CN208104524U - 一种具有导向加热功能的蒸发舟 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种具有导向加热功能的蒸发舟，包括由导电材料制成的舟体和两个分别位于镀膜材料舟体两端的电极，镀膜材料舟体具有用于放置镀膜材料的容置部，其特征在于，镀膜材料蒸发舟还包括导向加热装置，镀膜材料导向加热装置的底部与镀膜材料舟体相连并环绕包围镀膜材料容置部，镀膜材料导向加热装置由导电材料制成，在该实用新型中，镀膜材料在蒸发为蒸汽后，不会向四面扩散，只会沿着导向加热装置的内部空间移动，保证了金属蒸汽的利用效率，同时由于导向加热装置本身的高温，可大大提高蒸发速率，也有效防止蒸发材料凝结堆积在蒸发舟周边或者电极连接处等低温区域，大大地减少了镀膜材料的损失和浪费。

Description

一种具有导向加热功能的蒸发舟

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种具有导向加热功能的蒸发舟。

背景技术

真空镀膜机是指在较高真空度下对工件进行镀膜加工的设备。真空镀膜机包括蒸发源，现有的蒸发型真空镀膜机通常采用在蒸发舟两端接入电极作为蒸发源。

现有的蒸发舟一般采用在蒸发舟中部设有凹槽，待蒸发的镀膜材料位于所述凹槽中，蒸发舟两端被夹具夹持并通电形成两极，在现有蒸发过程中，一方面，经常会出现蒸发材料凝结堆积在蒸发舟周边或者电极连接处等低温区域，造成材料的损失，另一方面由于蒸发舟完全敞开，蒸发材料蒸发产生的镀膜材料蒸汽会向各个方向扩散，也会造成材料损失。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种用于真空镀膜机的蒸发舟，已解决现有技术蒸发舟蒸发镀膜材料时材料损失严重，利用率低的技术问题。

针对上述技术问题，本实用新型提供了一种具有导向加热功能的蒸发舟，包括由导电材料制成的舟体和两个分别位于所述舟体两端的电极，所述舟体具有用于放置镀膜材料的容置部，所述蒸发舟还包括导向加热装置，所述导向加热装置的底部与所述舟体相连并环绕包围所述容置部，所述导向加热装置由导电材料制成。

可选的，所述导电加热管为两端开口的中空圆锥台形状，所述导向加热装置的底部截面小于所述顶部截面。

可选的，所述导向加热装置底部通过螺纹连接结构或者卡扣连接结构可拆卸的连接于所述舟体上。

可选的，所述导向加热装置底部通过焊接与所述舟体表面固定连接。

可选的，所述所述导向加热装置采用高熔点的金属材料制成。

可选的，所述所述导向加热装置采用金属钨、金属钼或者钛合金制成。

可选的，所述容置部为开设在所述舟体表面的凹坑，所述凹坑位于两个所述电极中间。

可选的，所述容置部为可拆卸安装在所述舟体表面的环形加热片所围成的容置腔，所述环形加热片位于两个所述电极中间。

本实用新型所提供的一种具有导向加热功能的蒸发舟，由于其包括导向加热装置，该导向加热装置的底部与舟体相连并环绕包围放置镀膜材料的容置部，且该导向加热装置由导电材料制成，这样镀膜材料在蒸发为蒸汽后，不会向四面扩散，只会沿着导向加热装置的内部空间移动，保证了金属蒸汽的利用效率，同时由于导向加热装置本身的高温，可大大提高蒸发速率，也有效防止蒸发材料凝结堆积在蒸发舟周边或者电极连接处等低温区域，大大地减少了镀膜材料的损失和浪费。

附图说明

附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不应构成本实用新型的限制，在附图中：

图1为本实用新型实施例一的结构示意图；

图2为本实用新型实施例二的结构示意图；

图3为本实用新型实施例3的结构示意图；

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不是用于限制本实用新型。

实施例一

如图1所示，为一种具有导向加热功能的蒸发舟，包括由导电材料制成舟体1和两个分别位于舟体1两端的电极2，舟体1上具有用于放置镀膜材料5的容置部3，该蒸发舟还包括导向加热装置4，该导向加热装置4的底部与舟体1相连并环绕包围容置部3，其中导向加热装置4由导电材料制成。

