CN208289173U - 一种用于金属靶材绑定的智能箱式炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种加热器，具体涉及一种用于金属靶材绑定的智能箱式炉，包括外箱体、底座、焊剂箱、加热器、测温元件、控制箱、温度控制器、定时器和报警器，其特征在于，所述的底座下方设置有滚轮，所述的滚轮上设置有制动杆，所述的底座上设置有控制箱，所述的外箱体底部固定在底座上，所述的外箱体和焊剂箱之间形成加热腔体，所述的焊剂箱放置在加热腔体中，所述的焊剂箱上设置顶盖，所述的加热腔体的底面和每个侧面设置加热器，所述的加热腔体内填充保温材料，所述的焊剂箱中设置有测温元件。本实用新型能够均匀加热焊剂，提高绑定效率。

Description

一种用于金属靶材绑定的智能箱式炉

技术领域

本实用新型涉及一种加热器，具体涉及一种用于金属靶材绑定的智能箱式炉。

背景技术

20世纪90年代以来，随着溅射技术的不断发展，各种溅射膜极大地满足了各种新型电子元器件发展的需求，特别在微电子、显示器、存储等领域，得到了广泛的应用。目前的各种溅射薄膜主要采用真空磁控溅射法来生产，在生产的过程中，先对靶材进行绑定，然后在高真空室中充入所需要的惰性气体，在被溅射的靶极与阳极之间加一个正交磁场和电场，在电场的作用下，惰性气体电离成正离子和电子，离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面，以很高的速度轰击靶面，使靶上被溅射出来的原子以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。

在靶材和背板绑定时，需要将焊料加热熔化，均匀地涂在靶材和背板上，冷却后两者得到牢固的结合，目前的做法是在绑定平台上，将焊料加热熔化，然后进行绑定。这种做法，生产效率低，焊料的加热不是很充分，容易产生应力造成靶材开裂，在使用过程中会造成绑定不牢，进而影响最终产品的质量，同时焊料在加热过程中容易氧化，绑定不好导致脱绑，因此，解决靶材绑定效率及焊料加热过久高温氧化的问题就显得尤为重要了。

实用新型内容

为克服上述缺陷，本实用新型的目的在于提供一种能够均匀加热焊剂，提高生产效率的用于金属靶材绑定的智能箱式炉。

本实用新型是通过如下技术方案实现的：

一种用于金属靶材绑定的智能箱式炉，包括外箱体，还包括底座、焊剂箱、加热器、测温元件、控制箱、温度控制器、定时器、报警器和电源开关，所述的底座下方设置有滚轮，所述的滚轮上设置有制动杆，所述的外箱体底部固定在底座上，所述的外箱体和焊剂箱之间形成加热腔体，所述的焊剂箱放置在加热腔体中，所述的焊剂箱上设置顶盖，所述的加热腔体的底面和侧面设置加热器，所述的加热腔体内填充保温材料，所述的焊剂箱中设置有测温元件，所述底座上设置有控制箱，所述控制箱上设置温度控制器、定时器和报警器，所述的测温元件、加热器、温度控制器、定时器、报警器、电源开关通过导线和控制箱连接在一起。

优选地，所述的加热器为U型加热器。

优选地，所述的加热腔体的底面设置4支U型加热器，所述的加热腔体的每个侧面上各设置2支U型加热器。

优选地，所述的测温元件为热电耦。

优选地，所述的控制箱上设置有安培小时控制仪。

本实用新型的积极有益效果：

1. 本实用新型一种用于金属靶材绑定的智能箱式炉，包括外箱体，还包括底座、焊剂箱、加热器、测温元件、控制箱、温度控制器、定时器、报警器和电源开关，所述的底座下方设置有滚轮，所述的滚轮上设置有制动杆，所述的外箱体底部固定在底座上，所述的外箱体和焊剂箱之间形成加热腔体，所述的焊剂箱放置在加热腔体中，所述的焊剂箱上设置顶盖，所述的焊剂箱可以取出，所述的加热腔体的底面和侧面设置加热器，所述的加热腔体内填充保温材料，所述的焊剂箱中设置有测温元件，所述控制箱设置所述底座上，所述控制箱上设置温度控制器、定时器和报警器，所述的热电耦、加热器、温度控制器、定时器、报警器通过导线和控制箱连接在一起。滚轮可以根据工作的需要移动智能箱式炉的位置，方便操作，减少移动距离，制动杆可以固定智能箱式炉的位置，避免因误操作引起的移动；加热腔体的底面和侧面设置加热器，加热腔体内填充保温材料，可以通过加热器对箱体进行加热，并且通过保温材料，保持热量的利用效摔，降低成本；焊剂箱中设置有测温元件，可以控制焊剂箱的温度，对适时温度进行监控，确保工艺条件的稳定，提高成品率；底座上设置有控制箱，控制箱上设置温度控制器、定时器和报警器，测温元件、加热器、温度控制器、定时器、报警器、电源开关通过导线和控制箱连接在一起，通过定时器、报警器，可以减少人工操作的误差，提高系统的稳定性。

