CN208261497U - 一种抛光片超声清洗用单片竖插装置 - Google Patents

一种抛光片超声清洗用单片竖插装置 Download PDF

Info

Publication number
CN208261497U
CN208261497U CN201820537424.5U CN201820537424U CN208261497U CN 208261497 U CN208261497 U CN 208261497U CN 201820537424 U CN201820537424 U CN 201820537424U CN 208261497 U CN208261497 U CN 208261497U
Authority
CN
China
Prior art keywords
monolithic
erects
silicon wafer
support frame
ultrasonic cleaning
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201820537424.5U
Other languages
English (en)
Inventor
孟为民
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
FEITEJING (NANJING) ELECTRONICS Co Ltd
Original Assignee
FEITEJING (NANJING) ELECTRONICS Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by FEITEJING (NANJING) ELECTRONICS Co Ltd filed Critical FEITEJING (NANJING) ELECTRONICS Co Ltd
Priority to CN201820537424.5U priority Critical patent/CN208261497U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN208261497U publication Critical patent/CN208261497U/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

本实用新型提供一种抛光片超声清洗用单片竖插装置,具体涉及抛光加工技术领域,包括1个支撑架和2个并列设置的第一固定板,所述支撑架的两端垂直设有所述第一固定板,所述支撑架上设有多个用于晶片插入的插孔,所述支撑架上并列设有若干槽杆,所述槽杆沿长度方向等距设有若干卡槽,相邻的两个所述槽杆上的相邻的两个所述卡槽构成所述插孔。本实用新型设有多个独立的插孔,确保每一晶片单独插入到所述插孔内,避免了片与片之间的重叠问题,增大晶片和清洗液的接触面积,晶片容易竖插,不易误碰折断。

