CN208381195U - 减震元件 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种减震元件，由一顶板安装于一弹性胶套的容置空间内且将弹性胶套的装配口遮蔽，另有至少一第一弹性垫体设于弹性胶套的容置空间内，另有一压缩弹簧设于第一弹性垫体与顶板之间，由压缩弹簧提供较为可靠的动作行程，使得以完全吸收外部撞击或震动能量，尤其当外部撞击或震动力量消失时，可利用压缩弹簧所储存的能量使弹性胶套快速复原，有效提升整体减震元件的吸震效果及反应速度。

Description

减震元件

技术领域

本实用新型涉及一种减震元件，尤其涉及一种可提供较佳吸震效果，进而提高物件运送成功率的减震元件。

背景技术

在高度管理下的无尘室内，为了降低晶圆在运输过程中受损的可能性，通常会以天井走行式搬送车（overhead hoist transport，OHT）来运输晶圆，以期能够有效利用天花板及机台上方空间，并且在各加工区间快速稳定的进行晶圆搬运工作。

如第1图所示，类似功能的天井走行式搬送车，主要由搬送车11上的马达（图略）驱动由皮带12及夹爪13所构成的升降装置，透过夹爪13抓取设置在搬送车11下方的物件20，并且在搬送车11的底面设置数量不等的减震元件14，用以吸收物件20高速接近搬送车11时可能产生的撞击力量，以及在搬送车11位移时避免物件20晃动。

再者，一般天井走行式搬送车在运送过程中，其搬送车11所吊挂的物件20同时承受搬送车在加速、停止及转向所产生的G力(G-Force)；然而，类似习用天井走行式搬送车所使用的减震元件14，仅在其胶套141内放置数量不等的硅胶垫142，因此能够提供的吸震效果、减震行程、反应速度皆较为有限。

尤其，当所保护的对象为相对较需要妥善保护的晶圆时，其晶圆纵使可被收纳在晶圆储存盒中受到屏蔽，但仍有遭受碰撞破裂的可能，或者因为晶圆与晶圆储存盒之间发生摩擦，而产生污染晶圆的粉尘或杂质，严重影响晶圆的产值及产能。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种可提供较佳吸震效果，进而提高物件运送成功率的减震元件。

为了实现上述目的，本实用新型的解决方案为：

一种减震元件，包括一弹性胶套、一顶板、至少一第一弹性垫体，以及一压缩弹簧，弹性胶套的内部具有一概呈直筒状的容置空间，弹性胶套的顶部设有一与该容置空间相通的装配口，装配口的口径相对小于容置空间的内径；顶板以将弹性胶套的装配口遮闭的型态安装于弹性胶套的容置空间内，顶板的外径相对大于装配口的口径，顶板上设有至少一螺孔及至少一通气孔；第一弹性垫体设于弹性胶套的容置空间内；压缩弹簧设于第一弹性垫体与该顶板之间。

进一步的，压缩弹簧与顶板之间设有一第二弹性垫体。

进一步的，压缩弹簧两端分别固设一金属垫片。

进一步的，压缩弹簧与顶板之间设有一第二弹性垫体，压缩弹簧两端分别固设一金属垫片。

进一步的，压缩弹簧与顶板之间设有一第二弹性垫体，压缩弹簧两端分别固设一金属垫片，第二弹性垫体及与第二弹性垫体固定接合的金属垫片分别设有一通气孔。

所述的弹性胶套环设至少一圈弯弧区段。

所述第一弹性垫体及第二弹性垫体分别与压缩弹簧两端的金属垫片固定接合。

所述弹性胶套环设至少一圈弯弧区段，第一弹性垫体及第二弹性垫体分别与压缩弹簧两端的金属垫片固定接合。

本实用新型有益效果：

本实用新型的减震元件，可配合压缩弹簧的设置，提供较为可靠的动作行程，使得以完全吸收外部撞击或震动能量，尤其当外部撞击或震动力量消失时，可利用压缩弹簧所储存的能量使弹性胶套快速复原，有效提升整体减震元件的吸震效果及反应速度。

