CN208218952U - 微通道板镀膜辅助支撑套及微通道板镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型是关于一种微通道板镀膜辅助支撑套及微通道板镀膜设备，涉及微通道板镀膜设备领域。主要采用的技术方案为：微通道板镀膜辅助支撑套，其包括：支撑部，所述支撑部为盘状且中部设置有通孔，所述支撑部的边沿下表面用于可拆卸的连接在镀膜设备的工件架上；安装部，所述安装部包括设置在所述通孔内壁上的凸沿，用于安装待镀膜的微通道板；其中，所述支撑部的边沿下表面与所述凸沿的安装面相距预定距离。本实用新型实施例提供的微通道板镀膜辅助支撑套不仅具有结构简单，操作方便的特点，还能够适用于对不同外形、不同镀膜深度的微通道板镀膜，提高了不同型号大小微通道板的生产灵活性，使一台镀膜设备具有对应处理多种型号微通道板的功能。

Description

微通道板镀膜辅助支撑套及微通道板镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及微通道板镀膜设备领域，特别是涉及一种微通道板镀膜辅助支撑套及微通道板镀膜设备。

背景技术

微通道板(Microchannel Plate，MCP)是一种以玻璃薄片为基片，在基片上以数微米到十几微米的空间周期，以六角形周期排布孔径比空间周期略小的微孔，微通道板能够用于高性能夜视像增强器，以及用于增强电子图像功能的电子倍增器中。

其中，为了使微通道板具有倍增的技术效果，微通道板上的通道进出口处均需设置电极，该电极通过镀膜的方式进行设置。现有技术中镀制电极膜层时是将微通道板放置在工件架上，并通过工件架将微通道板设置成与电极膜料蒸发源预定的角度，之后进行镀膜的工作。

但是，由于不同型号的微通道板其镀制的电极膜层相对于通道口的深度有不同的要求，需要调整微通道板相对电极膜料蒸发源之间的角度来达到镀制不同深度电极膜层的目的，而现有的工件架在调整微通道板的设置角度时需要调整工件架，但其要求精度高、操作复杂、非常麻烦，或者不能够调整设置角度，进而导致一台镀膜设备仅能够对应的进行一种型号的微通道板镀膜工作，给微通道板生产造成了极大不便，也严重地浪费了镀膜设备资源，需要进一步的研发解决这一技术问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于，提供一种新型结构的微通道板镀膜辅助支撑套及微通道板镀膜设备，使其能够方便的调整微通道板在镀膜设备上的设置角度，使一台镀膜设备能够进行多种型号微通道板的镀膜工作。

本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本实用新型提出的一种微通道板镀膜辅助支撑套，其包括：

支撑部，所述支撑部为盘状且中部设置有通孔，所述支撑部的边沿下表面用于可拆卸的连接在镀膜设备的工件架上；

安装部，所述安装部包括设置在所述通孔内壁上的凸沿，用于安装待镀膜的微通道板；

其中，所述支撑部的边沿下表面与所述凸沿的安装面相距预定距离。

可选的，前述的微通道板镀膜辅助支撑套，其中所述凸沿的安装面与所述支撑部的边沿下表面位于同一平面。

可选的，前述的微通道板镀膜辅助支撑套，其中所述安装部还包括安装筒，所述安装筒的第一端与所述通孔连通，为所述通孔的延长段，所述凸沿设置在所述安装筒的第二端。

可选的，前述的微通道板镀膜辅助支撑套，其中所述安装筒的筒壁垂直于所述支撑部的边沿，所述安装筒与所述通孔的内径相同。

可选的，前述的微通道板镀膜辅助支撑套，其中从所述安装筒的第一端到第二端其内径逐渐缩小，其中所述安装筒的第一端的内径等于所述通孔的内径。

可选的，前述的微通道板镀膜辅助支撑套，其中所述凸沿设置在所述安装筒的第二端的内壁；

或所述凸沿设置在所述安装筒的第二端的端部。

可选的，前述的微通道板镀膜辅助支撑套，其中支撑部为圆形盘状，或所述支撑部为长轴与短轴尺寸相近的椭圆形盘状。

可选的，前述的微通道板镀膜辅助支撑套，其中所述通孔为圆形，或所述通孔为多边形。

本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本实用新型提出的一种微通道板镀膜设备，其包括：微通道板镀膜辅助支撑套；

