CN208366266U - 一种片盒检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种片盒检测装置，涉及半导体设备制造技术领域，能够解决因片盒变形而引发的撞篮故障。该片盒检测装置包括平台，该平台设置有竖直检测位和水平检测位。其中，竖直检测位与片盒的支撑板的突出部匹配，以便片盒竖直放置于平台上时，支撑板的突出部置于竖直检测位中，且支撑板与平台贴合；水平检测位与片盒的支撑杆匹配，以便片盒水平放置于平台上时，支撑杆置于水平检测位中，且与支撑杆相连的支撑板的一侧与平台贴合。本实用新型适用于对片盒是否变形进行检测。

Description

一种片盒检测装置

技术领域

本实用新型涉及半导体设备制造技术领域，尤其涉及一种片盒检测装置。

背景技术

随着半导体设备制造技术的发展，对于硅片制造而言，自动插片机可以将完成制造的硅片逐片插入片盒中。即自动插片机按照一定时间间隔逐片向片盒中投放硅片。在自动插片机的投放过程中，可以通过诸如升降机、传送带等设备调整片盒相对于自动插片机的水平及竖直位置。

比如，在自动插片机工作过程中，对于同一片盒而言，可以按照自动插片机投放硅片的时间间隔，每间隔单位时间，将该片盒底部(或是顶部)相对于在竖直方向上自动插片机所处高度，向上移动一定距离，以使自动插片机下一次投放的硅片落入该片盒中可放置硅片的区域中。其中，单位时间的大小取决于上述时间间隔，其目的在于确保自动插片机完成上一硅片的投放且在进行下一硅片的投放时，该片盒与自动插片机对应的区域可以用于放置该下一硅片，即在单位时间内片盒移动后，该片盒与自动插片机对应的区域空闲。上述一定距离的大小取决于同一片盒中相邻两个可放置硅片的区域之间的距离，设置该一定距离的目的在于确保针对同一片盒而言，自动插片机完成正常的硅片投放后，能够使该片盒中相邻的放置硅片的区域中均被放置硅片，直至硅片投放结束。同理，在自动插片机工作过程中，对于上一片盒装满的情况而言，该上一片盒可以在单位时间内移动出与自动插片机对应的位置，并且下一片盒在该单位时间内移动至与自动插片机对应的位置，之后自动插片机采用上述相同的硅片投入方式，向该下一片盒中投放硅片。

为了保证自动插片机正常、高效的工作过程，需要保证自动插片机输出端吐出的硅片与片盒中用于放置硅片的区域之间的大小匹配、相对位置匹配。由于片盒在制作过程中或是使用过程中会存在一定几率发生形变，而使用自动插片机将硅片投放到发生形变的片盒，往往会导致硅片与片盒之间产生碰撞，从而导致硅片因无法被投放到片盒中用于放置硅片的区域而弹出，或是磨损硅片、片盒，即生产人员使用变形的片盒在自动插片机上使用，容易造成撞篮故障。

实用新型内容

本实用新型提供一种片盒检测装置，能够解决因片盒变形而引发的撞篮故障。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下实现方式：

本实用新型提供一种片盒检测装置，该片盒检测装置包括平台。其中，平台设置有竖直检测位和水平检测位。竖直检测位与片盒的支撑板的突出部匹配，以便片盒竖直放置于平台上时，支撑板的突出部置于竖直检测位中，且支撑板与平台贴合。水平检测位与片盒的支撑杆匹配，以便片盒水平放置于平台上时，支撑杆置于水平检测位中，且与支撑杆相连的支撑板的一侧与平台贴合。由于平台的台面为水平面，因此，在片盒竖直放置于平台上，将片盒支撑板的突出部置于竖直检测位中之后，工作人员可以借助直角尺，以判断在片盒竖直放置时，片盒的侧面是否与台面垂直，从而确定片盒是否变形。之后工作人员可以筛选出变形的片盒，并对变形的片盒进行校正，从而解决因片盒变形而引发的撞篮故障。

在一种实现方式中，竖直检测位和水平检测位均包括凹槽。

在一种实现方式中，支撑板的突出部为紧固螺丝，竖直检测位的凹槽深度大于紧固螺丝相对于支撑板突出的长度，竖直检测位的凹槽宽度大于紧固螺丝的外径。

在一种实现方式中，竖直检测位的凹槽为U型凹槽。需要说明的是，凹槽的形态可以根据支撑板的突出部的不同而进行调整，还可以根据平台制作工艺的难易程度进行调整等，在此对于影响凹槽形态的因素不一一例举，对于凹槽形态不予限定。