Description

一种抛光片超声清洗用单片竖插装置
技术领域
本实用新型属于抛光加工技术领域,具体涉及一种抛光片超声清洗用单片竖插装置。
背景技术
精密石英研磨片的抛光加工工艺中,在抛光加工结束后,晶片也就是抛光片表面会附着残留的抛光液,抛光液的成份包括抛光粉、水、防锈液等。需要将其超声清洗去除。
传统的清洗方式,晶片放入塑料篮筐内,塑料框再放入超声波清洗机内,晶片在框内相互重叠,重叠处由于清洗液不易进入及超声功率衰减等原因,清洗后仍存在抛光液油粉残留,不能彻底清除残留物。
因此急需一种能够解决现有问题的代替传统的塑料篮筐的抛光片超声清洗用单片竖插装置。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种抛光片超声清洗用单片竖插装置,确保每一晶片单独插入到所述插孔内,避免了片与片之间的重叠问题,增大晶片和清洗液的接触面积,满足清洗后的晶片洁净度要求。
本实用新型提供了如下的技术方案:
一种抛光片超声清洗用单片竖插装置,包括1个支撑架和2个并列设置的第一固定板,所述支撑架的两端垂直设有所述第一固定板,所述支撑架上设有多个用于晶片插入的插孔,所述支撑架上并列设有若干槽杆,所述槽杆沿长度方向等距设有若干卡槽,相邻的两个所述槽杆上的相邻的两个所述卡槽构成所述插孔。设有多个独立的插孔,确保每一晶片单独插入到所述插孔内,避免了片与片之间的重叠问题,增大晶片和清洗液的接触面积,晶片容易竖插,不易误碰折断。
优选的,所述支撑架由多个并列的支撑底杆组成,所述支撑底杆与所述槽杆平行,所述支撑底杆位于相邻的两个所述槽杆的中间的正下方。一种支撑架的组成形式。
优选的,所述支撑底杆和所述槽杆均为圆柱形,所述卡槽为圆环形,一个所述卡槽沿所述槽杆周向分布。圆柱形的所述支撑底杆和圆环形的所述卡槽,使得所述支撑底杆上不易积沙。
优选的,所述槽杆的直径为15mm,所述支撑底杆的直径为10mm,相邻的两个所述槽杆的轴线之间的距离为22mm,所述卡槽的深度为2.5mm。能够适合长宽各为10mm的晶片的使用。对于不同规格的晶片应当适当修改尺寸。
优选的,所述槽杆和所述支撑底杆均由工程塑料制成。在保证强度的同时兼具柔性,与晶片碰触过程中起缓冲作用,不致碎裂。
优选的,所述支撑底杆和所述槽杆的两端均通过螺栓固定在所述第一固定板上。
优选的,所述第一固定板的上部和底部分别设有叠加口和凸起,所述叠加口和所述凸起的形状相匹配。可以叠加使用该装置,通过位于上一层的该装置上的所述第一固定板上的底部的所述凸起插入到位于下一层的该装置上的所述第一固定板上的所述开口内,相互尺寸定位配合即可多层使用。
优选的,所述支撑架的中部设有第二固定板,所述第二固定板与所述第一固定板并列设置。增加该装置的牢固性。尤其是叠加使用时的牢固性。
本实用新型的有益效果是:确保每一晶片单独插入到所述插孔内,避免了片与片之间的重叠问题,增大晶片和清洗液的接触面积;晶片容易竖插,不易误碰折断。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
图1是本实用新型的俯视图;
图2是本实用新型的主视图。
其中图中标记为:1、支撑架;2、第一固定板;3、第二固定板;4、插孔;5、槽杆;6、卡槽;7、支撑底杆;8、螺栓;9、叠加口;10、晶片。
具体实施方式
如图1-2所示,一种抛光片超声清洗用单片竖插装置,包括1个支撑架1和2个并列设置的第一固定板2,支撑架1的两端垂直设有第一固定板2,支撑架1的中部设有第二固定板3,第二固定板3与第一固定板2并列设置。增加该装置的牢固性。尤其是叠加使用时的牢固性。支撑架1上设有多个用于晶片10插入的插孔4,支撑架1上并列设有若干槽杆5,槽杆5沿长度方向等距设有若干卡槽6,相邻的两个槽杆5上的相邻的两个卡槽6构成插孔4。设有多个独立的插孔4,确保每一晶片10单独插入到插孔4内,避免了片与片之间的重叠问题,增大晶片10和清洗液的接触面积,晶片10容易竖插,不易误碰折断。其中,支撑架1由多个并列的支撑底杆7组成,支撑底杆7与槽杆5平行,支撑底杆7位于相邻的两个槽杆5的中间的正下方。支撑底杆7和槽杆5均为圆柱形,卡槽6为圆环形,一个卡槽6沿槽杆5周向分布。圆柱形的支撑底杆7和圆环形的卡槽6,使得支撑底杆7上不易积沙。槽杆5和支撑底杆7均由工程塑料制成。在保证强度的同时兼具柔性,与晶片10碰触过程中起缓冲作用,不致碎裂。
具体的,槽杆5的直径为15mm,支撑底杆7的直径为10mm,相邻的两个槽杆5的轴线之间的距离为22mm,卡槽6的深度为2.5mm。能够适合长宽各为10mm的晶片10的使用。对于不同规格的晶片10应当适当修改尺寸。
具体的,支撑底杆7和槽杆5的两端均通过螺栓8固定在第一固定板2上。
该装置可以叠加使用,具体的结构改进是:第一固定板2的上部和底部分别设有叠加口9和凸起,叠加口9和凸起的形状相匹配。叠加使用该装置,是通过位于上一层的该装置上的第一固定板2上的底部的凸起插入到位于下一层的该装置上的第一固定板2上的开口内,相互尺寸定位配合即可多层使用。
使用方法:
拇指和食指轻捏方形晶片10两面,调整晶片10至竖直方向,对准插孔4(有支撑底杆7的相邻的两个槽杆5上的相邻的两个卡槽6组成)缓慢插入,过程中勿使晶片10碰触卡槽6边缘,以防止碎裂,全部插孔4插满后,手拿支撑架1的两端的第一固定板2,送至超声清洗、脱水和烘干过程。完成后翻转该装置倒出晶片10即可。该装置可重复进行下一次清洗动作。
本实施例的优点:
1、增大晶片10和清洗液的接触面积;
2、晶片10容易竖插,不易误碰折断;
3、支撑底杆7上不易积砂;
4、清洗架的材料为工程塑料,在保证强度的同时兼具柔性,与晶片10碰触过程中起缓冲作用,不致碎裂;
5、该装置可叠加多层使用。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种抛光片超声清洗用单片竖插装置,其特征在于,包括1个支撑架和2个并列设置的第一固定板,所述支撑架的两端垂直设有所述第一固定板,所述支撑架上设有多个用于晶片插入的插孔,所述支撑架上并列设有若干槽杆,所述槽杆沿长度方向等距设有若干卡槽,相邻的两个所述槽杆上的相邻的两个所述卡槽构成所述插孔。
2.根据权利要求1所述的抛光片超声清洗用单片竖插装置,其特征在于,所述支撑架由多个并列的支撑底杆组成,所述支撑底杆与所述槽杆平行,所述支撑底杆位于相邻的两个所述槽杆的中间的正下方。
3.根据权利要求2所述的抛光片超声清洗用单片竖插装置,其特征在于,所述支撑底杆和所述槽杆均为圆柱形,所述卡槽为圆环形,一个所述卡槽沿所述槽杆周向分布。
4.根据权利要求3所述的抛光片超声清洗用单片竖插装置,其特征在于,所述槽杆的直径为15mm,所述支撑底杆的直径为10mm,相邻的两个所述槽杆的轴线之间的距离为22mm,所述卡槽的深度为2.5mm。
5.根据权利要求2所述的抛光片超声清洗用单片竖插装置,其特征在于,所述槽杆和所述支撑底杆均由工程塑料制成。
6.根据权利要求2所述的抛光片超声清洗用单片竖插装置,其特征在于,所述支撑底杆和所述槽杆的两端均通过螺栓固定在所述第一固定板上。
7.根据权利要求1所述的抛光片超声清洗用单片竖插装置,其特征在于,所述第一固定板的上部和底部分别设有叠加口和凸起,所述叠加口和所述凸起的形状相匹配。
8.根据权利要求1-7任意一项所述的抛光片超声清洗用单片竖插装置,其特征在于,所述支撑架的中部设有第二固定板,所述第二固定板与所述第一固定板并列设置。
CN201820537424.5U 2018-04-16 2018-04-16 一种抛光片超声清洗用单片竖插装置 Expired - Fee Related CN208261497U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201820537424.5U CN208261497U (zh) 2018-04-16 2018-04-16 一种抛光片超声清洗用单片竖插装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201820537424.5U CN208261497U (zh) 2018-04-16 2018-04-16 一种抛光片超声清洗用单片竖插装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN208261497U true CN208261497U (zh) 2018-12-21