所述微通道板镀膜辅助支撑套包括：支撑部，所述支撑部为盘状且中部设置有通孔，所述支撑部的边沿下表面用于可拆卸的连接在镀膜设备的工件架上；

安装部，所述安装部包括设置在所述通孔内壁上的凸沿，用于安装待镀膜的微通道板；

其中，所述支撑部的边沿下表面与所述凸沿的安装面相距预定距离。

借由上述技术方案，本实用新型微通道板镀膜辅助支撑套及微通道板镀膜设备至少具有下列优点：

本实用新型实施例中，微通道板镀膜辅助支撑套的支撑部能够与镀膜设备的工件架可拆卸的连接，安装部能够安装待镀膜的微通道板，进而将微通道板安装在镀膜设备的工件架上进行镀膜工作。其中，由于支撑部是可拆卸的连接在工件架上，所以可通过更换不同的微通道板镀膜辅助支撑套来对不同型号大小的微通道板镀膜；此外，由于支撑部的边沿下表面是与工件架支撑的表面，且该表面与用于安装微通道板的凸沿的安装面相距预定距离，即通过将该预定距离设置为不同的数值，可以实现对微通道板进行不同深度的镀膜工作。综上，可知本实用新型实施例提供的微通道板镀膜辅助支撑套不仅具有结构简单，操作方便的特点，还具有通用性，即能够适用于对不同外形、不同镀膜深度的微通道板镀膜，极大提高了不同型号微通道板的生产灵活性，以及使一台镀膜设备具有了能够对应处理多种型号微通道板的功能，提高了资源利用率、节约成本。

此外，对于需要进行镀膜的微凹坑阵列基片，即基片的表面设置有阵列微凹坑的部件，该部件的凹坑开口附近的内壁需要进行镀制一定深度的膜层，本实用新型实施例提供的微通道板镀膜辅助支撑套，其能够用于对微凹坑阵列基片进行镀膜，同样也可以适用于多种不同型号大小的微凹坑阵列基片进行镀膜，以及通过调整凸沿安装面到支撑部边沿下表面的距离，来调整镀膜深度，达到一台镀膜设备对多种型号大小、多种镀膜深度要求的微凹坑阵列基片镀膜的目的。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1是本实用新型的实施例提供的一种微通道板镀膜辅助支撑套的结构示意图；

图2是本实用新型的实施例提供的一种微通道板镀膜辅助支撑套安装在镀膜设备上的结构示意图；

图3是本实用新型的实施例提供的另一种微通道板镀膜辅助支撑套的结构示意图；

图4是本实用新型的实施例提供的另一种微通道板镀膜辅助支撑套的结构示意图。

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提出的微通道板镀膜辅助支撑套及微通道板镀膜设备，其具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。在下述说明中，不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外，一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。

实施例一

如图1和图2所示，本实用新型实施例一提出的一种微通道板镀膜辅助支撑套，其包括：支撑部1和安装部2，所述支撑部1为盘状且中部设置有通孔11，所述支撑部1的边沿下表面12用于可拆卸的连接在镀膜设备的工件架4上；所述安装部2包括设置在所述通孔11内壁上的凸沿21，用于安装待镀膜的微通道板3；其中，所述支撑部1的边沿下表面12与所述凸沿21的安装面相距预定距离H。

具体的，微通道板镀膜辅助支撑套可以选用具有一定强度、一定耐腐蚀性、耐磨损的金属材料制造，例如采用耐腐蚀钢材制造。支撑部1是用于与镀膜设备的工件架4连接的部位，需要与工件架4的安装部位进行适配，由于现有技术中工件架4的安装部位为环形槽，所以适配的将支撑部1设置为盘状，这样盘状的支撑部1的边沿下表面12就可以与工件架4的安装部位连接，具体的连接方式是将微通道板镀膜辅助支撑套放置在工件架4的安装空间中，将支撑部1的边沿下表面12与工件架4的安装面贴合，通过工件架4对支撑部1进行支撑；支撑部1的厚度以能够满足使用强度为准，支撑部1的侧边沿还可以设置便于微通道板镀膜辅助支撑套安装和取下的槽体，即可以通过使用钩子将微通道板镀膜辅助支撑套从工件架上取下，以及安装在工件架4上；支撑部1中部设置的通孔11为放置微通道板之后显露微通道板3的窗口，该通孔11的大小可以根据所适用的微通道板3的尺寸进行设定，但是需要注意的是通孔11需要设置在支撑部1的中心位置，这样当微通道板镀膜辅助支撑套安装在工件架4上，能够快速的找到微通道板镀膜辅助支撑套上微通道板3的中心位置，便于调整镀膜设备的蒸发源5所对应的相对位置。所述安装部2是用于安装微通道板3的结构，其包含的凸沿21设置在通孔11的内壁上，这样微通道板3可以安装在通孔11中，并通过凸沿21进行支撑；此时，微通道板镀膜辅助支撑套设置在工件架4上之后，支撑部1支撑在工件架4上与工件架4设置的安装倾角相同，即支撑部1与蒸发源5的角度固定，此时可以通过改变支撑部1的边沿下表面12与所述凸沿21的安装面之间的距离来调整蒸发源5与通孔中微通道板3之间的夹角α，可以将支撑部1的边沿下表面12与所述凸沿21的安装面之间的距离设定为预定距离H，即与不同微通道板3镀膜深度相匹配的距离，这样可以为一台镀膜设备设置多个具有不同上述预定距离H的微通道板镀膜辅助支撑套，使一台镀膜设备能够为具有不同镀膜深度要求的微通道板3镀膜。

本实用新型实施例中，微通道板镀膜辅助支撑套的支撑部能够与镀膜设备的工件架可拆卸的连接，安装部能够安装待镀膜的微通道板，进而将微通道板安装在镀膜设备的工件架上进行镀膜工作。其中，由于支撑部是可拆卸的连接在工件架上，所以可通过更换不同的微通道板镀膜辅助支撑套来对不同型号大小的微通道板镀膜；此外，由于支撑部的边沿下表面是与工件架支撑的表面，且该表面与用于安装微通道板的凸沿的安装面相距预定距离，即通过将该预定距离设置为不同的数值，可以实现对微通道板进行不同深度的镀膜工作。综上，可知本实用新型实施例提供的微通道板镀膜辅助支撑套不仅具有结构简单，操作方便的特点，还具有通用性，即能够适用于对不同外形、不同镀膜深度的微通道板镀膜，极大提高了不同型号微通道板的生产灵活性，以及使一台镀膜设备具有了能够对应处理多种型号微通道板的功能，提高了资源利用率、节约成本。

此外，对于需要进行镀膜的微凹坑阵列基片，即基片的表面设置有阵列微凹坑的部件，该部件的凹坑开口附近的内壁需要进行镀制一定深度的膜层，本实用新型实施例提供的微通道板镀膜辅助支撑套，其能够用于对微凹坑阵列基片进行镀膜，同样也可以适用于多种不同型号大小的微凹坑阵列基片进行镀膜，以及通过调整凸沿安装面到支撑部边沿下表面的距离，来调整镀膜深度，达到一台镀膜设备对多种型号大小、多种镀膜深度要求的微凹坑阵列基片镀膜的目的。

如图3所示，在具体实施中，其中所述凸沿21的安装面与所述支撑部1的边沿下表面12位于同一平面。

具体的，将凸沿的安装面与支撑部的边沿下表面位于同一平面，此时镀膜设备工件架所预设的倾角，就是微通道板镀膜辅助支撑套中微通道板与镀膜设备的蒸发源的夹角。

如图1和图4所示，在具体实施中，其中所述安装部2还包括安装筒22，所述安装筒22的第一端与所述通孔11连通，为所述通孔11的延长段，所述凸沿21设置在所述安装筒2的第二端。

具体的，由于通过调整支撑部的边沿下表面与凸沿的安装面之间的距离，就可以调整微通道板相对于镀膜设备的蒸发源之间的夹角，所以在安装部中增设安装筒，该安装筒能够盛放微通道板，并且安装筒的第一端与通孔连接，即位于支撑部的边沿下表面位置，凸沿位于该安装筒第二端，此时安装筒的深度就是支撑部的边沿下表面与凸沿的安装面之间的距离，即可以通过调整设置安装筒的深度就可以调整安装在凸沿上微通道板相对镀膜设备的蒸发源的夹角。

如图1和图4所示，进一步的，安装筒22的具体结构可以如下所示：所述安装筒22的筒壁垂直于所述支撑部1的边沿，所述安装筒22与所述通孔11的内径相同；即安装筒22可以是支撑部1上通孔11的延伸端，且该延伸端为向支撑部1边沿下表面12方向延伸。或，从所述安装筒22的第一端到第二端其内径逐渐缩小，其中所述安装筒22的第一端的内径等于所述通孔11的内径；即所述安装筒22为一喇叭状。

如图1和图4所示，在具体实施中，所述凸沿21设置在所述安装筒22的第二端的内壁；或所述凸沿21设置在所述安装筒22的第二端的端部。

具体的，针对安装筒为垂直于所述支撑部的情况凸沿设置的位置可以是安装筒的第二端的内壁；对于安装筒内径逐渐缩小的情况下，凸沿设置的位置可以是安装筒的第二端的端部。

如图1-4所示，在具体实施中，其中支撑部1为圆形盘状，或所述支撑部为长轴与短轴尺寸相近的椭圆形盘状。

具体的，支撑部需要与镀膜设备的工件架的安装槽相匹配，所以可以将支撑部设置为圆形的盘状或者近似圆形的椭圆形盘状。

如图1所示，在具体实施中，其中所述通孔11为圆形，或所述通孔为多边形。

具体的，由于本实用新型实施例提供的微通道板镀膜辅助支撑套，其是能够可拆卸的与镀膜设备的工件架连接的，所以可以通过将通孔设置为不同的形状来适配不同外形的微通道板，所以通孔可以选择圆形或者多边形，但不限于上述形状，还可以是不规则的形状，即可以根据微通道板的形状进行配做。

实施例二

本实用新型的实施例二提出一种微通道板镀膜设备，其包括：微通道板镀膜辅助支撑套；所述微通道板镀膜辅助支撑套包括：支撑部1和安装部2，所述支撑部1为盘状且中部设置有通孔11，所述支撑部1的边沿下表面12用于可拆卸的连接在镀膜设备的工件架4上；所述安装部2包括设置在所述通孔11内壁上的凸沿21，用于安装待镀膜的微通道板3；其中，所述支撑部1的边沿下表面12与所述凸沿21的安装面相距预定距离H。

具体的，本实施例二中所述的微通道板镀膜辅助支撑套可直接使用上述实施例一提供的微通道板镀膜辅助支撑套，具体的实现结构可参见上述实施例一中描述的相关内容，此处不再赘述。

本实用新型实施例中，微通道板镀膜辅助支撑套的支撑部能够与镀膜设备的工件架可拆卸的连接，安装部能够安装待镀膜的微通道板，进而将微通道板安装在镀膜设备的工件架上进行镀膜工作。其中，由于支撑部是可拆卸的连接在工件架上，所以可通过更换不同的微通道板镀膜辅助支撑套来对不同型号大小的微通道板镀膜；此外，由于支撑部的边沿下表面是与工件架支撑的表面，且该表面与用于安装微通道板的凸沿的安装面相距预定距离，即通过将该预定距离设置为不同的数值，可以实现对微通道板进行不同深度的镀膜工作。综上，可知本实用新型实施例提供的微通道板镀膜辅助支撑套不仅具有结构简单，操作方便的特点，还具有通用性，即能够适用于对不同外形、不同镀膜深度的微通道板镀膜，极大提高了不同型号微通道板的生产灵活性，以及使一台镀膜设备具有了能够对应处理多种型号微通道板的功能，提高了资源利用率、节约成本。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。

Claims (9)

1.一种微通道板镀膜辅助支撑套，其特征在于，其包括：

支撑部，所述支撑部为盘状且中部设置有通孔，所述支撑部的边沿下表面用于可拆卸的连接在镀膜设备的工件架上；

安装部，所述安装部包括设置在所述通孔内壁上的凸沿，用于安装待镀膜的微通道板；

其中，所述支撑部的边沿下表面与所述凸沿的安装面相距预定距离。

2.根据权利要求1所述的微通道板镀膜辅助支撑套，其特征在于，

所述凸沿的安装面与所述支撑部的边沿下表面位于同一平面。

3.根据权利要求1所述的微通道板镀膜辅助支撑套，其特征在于，

所述安装部还包括安装筒，所述安装筒的第一端与所述通孔连通，为所述通孔的延长段，所述凸沿设置在所述安装筒的第二端。

4.根据权利要求3所述的微通道板镀膜辅助支撑套，其特征在于，

所述安装筒的筒壁垂直于所述支撑部的边沿，所述安装筒与所述通孔的内径相同。

5.根据权利要求3所述的微通道板镀膜辅助支撑套，其特征在于，

从所述安装筒的第一端到第二端其内径逐渐缩小，其中所述安装筒的第一端的内径等于所述通孔的内径。

6.根据权利要求5所述的微通道板镀膜辅助支撑套，其特征在于，

所述凸沿设置在所述安装筒的第二端的内壁；

或所述凸沿设置在所述安装筒的第二端的端部。

7.根据权利要求1所述的微通道板镀膜辅助支撑套，其特征在于，

支撑部为圆形盘状，或所述支撑部为长轴与短轴尺寸相近的椭圆形盘状。

8.根据权利要求1所述的微通道板镀膜辅助支撑套，其特征在于，

所述通孔为圆形，或所述通孔为多边形。

9.一种微通道板镀膜设备，其特征在于，其包括：

如权利要求1-8中任一所述微通道板镀膜辅助支撑套。