在一种实现方式中，水平检测位的凹槽深度大于支撑杆的横截面的外径，以确保片盒的支撑杆放置在水平检测位的凹槽后，可以使片盒的支撑板的一个侧面与平台贴合，从而使工作人员可以通过判断片盒的侧面与平台是否存在间隙来确定片盒是否变形。

在一种实现方式中，水平检测位的凹槽为条形凹槽，条形凹槽长度大于支撑杆的长度。需要说明的是，水平检测位的形态主要是根据片盒中支撑杆的实际形态进行设置，在本实用新型中，确保水平检测位的凹槽形态与片盒中支撑杆的形态相匹配即可。

在一种实现方式中，条形凹槽包括两个，两个条形凹槽平行。

在一种实现方式中，条形凹槽的长度为500毫米，宽度为10毫米，深度大于5毫米。条形凹槽的尺寸可以根据片盒尺寸、形状的变化而进行调整，在此不予限定。

在一种实现方式中，该装置还包括竖直板。平台上垂直设置有竖直板，竖直板与平台的交线与U型凹槽的至少一条外侧边平行，以便片盒水平放置于平台上时，支撑板的一条外侧边与竖直板贴合。这样在工作人员对片盒进行检测的过程中，无需工作人员借助直角尺等工具对片盒是否变形进行进一步的判断。即竖直板有效替代直角尺等工具，协助工作人员对片盒进行变形检测，有效节省工作人员的操作步骤，提升检测效率。

在一种实现方式中，装置的材质为大理石。由于大理石具有表面光滑，耐用，价格较低的特点，因此，在本实用新型中，可以将大理石作为平台、竖直板的制作材质，以提升片盒检测装置的检测准确率、使用寿命等。当然，还可以采用其他与大理石具有相同或是相似特性的材质，制造片盒检测装置，在此不予限定。

附图说明

图1为本实用新型提供的片盒结构示意图；

图2为本实用新型提供的片盒检测装置示意图一；

图3为本实用新型提供的片盒检测装置示意图二；

图4为本实用新型提供的片盒检测装置示意图三。

附图标记：

1-底部支撑板；

2-顶部支撑板；

3-支撑杆；

4-龙骨；

5-突出部；

6-平台；

7-U型凹槽；

8-条形凹槽；

9-竖直板。

具体实施方式

为了更清楚的阐释本申请的整体构思，下面结合说明书附图以示例的方式进行详细说明。

本实用新型公开了一种片盒检测装置，该片盒检测装置包括平台。其中，平台设置有竖直检测位和水平检测位。在本实用新型中，竖直检测位与片盒的支撑板的突出部匹配，以便片盒竖直放置于平台上时，支撑板的突出部置于竖直检测位中，且支撑板与平台贴合；水平检测位与片盒的支撑杆匹配，以便片盒水平放置于平台上时，支撑杆置于水平检测位中，且与支撑杆相连的支撑板的一侧与平台贴合。

需要说明的是，片盒包括但不限于用于放置硅片的盒子，在本实用新型中，以用于放置硅片的片盒为例进行阐述，但不作为对本实用新型应用范围的限定。

如图1所示为片盒的一种示例性的结构示意图，该片盒包括两个支撑板，分别为底部支撑板1和顶部支撑板2，该片盒还包括两个支撑杆3，以及位于两个侧面的龙骨4。其中，在底部支撑板1上设置有突出部5，具体可以为紧固螺丝。

需要说明的是，片盒包括的支撑杆的数量可以为一个、两个甚至更多；片盒的侧面龙骨的数量及排列形式等不仅限于图1所示的情况；设置有突出部的位置可以为上述片盒的底部支撑板，还可以为片盒的顶部支撑板，或是在片盒的两个支撑板上都设置有突出部。在本实用新型中，对于片盒的结构不予限定，图1示出了一种片盒的示例性结构示意图。

由于平台的台面为水平面，因此，在片盒竖直放置于平台上，将片盒支撑板的突出部置于竖直检测位中之后，工作人员可以借助直角尺，以判断在片盒竖直放置时，片盒的侧面是否与台面垂直，从而确定片盒是否变形。