本实用新型提供了一种能够均匀加热焊料，提高生产效率的用于金属靶材绑定的智能箱式炉。

2. 本实用新型加热器为U型加热器，加热腔体的底面设置4支U型加热器，加热腔体的每个侧面上各设置2支U型加热器，可以保证箱体的加热均匀，减少焊剂箱局部温度过高对焊剂造成的损失，提高产出率。所述的测温元件为热电耦，测温准确度高。在控制箱上设置安培小时仪，可以适时监控系统的运行情况，减少因加热器失效带来的浪费。

附图说明

图1为本实用新型实施例1一种用于金属靶材绑定的智能箱式炉的结构示意图；

图2为本实用新型实施例1一种用于金属靶材绑定的智能箱式炉的剖面图；

图3为本实用新型实施例1一种用于金属靶材绑定的智能箱式炉焊剂箱的结构示意图；

图4为本实用新型实施例1一种用于金属靶材绑定的智能箱式炉控制箱的结构示意图；

图5为本实用新型实施例2一种用于金属靶材绑定的智能箱式炉控制箱的结构示意图；

图中：1-底座，2-外箱体，3-保温层，4-焊剂箱，5-加热器，6-测温元件，7-控制箱，8-顶盖，9-制动杆，10-滚轮，11-温度控制器、12-定时器、13-报警器，14-电源开关，15-安培小时控制仪。

具体实施方式

下面结合一些具体实施例对本实用新型进一步说明。

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，结合图1-5及具体实施方式，对本实用新型进行进一步的详细说明，应当理解，此处所描述的具体实施方式仅用于解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例1

参见图1~4，一种用于金属靶材绑定的智能箱式炉，包括外箱体2、底座1、焊剂箱4、加热器5、保温材料3、测温元件6、控制箱7、温度控制器11、定时器12、报警器13和电源开关14，底座1下方设置有滚轮10，滚轮10上设置有制动杆9，可以根据工作的需要移动智能箱式炉的位置，方便操作，减少移动距离，制动杆9可以固定智能箱式炉的位置，避免因误操作引起的移动；外箱体2底部固定在底座1上，外箱体2和焊剂箱4之间形成加热腔体，加热腔体中设置有加热器5，加热腔体内填充保温材料，加热器5采用U型加热器，加热腔体底面上设置4支U型加热器5，每个侧面上各设置2支U型加热器5，可以保证加热腔体内受热均匀，减少焊剂箱4局部温度过高对焊剂造成的损失，提高产出率；可以通过加热器5对焊剂箱4进行加热，并且通过保温材料3，保持热量的利用效率，降低成本；焊剂箱4放置在加热腔体中，焊剂箱4上设置有顶盖8，焊剂箱4可以取出，焊剂箱4中设置有测温元件6，测温元件6采用热电耦，可以控制焊剂箱4中焊剂的温度，对适时温度进行监控，确保工艺条件的稳定，提高成品率，底座1上设置控制箱7，加热器5、测温元件6、温度控制器11、定时器12、报警器13、电源开关14通过导线和控制箱7连接在一起，通过定时器12、报警器13，可以减少人工操作的误差，提高系统的稳定性。

使用时，将焊剂箱4放入外箱体1中，将热电耦一端通过导线连接在控制箱7中，一端放入焊剂箱4中，然后将焊剂放置在焊剂箱4中，在控制箱中通过温度控制器11设置好需要的温度，通过定时器12设置好需要的加热时间，盖上顶盖8，按下电源开关14，对焊剂进行加热，到达指定时间时，报警器13发出提示音，工作人员听到提示音后，关掉电源开关14，取出焊剂箱，进行绑定作业。

实施例2

参见图5，本实施例一种用于金属靶材绑定的智能箱式炉结构与实施例1结构相似，相同之处不重述，有些不同的是：在控制箱7上设置安培小时仪15，可以适时监控系统的运行情况，减少因加热器5失效造成的工艺条件不稳定。

最后说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案所做的其他修改或者等同替换，只要不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。

Claims (5)

1.一种用于金属靶材绑定的智能箱式炉，包括外箱体，其特征在于，还包括底座、焊剂箱、加热器、测温元件、控制箱、温度控制器、定时器和报警器，所述的底座下方设置有滚轮，所述的滚轮上设置有制动杆，所述的底座上设置有控制箱，所述的外箱体底部固定在底座上，所述的外箱体和焊剂箱之间形成加热腔体，所述的焊剂箱放置在加热腔体中，所述的焊剂箱上设置顶盖，所述的加热腔体的底面和每个侧面设置加热器，所述的加热腔体内填充保温材料，所述的焊剂箱中设置有测温元件，所述控制箱上设置温度控制器、定时器、报警器和电源开关，所述的测温元件、加热器、温度控制器、定时器、报警器、电源开关通过导线和控制箱连接在一起。

2.根据权利要求1所述的一种用于金属靶材绑定的智能箱式炉，其特征在于，所述的加热器为U型加热器。

3.根据权利要求2所述的一种用于金属靶材绑定的智能箱式炉，其特征在于，所述的加热腔体的底面设置4支U型加热器，所述的加热腔体的每个侧面上各设置2支U型加热器。

4.根据权利要求1所述的一种用于金属靶材绑定的智能箱式炉，其特征在于，所述的测温元件为热电耦。

5.根据权利要求1所述的一种用于金属靶材绑定的智能箱式炉，其特征在于，所述控制箱上设置有安培小时控制仪。