CN208023107U - 一种多晶硅铸锭炉热场 - Google Patents

一种多晶硅铸锭炉热场 Download PDF

Info

Publication number
CN208023107U
CN208023107U CN201721500521.9U CN201721500521U CN208023107U CN 208023107 U CN208023107 U CN 208023107U CN 201721500521 U CN201721500521 U CN 201721500521U CN 208023107 U CN208023107 U CN 208023107U
Authority
CN
China
Prior art keywords
heat exchange
graphite
heating
protective plate
monomer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201721500521.9U
Other languages
English (en)
Inventor
朱松涛
郭晓萌
郭彦峰
冯立学
郭宽新
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Suzhou Crystal Photoelectric Polytron Technologies Inc
Original Assignee
Suzhou Crystal Photoelectric Polytron Technologies Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Suzhou Crystal Photoelectric Polytron Technologies Inc filed Critical Suzhou Crystal Photoelectric Polytron Technologies Inc
Priority to CN201721500521.9U priority Critical patent/CN208023107U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN208023107U publication Critical patent/CN208023107U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种温度梯度小、加热均匀的多晶硅铸锭炉热场,包括设置在炉体内下部的若干石墨支撑柱,石墨支撑柱上设有热交换机构,热交换机构包括设置在石墨支撑柱上的热交换平台,热交换平台上设有加热坩埚,加热坩埚上设有盖板,热交换平台上在加热坩埚外周设有一圈石墨护板,石墨护板外侧下部设有安装槽,安装槽中填设有保温毡,石墨护板外周套设有侧部加热器,侧部加热器包括至少两个连接在一起的加热单体,加热单体包括若干U形部,相邻U形部上部之间设有上连接部,加热单体上最外侧的U形部上设有与相邻加热单体相连接的侧连接部,炉体内在盖板上方设有顶部加热器。