其中，片盒竖直放置的情况下，在片盒的侧面与台面垂直时，片盒的侧面未变形。此时，平台与直角尺的一条边贴合，片盒的侧面与直角尺的另一条边贴合或是平行。在片盒的侧面与台面呈锐角或是钝角时，片盒的侧面变形，此时，平台与直角尺的一条边贴合，片盒的侧面与直角尺的另一条边部分贴合，或是不贴合且直角尺的延长线与片盒的侧面相交，即片盒的侧面与直角尺的另一条边之间存在或多或少的间隙，且不同位置的间隙大小不同。

同理，在片盒水平放置于平台上，将片盒的支撑杆置于水平检测位中之后，工作人员可以通过判断片盒水平放置时片盒的侧面底边与平台之间是否存在间隙，以判断在片盒水平放置时片盒是否变形。同样的，存在间隙且间隙大小不均则表示片盒变形；不存在间隙或是各个位置的间隙大小均匀的则表示片盒的侧面未变形。

需要说明的是，在片盒竖直放置时，片盒是否变形指的是位于片盒一侧面的龙骨是否向位于片盒另一侧面的龙骨所在平面的方向倾斜；在片盒水平放置时，片盒是否变形指的是位于片盒侧面的一条龙骨是否向同一侧面的另一条龙骨所在位置的方向倾斜。因此，为了实现对片盒是否变形的有效检测，需要分别通过竖直检测位和水平检测位对片盒进行检测。

在本实用新型中，竖直检测位和水平检测位均可以包括凹槽。

比如，在片盒设置有两个支撑板时，这两个支撑板可以为底部支撑板和顶部支撑板。工作人员可以将片盒的底部支撑板或顶部支撑板放在平台上，并将被放在平台上的支撑板的突出部放置于竖直检测位的凹槽中。以工作人员将片盒的底部支撑板放在平台上为例，为了保证底部支撑板能够与平台完全贴合，在本实用新型中，需要将底部支撑板的突出部完全放置于竖直检测位的凹槽中，因此，需要保证竖直检测位的凹槽的深度能够承载该突出部，且保证竖直检测位的凹槽的宽度能够允许突出部放置进凹槽。在一种实现方式中，片盒的支撑板的突出部为紧固螺丝。那么竖直检测位的凹槽深度大于紧固螺丝相对于支撑板突出的长度，竖直检测位的凹槽宽度大于紧固螺丝的外径。

需要说明的是，上述突出部还可以为除紧固螺丝以外的其他部件，比如，用于固定片盒的侧面和支撑板的锁扣等，在此对于突出部的形状、结构等不予限定。对于竖直检测位而言，只要确保该突出部可以被放入凹槽中即可，或者在不影响支撑板与平台完全贴合的情况下，将该突出部的部分置于凹槽中，比如，将该突出部的其余部分置于平台边沿的外部等，在此不予限定。

在本实用新型中，竖直检测位的凹槽可以为U型凹槽。如图2、图3所示，为本实用新型提供的一种片盒检测装置的示例性示意图。平台6上设置有U型凹槽7。如图2所示，该U型凹槽可以以完全封闭的形式被完全设置于平台6中，或者，如图3所示，该U型凹槽可以以开放的形式被设置于平台6中。

再比如，在片盒设置有两个支撑杆时，工作人员可以将如图1所示的片盒的两个支撑杆3分别放置于水平检测位的凹槽中。为了保证片盒中与支撑杆相连的支撑板(即底部支撑板1和顶部支撑板2)的一侧(即底部支撑板1的一侧和顶部支撑板2的一侧)能够与平台6完全贴合，在本实用新型中，需要将两个支撑杆3完全放置于水平检测位的凹槽中。因此，需要保证水平检测位的凹槽深度大于支撑杆3的横截面的外径。并且，为了尽可能降低平台6制造工艺上的难度，水平检测位的凹槽可以设置为条形凹槽8，以保证两个支撑杆3不影响支撑板与平台6的贴合即可。此外，条形凹槽8长度大于支撑杆3的长度。需要说明的是，两个条形凹槽8可以结合两个支撑杆3的位置关系进行设置，比如，在两个支撑杆3平行的情况下，两个条形凹槽8被设置为平行。

在一种实现方式中，条形凹槽8的长度可以设置为500毫米，宽度可以设置为10毫米，深度可以设置为大于5毫米。需要说明的是，上述参数为一种举例，不作为对本实用新型的限定。在制造平台的过程中，可以依据片盒的尺寸对竖直检测位和水平检测位中涉及的凹槽的尺寸进行调整。

