述上壳体为顶部开口的杯形体,下壳体为底部开口的杯形体,上壳体与下壳体之间密封连接所述中壳体,所述中壳体为圆柱形管体,中壳体分别与上壳体和下壳体连通,所述中壳体的外径小于上壳体与下壳体的外径。
5.根据权利要求1所述的一种新型反磁控规及皮拉尼规复合传感器,其特征在于,所述阳极杆为不锈钢材料,所述阳极杆包括圆柱形杆体,在圆柱形杆体上间隔设置有第一圆盘和第二圆盘,在圆柱形杆体的两端设有外螺纹。
6.根据权利要求4或5所述的一种新型反磁控规及皮拉尼规复合传感器,其特征在于,所述阳极杆的第一圆盘位于上壳体内,阳极杆的第二圆盘位于下壳体内。
7.根据权利要求1所述的一种新型反磁控规及皮拉尼规复合传感器,其特征在于,所述永磁体为两个对称设置的半圆弧形结构的永磁体组成。
8.根据权利要求1所述的一种新型反磁控规及皮拉尼规复合传感器,其特征在于,所述灯丝为直径30um的铂金丝。
9.根据权利要求1所述的一种新型反磁控规及皮拉尼规复合传感器,其特征在于,阳极杆与金属外壳之间的间隙距离为5—10mm。
10.根据权利要求1所述的一种新型反磁控规及皮拉尼规复合传感器,其特征在于,所述金属外壳的底部连接有安装法兰。
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