附图说明

图1为一习用天井走行式搬送车结构示意图。

图2为本实用新型的减震元件外观立体图。

图3为本实用新型第一实施例的减震元件结构分解图。

图4为本实用新型第一实施例的减震元件结构剖视图。

图5为本实用新型的减震元件动作示意图。

图6为本实用新型第二实施例的减震元件结构分解图。

图7为本实用新型第三实施例的减震元件结构分解图。

符号说明

先前技术

搬送车 11；皮带 12；夹爪 13；减震元件 14；胶套 141；矽胶套 142；物件 20。

本实用新型

弹性胶套 30；容置空间 31；装配口 32；弯弧区段 33；顶板 40；螺孔 41；通气孔42；第一弹性垫体 51；第二弹性垫体 52；通气孔 521；压缩弹簧 60；金属垫片 61；通气孔611。

具体实施方式

为了达到上述目的与功效，进一步理解本实用新型的技术方案，以下特举出较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下：

本实用新型提供一种减震元件，如图2至图4所示，包括有：一弹性胶套30、一顶板40、至少一第一弹性垫体51，以及一压缩弹簧60；其中：

弹性胶套30的内部具有一概呈直筒状的容置空间31，该弹性胶套30的顶部设有一与容置空间31相通的装配口32，该装配口32的口径相对小于容置空间31的内径；于实施时，弹性胶套30可以由塑胶、硅胶、橡胶或其他高分子材料模塑成型。

顶板40以将弹性胶套30的装配口32遮闭的型态安装于弹性胶套30的容置空间31内，顶板40的外径相对大于装配口32的口径，顶板40上且设有至少一螺孔41及至少一通气孔42；于实施时，该顶板40可以由金属切削加工成型。

至少一第一弹性垫体51设于弹性胶套30的容置空间31内；压缩弹簧60设于该至少一第一弹性垫体51与该顶板40之间；于实施时，该第一弹性垫体51可以由塑胶、硅胶、橡胶或其他高分子材料模塑成型。

同时配合参照图5所示，本实用新型减震元件在使用时，透过顶板40的螺孔41将整个减震元件安装于所应用设备的结构主体上，除可利用弹性胶套30及第一弹性垫体51缓冲来自弹性胶套30下方的撞击或震动之外，更可配合压缩弹簧60的设置，提供较为可靠的动作行程，使得以完全吸收外部撞击或震动能量，尤其当外部撞击或震动力量消失时，可利用压缩弹簧60所储存的能量令弹性胶套30快速复原，有效提升整体减震元件的吸震效果及反应速度。

据以，尤适合应用于载送晶圆的天井走行式搬送车，有效吸收晶圆储存盒撞击、震动或因为搬送车在加速、停止及转向所产生的G力(G-Force)，避免晶圆遭受碰撞破裂，或者因为晶圆与晶圆储存盒之间发生摩擦，而产生污染晶圆的粉尘或杂质，以相对积极、可靠手段，确保晶圆的产值及产能。

本实用新型的减震元件还可进一步在压缩弹簧60与顶板40之间设有一第二弹性垫体52，借以增加减震效果；或者，进一步在压缩弹簧60两端分别固设一金属垫片61，可在金属垫片61的衬设作用下，降低压缩弹簧60可能对其他元件所造成的磨损，以及可增加压缩弹簧60回复顺畅性。

当然，本实用新型的减震元件也可在压缩弹簧60与顶板40之间设有一第二弹性垫体52，以及在压缩弹簧60两端分别固设一金属垫片61的实施样态呈现为佳。

以及，如图6所示，本实用新型的减震元件，在压缩弹簧60与顶板40之间设有一第二弹性垫体52，以及在压缩弹簧60两端分别固设一金属垫片61的实施样态下，第二弹性垫体52及与该第二弹性垫体52固定接合的金属垫片61，分别设有一通气孔521、611，借以增加整体减震元件的动作效果。