其中该导电加热管4为两端开口的中空圆锥台形状，导向加热装置4的底部截面小于其顶部截面，这样可以使镀膜材料的蒸汽在扩散方向受到限制的情况下同时保证了镀膜的效率；在该实施例一中，该导向加热装置4底部通过焊接与舟体1表面固定连接，而容置部3为开设在舟体1表面的凹坑，该凹坑位于两个电极2中间；作为优选方案，舟体1采用高熔点的金属材料制成，例如金属钨、金属钼或者钛合金等，由于金属材料的弯曲性能好和热传导性能好，既方便了导电加热管4的制作加工，又可有效防止镀膜材料蒸汽附着在导向加热装置4内壁上造成镀膜材料的浪费。

本实用新型所提供的一种具有导向加热功能的蒸发舟的使用方式为：将蒸发舟定位在真空镀膜设备内，并在舟体两端的电极上分别接入电源的正负极，将镀膜材料置于容置部内，使镀膜材料位于蒸发舟的中间；镀膜开始后，电源接通给舟体两端的电极通电，舟体底部和和导向加热片在电流作用下发热，镀膜材料受热蒸发开始扩散并附着在温度较低的待镀膜工件上，由于本实用新型所提供的一种具有导向加热功能的蒸发舟包括导向加热装置，该导向加热装置的底部与舟体相连并环绕包围放置镀膜材料的容置部，且该导向加热装置由导电材料制成，这样镀膜材料在蒸发为蒸汽后，不会向四面扩散，只会沿着导向加热装置的内部空间移动，保证了金属蒸汽的利用效率，大大地减少了技术材料的损失和浪费。

实施例二

实施例二中的技术方案与实施例一中的技术方案基本相同，不同之处在于，在本实施例中，为便于导向加热装置4的拆卸与更换，导向加热装置4可拆卸的连接于舟体1上，具体可采用如图2中所示的螺纹连接结构6或者卡扣连接结构(图中未示出)，在实际的制造和使用过程中，可拆卸的连接方式可以按照需求自由选择，不一定限制为以上两种。

实施例三

实施例三中的技术方案与实施例一和实施例二中的技术方案基本相同，不同之处在于，在本实施例中，在舟体1表面可拆卸安装有环形加热片7，容置部3为环形加热片与舟体1表面所围成的容置腔，该环形加热片位于两个电极中间，当镀膜材料放置在容置腔中是，镀膜材料和待镀工件的距离更近，可以有效改善蒸发舟内镀膜材料的受热情况，提高镀膜效率。

以上结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明，但本实用新型不限于所描述的实施方式。对于本领域的技术人员而言，在不脱离本实用新型原理和精神的情况下，对这些实施方式进行多种变化、修改、替换和变型，仍落入本实用新型的保护范围内。

Claims (8)

1.一种具有导向加热功能的蒸发舟，包括由导电材料制成的舟体和两个分别位于所述舟体两端的电极，所述舟体具有用于放置镀膜材料的容置部，其特征在于，所述蒸发舟还包括导向加热装置，所述导向加热装置的底部与所述舟体相连并环绕包围所述容置部，所述导向加热装置由导电材料制成。

2.根据权利要求1所述的一种具有导向加热功能的蒸发舟，其特征在于，所述导电加热管呈两端开口的中空圆台形状，所述导向加热装置的底部截面小于其顶部截面。

3.根据权利要求2所述的一种具有导向加热功能的蒸发舟，其特征在于，所述导向加热装置底部通过螺纹连接结构或者卡扣连接结构可拆卸的连接于所述舟体上。

4.根据权利要求2所述的一种具有导向加热功能的蒸发舟，其特征在于，所述导向加热装置底部通过焊接与所述舟体固定连接。

5.根据权利要求2所述的一种具有导向加热功能的蒸发舟，其特征在于，所述导向加热装置采用高熔点的金属材料制成。

6.根据权利要求5所述的一种具有导向加热功能的蒸发舟，其特征在于，所述导向加热装置采用金属钨、金属钼或者钛合金制成。

7.根据权利要求1-6任一所述的具有导向加热功能的蒸发舟，其特征在于，所述容置部为开设在所述舟体表面的凹坑，所述凹坑位于两个所述电极中间。

8.根据权利要求1-6任一所述的具有导向加热功能的蒸发舟，其特征在于，所述容置部为可拆卸安装在所述舟体表面的环形加热片所围成的容置腔，所述环形加热片位于两个所述电极中间。