Family

ID=64677378

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201820537424.5U Expired - Fee Related CN208261497U (zh) 2018-04-16 2018-04-16 一种抛光片超声清洗用单片竖插装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN208261497U (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114160483A (zh) * 2022-01-24 2022-03-11 新昌县隆豪轴承有限公司 一种用于空调轴承套圈加工的清洗方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114160483A (zh) * 2022-01-24 2022-03-11 新昌县隆豪轴承有限公司 一种用于空调轴承套圈加工的清洗方法
CN114160483B (zh) * 2022-01-24 2022-10-11 新昌县隆豪轴承有限公司 一种用于空调轴承套圈加工的清洗方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN208261497U (zh) 一种抛光片超声清洗用单片竖插装置
CN205570910U (zh) 一种机床零件超声波清洗装置
CN102601092A (zh) 一种酒瓶自动清洗装置
CN202479183U (zh) 一种酒瓶自动清洗装置
CN205728671U (zh) 一种多功能刷子
CN203158896U (zh) 摆片台
CN206705962U (zh) 一种钢化架齿条
CN208261413U (zh) 研磨片超声清洗用清洗架
CN206169873U (zh) 一种改良的扫光磨皮
CN205269107U (zh) 一种天然产物超声提取装置
CN202555540U (zh) 一种超声波药瓶清洗装置
CN107350183A (zh) 一种玻璃清洗机的二次清洁装置
CN207669595U (zh) 一种大口径塑料桶分割机
CN208355150U (zh) 一种带杯套的杯子
CN208744462U (zh) 一种新型骨瓷外壁抛光机
CN104465466B (zh) 一种多尺寸led芯片兼容石英清洗提篮
CN204120700U (zh) 一种应用在洗碗机、洗碗消毒机上的新型餐具
CN211194963U (zh) 一种热熔器支撑座
CN204034945U (zh) 擦油治具
CN205217538U (zh) 一种酒瓶瓶身清洗防倾倒装置
CN205699588U (zh) 白土脱色罐
CN203173479U (zh) 一种磨边钻孔清洗一体机
CN202461081U (zh) 用于硅片清洗的中转水槽结构
CN204912236U (zh) 硅片清洗篮
CN205852547U (zh) 一种蒙砂机

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20181221