值得一提的是，本实用新型的减震元件，如图7所示，在上述各种实施样态下，弹性胶套30可环设至少一圈弯弧区段33，当弹性胶套30受到挤压时，可利用弯弧区段33成为弹性胶套30配合挤压力量的变形压缩区域，使弹性胶套30的动作更为稳固可靠。

再者，本实用新型的减震元件，在压缩弹簧60与顶板40之间设有一第二弹性垫体52，以及于该压缩弹簧60两端分别固设一金属垫片61的实施样态下，该第一弹性垫体51及第二弹性垫体52可分别与压缩弹簧60两端的金属垫片61固定接合，使整体减震元件的动作更为稳固可靠。

本实用新型的减震元件，在压缩弹簧60与顶板40之间设有一第二弹性垫体52，以及于压缩弹簧60两端分别固设一金属垫片61的实施样态下，又以弹性胶套30环设至少一圈弯弧区段33，以及第一弹性垫体51及第二弹性垫体52分别与压缩弹簧60两端的金属垫片61固定接合的结构型态呈现为佳。

具体而言，本实用新型揭露的减震元件，主要配合压缩弹簧的设置，提供较为可靠的动作行程，当外部撞击或震动力量消失时，可利用压缩弹簧所储存的能量令弹性胶套快速复原，有效提升整体减震元件的吸震效果及反应速度，尤适合应用于载送晶圆的天井走行式搬送车，有效吸收晶圆储存盒撞击、震动或因为搬送车在加速、停止及转向所产生的G力(G-Force)，避免晶圆遭受碰撞破裂，或者因为晶圆与晶圆储存盒之间发生摩擦，而产生污染晶圆的粉尘或杂质，以相对积极、可靠手段，确保晶圆的产值及产能。

上述实施例并非用以限制本实用新型的专利范围，凡未脱离本实用新型技艺精神所为的等效实施或变更，均应包含于本案的专利范围中。实用新型的权利保护范围应如后述的申请专利范围所述。

Claims (8)

1.一种减震元件，其特征在于，包括一弹性胶套、一顶板、至少一第一弹性垫体，以及一压缩弹簧，弹性胶套的内部具有一概呈直筒状的容置空间，弹性胶套的顶部设有一与该容置空间相通的装配口，装配口的口径相对小于容置空间的内径；顶板以将弹性胶套的装配口遮闭的型态安装于弹性胶套的容置空间内，顶板的外径相对大于装配口的口径，顶板上设有至少一螺孔及至少一通气孔；第一弹性垫体设于弹性胶套的容置空间内；压缩弹簧设于第一弹性垫体与该顶板之间。

2.如权利要求1所述的减震元件，其特征在于，压缩弹簧与顶板之间设有一第二弹性垫体。

3.如权利要求1所述的减震元件，其特征在于，压缩弹簧两端分别固设一金属垫片。

4.如权利要求1所述的减震元件，其特征在于，压缩弹簧与顶板之间设有一第二弹性垫体，压缩弹簧两端分别固设一金属垫片。

5.如权利要求1所述的减震元件，其特征在于，压缩弹簧与顶板之间设有一第二弹性垫体，压缩弹簧两端分别固设一金属垫片，第二弹性垫体及与第二弹性垫体固定接合的金属垫片分别设有一通气孔。

6.如权利要求1至5任一项所述的减震元件，其特征在于，所述的弹性胶套环设至少一圈弯弧区段。

7.如权利要求4或5所述的减震元件，其特征在于，所述第一弹性垫体及第二弹性垫体分别与压缩弹簧两端的金属垫片固定接合。

8.如权利要求4或5所述的减震元件，其特征在于，所述弹性胶套环设至少一圈弯弧区段，第一弹性垫体及第二弹性垫体分别与压缩弹簧两端的金属垫片固定接合。