为了进一步节省工作人员的操作步骤，降低操作难度，在一种实现方式中，如图4所示，片盒检测装置还包括竖直板9。也就是在平台6上垂直设置有竖直板9，竖直板9与平台6的交线与U型凹槽7的至少一条外侧边平行，以便片盒水平放置于平台6上时，支撑板的一条外侧边与竖直板9贴合。

这样在片盒竖直放置时，工作人员无需借助直角尺，就可以根据片盒侧面与竖直板之间是否存在间隙，以判断片盒是否变形。即竖直板替代了直角尺的功能，辅助工作人员对片盒是否变形进行识别，该竖直板的参照方式可以参考前文对直角尺使用方式的描述，在此不予赘述。

需要说明的是，竖直板与平台可以为一体式结构，也可以为可拆卸的结构，在本实用新型中，对于竖直板与平台之间的连接方式等不予限定。此外，为了节省平台的材料，竖直检测位与水平检测位可以重叠设置，即竖直检测位的凹槽与水平检测位的凹槽可以存在交错、重叠的情况。并且，为了使平台更易于挪运、放置，可以将竖直检测位和水平检测位分别设置在不同平台上，即设置有竖直检测位的平台与设置有水平检测位的平台共同构成片盒检测装置。由此可见，在本实用新型中，对于平台的结构、设计方式等不予限定。

为了使片盒检测装置反复使用，在本实用新型中，片盒检测装置的材质可以选择耐用的材质，此外，为了保证检测结果的准确性，可以尽可能选用表面光滑的材质制作平台、竖直板，比如，大理石等材质。

在片盒检测装置反复使用的过程中，由于竖直检测位和水平检测位中的凹槽容易积尘，而积尘难免会影响检测结果的准确性，以及片盒检测装置的耐用程度，因此，在本实用新型中，可以将凹槽的一端以开放形式设置，比如，如图3所示。这样工作人员可以定期通过诸如刷子等工具对凹槽进行清理，以确保使用过程中的检测准确性。

以上所述仅为本实用新型的示例而已，并不用于限制本实用新型。对于本领域技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的权利要求范围之内。

Claims (10)

1.一种片盒检测装置，其特征在于，所述片盒检测装置包括平台，所述平台设置有竖直检测位和水平检测位；所述竖直检测位与所述片盒的支撑板的突出部匹配，以便所述片盒竖直放置于所述平台上时，所述支撑板的突出部置于所述竖直检测位中，且所述支撑板与所述平台贴合；所述水平检测位与所述片盒的支撑杆匹配，以便所述片盒水平放置于所述平台上时，所述支撑杆置于所述水平检测位中，且与所述支撑杆相连的所述支撑板的一侧与所述平台贴合。

2.根据权利要求1所述的片盒检测装置，其特征在于，所述竖直检测位和所述水平检测位均包括凹槽。

3.根据权利要求2所述的片盒检测装置，其特征在于，所述支撑板的突出部为紧固螺丝，所述竖直检测位的凹槽深度大于所述紧固螺丝相对于所述支撑板突出的长度，所述竖直检测位的凹槽宽度大于所述紧固螺丝的外径。

4.根据权利要求2或3所述的片盒检测装置，其特征在于，所述竖直检测位的凹槽为U型凹槽。

5.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述水平检测位的凹槽深度大于所述支撑杆的横截面的外径。

6.根据权利要求2或5所述的片盒检测装置，其特征在于，所述水平检测位的凹槽为条形凹槽，所述条形凹槽长度大于所述支撑杆的长度。

7.根据权利要求6所述的片盒检测装置，其特征在于，所述条形凹槽包括两个，两个条形凹槽平行。

8.根据权利要求6所述的片盒检测装置，其特征在于，所述条形凹槽的长度为500毫米，宽度为10毫米，深度大于5毫米。

9.根据权利要求4所述的片盒检测装置，所述片盒检测装置还包括竖直板，所述平台上垂直设置有所述竖直板，所述竖直板与所述平台的交线与所述U型凹槽的至少一条外侧边平行，以便所述片盒水平放置于所述平台上时，所述支撑板的一条外侧边与所述竖直板贴合。

10.根据权利要求1-3、5、7-9中任意一项所述的片盒检测装置，所述片盒检测装置的材质为大理石。