CN208293115U - 一种低耗能双循环冷却多芯线圈及硅芯制作设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及多晶硅生产领域，具体涉及一种低耗能双循环冷却多芯线圈及硅芯制作设备。本实用新型提供的低耗能双循环冷却多芯线圈包括外冷却水道以及内冷却水道，在工作过程中，冷却水通过第一连接部的进水通道进入设置在硅芯拉制孔外侧的外冷却水道以及设置在硅芯拉制孔内侧的内冷却水道，并通过出水通道排出，形成双循环冷却对硅芯拉制孔进行冷却，充分保证线圈冷却效果；同时将多个硅芯拉制孔集中设置于加热部，线圈直径总体小，加热硅芯料消耗的功率低，冷却效果好。本实用新型提供的硅芯制作设备，包括上述的低耗能双循环冷却多芯线圈，因此也具有上述的有益效果。

Description

一种低耗能双循环冷却多芯线圈及硅芯制作设备

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产领域，具体涉及一种低耗能双循环冷却多芯线圈及硅芯制作设备。

背景技术

随着世界能源危机的日益严重，绿色能源、能源多元化、可再生能源的利用成了我国可持续发展的战略选择，其中太阳能光伏发电成了当前电力科技者研发的热门课题之一。多晶硅是生产单晶硅的直接原料，是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料，多晶硅纯度越高，电子性能越好，相应光电转换率提高。西门子法多晶硅生长必须依靠硅芯作为生长的载体，在硅芯表面进行化学气相沉积生长多晶硅棒。

目前国内硅芯使用量非常巨大，现有工艺都为五芯或七芯通过给高频线圈通入高频电流，使高频线圈产生电流对硅芯料进行感应加热，加热后的原料棒上端头形成熔化区，然后将籽晶通过拉制孔后插入硅芯料上端的熔化区，然后慢慢提升籽晶，熔化后的原料就会跟随籽晶上升，形成一个新的细圆柱形晶体，这个新的柱形晶体便是硅芯或其他材料晶体的制成品。

实用新型内容

为解决现有技术中的上述问题，本实用新型的目的在于提供一种低耗能双循环冷却多芯线圈。

本实用新型的另一目的在于提供一种具有上述低耗能双循环冷却多芯线圈的硅芯制作设备。

本实用新型的实施例是这样实现的：

一种低耗能双循环冷却多芯线圈，其包括高频线圈、外冷却水道以及内冷却水道；所述高频线圈具备第一连接部、第二连接部以及加热部，所述加热部间隔设置有多个硅芯拉制孔，所述外冷却水道环绕所述硅芯拉制孔外侧设置，所述内冷却水道环绕所述硅芯拉制孔内侧设置；所述第一连接部设置有连通所述内冷却水道以及所述外冷却水道的进水通道，所述第二连接部设置有连通所述内冷却水道以及所述外冷却水道的出水通道。

在本实用新型的一个实施例中：

上述加热部整体设置为具备有中心孔的圆台形，所述硅芯拉制孔围绕所述中心孔等间距排列于所述加热部，相邻所述硅芯拉制孔之间设置有通向所述中心孔的条形间孔；所述第一连接部以及所述第二连接部之间也设置有通向所述中心孔的条形通孔。

在本实用新型的一个实施例中：

沿着靠近上述中心孔的方向所述加热部的一侧形成凹陷面，沿着靠近所述中心孔的方向，所述凹陷面的深度逐渐增加。

在本实用新型的一个实施例中：

上述硅芯拉制孔的个数为五个、七个或九个。

在本实用新型的一个实施例中：

上述硅芯拉制孔设置为水滴形。

在本实用新型的一个实施例中：

上述第一连接部以及所述第二连接部均设置有连接座，所述连接座设置有连接孔。

在本实用新型的一个实施例中：

上述低耗能双循环冷却多芯线圈还包括地线连接机构，所述地线连接机构连接于所述加热部外边缘。

在本实用新型的一个实施例中：

上述高频线圈采用铜材料制成。

在本实用新型的一个实施例中：

上述高频线圈外侧镀有银膜。

一种硅芯制作设备，其包括上述任意一种低耗能双循环冷却多芯线圈。

本实用新型实施例的有益效果是：

本实用新型的实施例中提供的低耗能双循环冷却多芯线圈，其包括高频线圈、外冷却水道以及内冷却水道；所述高频线圈具备第一连接部、第二连接部以及加热部，所述加热部间隔设置有多个硅芯拉制孔，所述外冷却水道环绕所述硅芯拉制孔外侧设置，所述内冷却水道环绕所述硅芯拉制孔内侧设置；所述第一连接部设置有连通所述内冷却水道以及所述外冷却水道的进水通道，所述第二连接部设置有连通所述内冷却水道以及所述外冷却水道的出水通道。本实用新型的实施例中提供的低耗能双循环冷却多芯线圈包括外冷却水道以及内冷却水道，在工作过程中，冷却水通过第一连接部的进水通道进入设置在硅芯拉制孔外侧的外冷却水道以及设置在硅芯拉制孔内侧的内冷却水道，并通过出水通道排出，形成双循环冷却对硅芯拉制孔进行冷却，充分保证线圈冷却效果；同时将多个硅芯拉制孔集中设置于加热部，线圈直径总体小，加热硅芯料消耗的功率低，冷却效果好。