Description

一种多晶硅铸锭炉热场
技术领域
本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉热场。
背景技术
当前高效多晶硅组件是主流的光伏产品,随着光伏行业的日趋成熟,传统多晶硅铸锭技术已无法满足市场对光伏产品品质需求,高质量、高转换效率的太阳能电池是光伏行业一直追求的目标。在定向凝固多晶硅技术升级优化过程中,有籽晶铸锭成为了目前行业内讨论的热点。
定向凝固是在凝固过程中采用强制手段,在固态硅和液态硅中建立起特定方向的温度梯度,从而使硅熔体沿着与热流相反的方向凝固,以获得具有特定取向的柱状晶的技术。实现定向凝固的原则是硅熔体中的热量严格的按照单一方向导出,并垂直与生长中的固-液界面。
目前我们铸锭炉热场由定部保温碳毡、四周保温碳毡、底部保温碳毡组成的一个保温隔热笼,加热器为顶侧五面加热,坩埚放置在石墨热交换台上,加热时隔热笼关闭,待硅料完全熔化后,隔热笼缓慢往上提升,通过定向凝固块将硅料结晶时释放的热量辐射到下炉腔内壁上,使硅料中形成一个竖直温度梯度。晶体在底部成核并逐渐向上生长,但是晶锭的四周也有新的核心生成并从边缘向中心逐渐生长,造成部分晶粒生长的方向与底部水平面不垂直,这是因为晶体凝固过程中,晶体的边缘和中部存在横向的温度梯度,温度梯度越大,多晶硅中的热应力越大,会导致更多体内位错生长,形成深能级的,少子寿命复合中心,成为低质量的晶锭区,少子寿命低,影响电池转化效率。
常用的隔热笼角部热量散失较多,角部温度低,在晶体生长中后期形成斜状晶,位错缺陷高。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是:提供一种温度梯度小、加热均匀的多晶硅铸锭炉热场。
为解决上述技术问题,本实用新型所采用的技术方案为:一种多晶硅铸锭炉热场,包括设置在炉体内下部的若干石墨支撑柱,石墨支撑柱上设有热交换机构,热交换机构包括设置在石墨支撑柱上的热交换平台,热交换平台上设有加热坩埚,加热坩埚上设有盖板,热交换平台上在加热坩埚外周设有一圈石墨护板,石墨护板外侧下部设有安装槽,安装槽中填设有保温毡,石墨护板外周套设有侧部加热器,侧部加热器包括至少两个连接在一起的加热单体,加热单体包括若干U形部,相邻U形部上部之间设有上连接部,加热单体上最外侧的 U形部上设有与相邻加热单体相连接的侧连接部,所述侧连接部由石墨制成,炉体内在盖板上方设有顶部加热器;热交换机构外周设有将热交换机构整体包覆的保温装置。
作为一种优选的方案,所述保温装置包括底部保温层、侧部保温层和顶部保温层。
作为一种优选的方案,所述热交换平台上的石墨护板包括四组石墨护板且围成矩形。
作为一种优选的方案,所述保温毡靠近石墨护板转角处高度高于位于石墨护板中部处。
本实用新型的有益效果是:由于侧部加热器包括至少两个连接在一起的加热单体,加热单体包括若干U形部,相邻U形部上部之间设有上连接部,加热单体上最外侧的U形部上设有与相邻加热单体相连接的侧连接部,提升了角部温度,降低了边部和角部的温度差,可以降低横向温度梯度,实现减小坩埚角部形核向内生长的角度,有效的减小角部斜状晶生长形成的晶体缺陷;
且侧连接部由石墨制成作为导热体,进一步提升了角部温度,降低了边部和角部的温度差。
石墨护板外包裹保温碳毡,尤其是角部碳毡增加高度,熔化时有隔热作用,保护籽晶不被熔化,长晶时有保温作用,又隔阻了隔热笼内横隔热条和DS块侧隔热碳条之间的缝隙散热,可以优化晶体生长的固液界面的平整度,达到中心部分和边角同步生长柱状晶体。
附图说明
图1是本实用新型的主视结构示意图。
图2是本实用新型中的侧部加热器的立体结构示意图。
图1至图2中:1.顶部保温层2.盖板3.侧部加热器4.保温毡5.热交换平台6.底部保温层7.顶部加热器8.石墨护板9.侧连接部10.侧部保温层11.石墨支撑柱。
具体实施方式
下面结合附图,详细描述本实用新型的具体实施方案。
如图1-2所示,一种多晶硅铸锭炉热场,包括炉体,炉体内下部设有若干石墨支撑柱11,石墨支撑柱11上设有热交换机构,
热交换机构包括设置在石墨支撑柱11上的热交换平台5,热交换平台5上设有加热坩埚(图中未示出),加热坩埚上设有盖板2,热交换平台5上在加热坩埚外周设有四组呈矩形布置的石墨护板8,石墨护板8外侧下部设有安装槽,安装槽中填设有保温毡4,保温毡4靠近石墨护板8转角处高度高于位于石墨护板8中部处。
石墨护板8外周套设有侧部加热器3,侧部加热器3包括至少两个连接在一起的加热单体,加热单体包括若干U形部,相邻U形部上部之间设有上连接部,加热单体上最外侧的U形部上设有与相邻加热单体相连接的由石墨制成的侧连接部9,炉体内在盖板2上方设有顶部加热器7;热交换机构外周设有将热交换机构整体包覆的保温装置。保温装置包括底部保温层6、侧部保温层10和顶部保温层1。
以投料量为1200Kg的硅原料铸造G7硅锭为例,分别采用常规铸锭炉热场结构和本实用新型的热场结构,采用高效石英坩埚连续进行铸锭,对比两种热场结构所铸硅锭的籽晶保留面积,PL测试数据,少子寿命和硅锭良率。对比结果如下:
整个铸锭运行过程,两种热场铸锭工艺运行时间及能耗基本一样,使用本实用新型热场,高效硅锭底部晶粒面积保留提升4%,PL测试数据,晶体缺陷降低3%,PL综合分值提升7分,硅锭少子寿命提升9.6%,硅锭良率提升0.9%。
上述的实施例仅例示性说明本发明创造的原理及其功效,以及部分运用的实施例,而非用于限制本实用新型;应当指出,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明创造构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims (4)