本实用新型提供的硅芯制作设备，包括上述的低耗能双循环冷却多芯线圈，因此也具有上述的有益效果。

附图说明

为了更清楚的说明本实用新型实施例的技术方案，下面对实施例中需要使用的附图作简单介绍。应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施方式，不应被看作是对本实用新型范围的限制。对于本领域技术人员而言，在不付出创造性劳动的情况下，能够根据这些附图获得其他附图。

图1为本实用新型实施例1提供的低耗能双循环冷却多芯线圈的整体结构示意图。

图标：10-低耗能双循环冷却多芯线圈；100-高频线圈；110-第一连接部；112-进水通道；114-连接座；120-第二连接部；122-出水通道；130-加热部；132-硅芯拉制孔；134-中心孔；136-条形间孔；138-条形通孔；200-外冷却水道；300-内冷却水道；400-地线连接机构。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，若出现术语“中心”、“上”、“下”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，本实用新型的描述中若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，本实用新型的描述中若出现术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例1：

请参照图1，本实施例提供一种低耗能双循环冷却多芯线圈10，其包括高频线圈100、外冷却水道200以及内冷却水道300；所述高频线圈100具备第一连接部110、第二连接部120以及加热部130，所述加热部130间隔设置有多个硅芯拉制孔132，所述外冷却水道200环绕所述硅芯拉制孔132外侧设置，所述内冷却水道300环绕所述硅芯拉制孔132内侧设置；所述第一连接部110设置有连通所述内冷却水道300以及所述外冷却水道200的进水通道112，所述第二连接部120设置有连通所述内冷却水道300以及所述外冷却水道200的出水通道122。

本实用新型的实施例中提供的低耗能双循环冷却多芯线圈10，其包括高频线圈100、外冷却水道200以及内冷却水道300；所述高频线圈100具备第一连接部110、第二连接部120以及加热部130，所述加热部130间隔设置有多个硅芯拉制孔132，所述外冷却水道200环绕所述硅芯拉制孔132外侧设置，所述内冷却水道300环绕所述硅芯拉制孔132内侧设置；所述第一连接部110设置有连通所述内冷却水道300以及所述外冷却水道200的进水通道112，所述第二连接部120设置有连通所述内冷却水道300以及所述外冷却水道200的出水通道122。本实用新型的实施例中提供的低耗能双循环冷却多芯线圈10包括外冷却水道200以及内冷却水道300，在工作过程中，冷却水通过第一连接部110的进水通道112进入设置在硅芯拉制孔132外侧的外冷却水道200以及设置在硅芯拉制孔132内侧的内冷却水道300，并通过出水通道122排出，形成双循环冷却对硅芯拉制孔132进行冷却，充分保证线圈冷却效果；同时将多个硅芯拉制孔132集中设置于加热部130，线圈直径总体小，加热硅芯料消耗的功率低，冷却效果好。

在本实施例中，所述加热部130整体设置为具备有中心孔134的圆台形，所述硅芯拉制孔132围绕所述中心孔134等间距排列于所述加热部130，相邻所述硅芯拉制孔132之间设置有通向所述中心孔134的条形间孔136；所述第一连接部110以及所述第二连接部120之间也设置有通向所述中心孔134的条形通孔138。

需要说明的，在本实施例中，将硅芯拉制孔132围绕所述中心孔134等间距排列于所述加热部130，硅芯拉制孔132分布均匀，使得电流分布较为合理，拉制的硅芯直径均匀。

还需要说明的，在本实施例中，相邻所述硅芯拉制孔132之间设置有通向所述中心孔134的条形间孔136；所述第一连接部110以及所述第二连接部120之间也设置有通向所述中心孔134的条形通孔138，便于使内冷却水道300环绕硅芯拉制孔132内侧边缘设置，也即形成Y型内冷却水道300，进一步增加冷却的范围，提高冷却效果。

在本实施例中，沿着靠近所述中心孔134的方向所述加热部130的一侧形成凹陷面，沿着靠近所述中心孔134的方向，所述凹陷面的深度逐渐增加。设置凹陷面便于集中电流更好滴加热拉制多晶硅硅芯。

在本实施例中，所述硅芯拉制孔132的个数为五个、七个或九个。

需要说明的，这里并不对硅芯拉制孔132的数量进行限定，可以理解的，在其他具体实施例中，也可以根据用户的需求，将硅芯拉制孔132的数量设置为三个或十一个等。

在本实施例中，所述硅芯拉制孔132设置为水滴形。将硅芯拉制孔132设置为水滴形可使拉制硅芯椭圆度降低，拉制的硅芯圆度好。

在本实施例中，所述第一连接部110以及所述第二连接部120均设置有连接座114，所述连接座114设置有连接孔。

在本实施例中，所述低耗能双循环冷却多芯线圈10还包括地线连接机构400，所述地线连接机构400连接于所述加热部130外边缘。设置地线连接机构400可有效地提高低耗能双循环冷却多芯线圈10的安全性能。

在本实施例中，所述高频线圈100采用铜材料制成。将高频线圈100采用铜材料制成可保证其较好的导电性能。

在本实施例中，所述高频线圈100外侧镀有银膜。在所述高频线圈100外侧镀有银膜可进一步提高高频线圈100的导电性能。

本实用新型的实施例中提供的低耗能双循环冷却多芯线圈10，其包括高频线圈100、外冷却水道200以及内冷却水道300；所述高频线圈100具备第一连接部110、第二连接部120以及加热部130，所述加热部130间隔设置有多个硅芯拉制孔132，所述外冷却水道200环绕所述硅芯拉制孔132外侧设置，所述内冷却水道300环绕所述硅芯拉制孔132内侧设置；所述第一连接部110设置有连通所述内冷却水道300以及所述外冷却水道200的进水通道112，所述第二连接部120设置有连通所述内冷却水道300以及所述外冷却水道200的出水通道122。本实用新型的实施例中提供的低耗能双循环冷却多芯线圈10包括外冷却水道200以及内冷却水道300，在工作过程中，冷却水通过第一连接部110的进水通道112进入设置在硅芯拉制孔132外侧的外冷却水道200以及设置在硅芯拉制孔132内侧的内冷却水道300，并通过出水通道122排出，形成双循环冷却对硅芯拉制孔132进行冷却，充分保证线圈冷却效果；同时将多个硅芯拉制孔132集中设置于加热部130，线圈直径总体小，加热硅芯料消耗的功率低，冷却效果好。

实施例2：

本实施例提供一种硅芯制作设备，包括上述的低耗能双循环冷却多芯线圈10。

本实用新型提供的硅芯制作设备，包括上述的低耗能双循环冷却多芯线圈10，因此也具有上述的有益效果。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种低耗能双循环冷却多芯线圈，其特征在于，所述低耗能双循环冷却多芯线圈包括高频线圈、外冷却水道以及内冷却水道；所述高频线圈具备第一连接部、第二连接部以及加热部，所述加热部间隔设置有多个硅芯拉制孔，所述外冷却水道环绕所述硅芯拉制孔外侧设置，所述内冷却水道环绕所述硅芯拉制孔内侧设置；所述第一连接部设置有连通所述内冷却水道以及所述外冷却水道的进水通道，所述第二连接部设置有连通所述内冷却水道以及所述外冷却水道的出水通道。

2.根据权利要求1所述的低耗能双循环冷却多芯线圈，其特征在于，所述加热部整体设置为具备有中心孔的圆台形，所述硅芯拉制孔围绕所述中心孔等间距排列于所述加热部，相邻所述硅芯拉制孔之间设置有通向所述中心孔的条形间孔；所述第一连接部以及所述第二连接部之间也设置有通向所述中心孔的条形通孔。

3.根据权利要求2所述的低耗能双循环冷却多芯线圈，其特征在于，沿着靠近所述中心孔的方向所述加热部的一侧形成凹陷面，沿着靠近所述中心孔的方向，所述凹陷面的深度逐渐增加。

4.根据权利要求1所述的低耗能双循环冷却多芯线圈，其特征在于，所述硅芯拉制孔的个数为五个、七个或九个。

5.根据权利要求1所述的低耗能双循环冷却多芯线圈，其特征在于，所述硅芯拉制孔设置为水滴形。

6.根据权利要求1所述的低耗能双循环冷却多芯线圈，其特征在于，所述第一连接部以及所述第二连接部均设置有连接座，所述连接座设置有连接孔。

7.根据权利要求1所述的低耗能双循环冷却多芯线圈，其特征在于，所述低耗能双循环冷却多芯线圈还包括地线连接机构，所述地线连接机构连接于所述加热部外边缘。

8.根据权利要求1所述的低耗能双循环冷却多芯线圈，其特征在于，所述高频线圈采用铜材料制成。

9.根据权利要求1所述的低耗能双循环冷却多芯线圈，其特征在于，所述高频线圈外侧镀有银膜。

10.一种硅芯制作设备，其特征在于，所述硅芯制作设备包括权利要求1至9任意一项所述的低耗能双循环冷却多芯线圈。