1.一种多晶硅铸锭炉热场,其特征在于:包括设置在炉体内下部的若干石墨支撑柱,石墨支撑柱上设有热交换机构,热交换机构包括设置在石墨支撑柱上的热交换平台,热交换平台上设有加热坩埚,加热坩埚上设有盖板,热交换平台上在加热坩埚外周设有一圈石墨护板,石墨护板外侧下部设有安装槽,安装槽中填设有保温毡,石墨护板外周套设有侧部加热器,侧部加热器包括至少两个连接在一起的加热单体,加热单体包括若干U形部,相邻U形部上部之间设有上连接部,加热单体上最外侧的U形部上设有与相邻加热单体相连接的侧连接部,所述侧连接部由石墨制成,炉体内在盖板上方设有顶部加热器;热交换机构外周设有将热交换机构整体包覆的保温装置。
2.如权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉热场,其特征在于:保温装置包括底部保温层、侧部保温层和顶部保温层。
3.如权利要求2所述的一种多晶硅铸锭炉热场,其特征在于:所述热交换平台上的石墨护板包括四组石墨护板且围成矩形。
4.如权利要求3所述的一种多晶硅铸锭炉热场,其特征在于:所述保温毡靠近石墨护板转角处高度高于位于石墨护板中部处。
CN201721500521.9U 2017-11-13 2017-11-13 一种多晶硅铸锭炉热场 Active CN208023107U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201721500521.9U CN208023107U (zh) 2017-11-13 2017-11-13 一种多晶硅铸锭炉热场

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201721500521.9U CN208023107U (zh) 2017-11-13 2017-11-13 一种多晶硅铸锭炉热场

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN208023107U true CN208023107U (zh) 2018-10-30

Family

ID=63897981

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201721500521.9U Active CN208023107U (zh) 2017-11-13 2017-11-13 一种多晶硅铸锭炉热场

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN208023107U (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102330148B (zh) 低缺陷高产出多晶硅铸锭方法及其热场结构
CN102877117B (zh) 基于多加热器的铸锭炉热场结构及运行方法
CN204825129U (zh) 一种高效多晶硅铸锭炉的热场结构
CN202989351U (zh) 基于多加热器的铸锭炉热场结构
CN108588825A (zh) 一种侧加热器可移动的铸锭炉及其铸锭工艺
CN103451726A (zh) 一种水致冷铸锭炉及其铸锭工艺
CN103628127A (zh) 一种定向凝固法准单晶硅生长炉及准单晶硅的生长方法
CN101323973A (zh) 一种多晶硅定向长晶热场结构
CN102965727A (zh) 多晶硅锭及其铸造方法
CN203174222U (zh) 一种多晶硅铸锭炉的热场结构
CN208023107U (zh) 一种多晶硅铸锭炉热场
CN205275781U (zh) 制备高效多晶的新型热场的g6铸锭炉
CN205171015U (zh) 一种多晶硅铸锭用坩埚
CN206070039U (zh) 一种准单晶硅铸锭炉的热场结构
CN202323115U (zh) 一种多晶硅铸锭炉的侧热场结构
CN205275784U (zh) 制备高效多晶的改进型热场的g6铸锭炉
CN204281893U (zh) 一种定向固化保温热场
CN103225106A (zh) 一种铸造高效多晶的热场
CN103741205B (zh) 全单晶硅铸锭炉
CN103966660B (zh) 一种准单晶硅锭生长方法
CN203065633U (zh) 一种铸造高效多晶的热场
CN206768276U (zh) 一种高晶体质量多晶硅铸锭热场
CN209082032U (zh) 一种铸锭太阳能级高效多晶硅热场结构
CN110965119A (zh) 一种用于铸造单晶的坩埚石墨平台结构
CN203613300U (zh) 一种定向凝固法准单晶硅生长炉

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant