CN208023107U - 一种多晶硅铸锭炉热场 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种温度梯度小、加热均匀的多晶硅铸锭炉热场,包括设置在炉体内下部的若干石墨支撑柱,石墨支撑柱上设有热交换机构,热交换机构包括设置在石墨支撑柱上的热交换平台,热交换平台上设有加热坩埚,加热坩埚上设有盖板,热交换平台上在加热坩埚外周设有一圈石墨护板,石墨护板外侧下部设有安装槽,安装槽中填设有保温毡,石墨护板外周套设有侧部加热器,侧部加热器包括至少两个连接在一起的加热单体,加热单体包括若干U形部,相邻U形部上部之间设有上连接部,加热单体上最外侧的U形部上设有与相邻加热单体相连接的侧连接部,炉体内在盖板上方设有顶部加热器。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉热场。
背景技术
当前高效多晶硅组件是主流的光伏产品,随着光伏行业的日趋成熟,传统多晶硅铸锭技术已无法满足市场对光伏产品品质需求,高质量、高转换效率的太阳能电池是光伏行业一直追求的目标。在定向凝固多晶硅技术升级优化过程中,有籽晶铸锭成为了目前行业内讨论的热点。
定向凝固是在凝固过程中采用强制手段,在固态硅和液态硅中建立起特定方向的温度梯度,从而使硅熔体沿着与热流相反的方向凝固,以获得具有特定取向的柱状晶的技术。实现定向凝固的原则是硅熔体中的热量严格的按照单一方向导出,并垂直与生长中的固-液界面。
目前我们铸锭炉热场由定部保温碳毡、四周保温碳毡、底部保温碳毡组成的一个保温隔热笼,加热器为顶侧五面加热,坩埚放置在石墨热交换台上,加热时隔热笼关闭,待硅料完全熔化后,隔热笼缓慢往上提升,通过定向凝固块将硅料结晶时释放的热量辐射到下炉腔内壁上,使硅料中形成一个竖直温度梯度。晶体在底部成核并逐渐向上生长,但是晶锭的四周也有新的核心生成并从边缘向中心逐渐生长,造成部分晶粒生长的方向与底部水平面不垂直,这是因为晶体凝固过程中,晶体的边缘和中部存在横向的温度梯度,温度梯度越大,多晶硅中的热应力越大,会导致更多体内位错生长,形成深能级的,少子寿命复合中心,成为低质量的晶锭区,少子寿命低,影响电池转化效率。
常用的隔热笼角部热量散失较多,角部温度低,在晶体生长中后期形成斜状晶,位错缺陷高。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是:提供一种温度梯度小、加热均匀的多晶硅铸锭炉热场。
为解决上述技术问题,本实用新型所采用的技术方案为:一种多晶硅铸锭炉热场,包括设置在炉体内下部的若干石墨支撑柱,石墨支撑柱上设有热交换机构,热交换机构包括设置在石墨支撑柱上的热交换平台,热交换平台上设有加热坩埚,加热坩埚上设有盖板,热交换平台上在加热坩埚外周设有一圈石墨护板,石墨护板外侧下部设有安装槽,安装槽中填设有保温毡,石墨护板外周套设有侧部加热器,侧部加热器包括至少两个连接在一起的加热单体,加热单体包括若干U形部,相邻U形部上部之间设有上连接部,加热单体上最外侧的 U形部上设有与相邻加热单体相连接的侧连接部,所述侧连接部由石墨制成,炉体内在盖板上方设有顶部加热器;热交换机构外周设有将热交换机构整体包覆的保温装置。
作为一种优选的方案,所述保温装置包括底部保温层、侧部保温层和顶部保温层。
作为一种优选的方案,所述热交换平台上的石墨护板包括四组石墨护板且围成矩形。
作为一种优选的方案,所述保温毡靠近石墨护板转角处高度高于位于石墨护板中部处。
本实用新型的有益效果是:由于侧部加热器包括至少两个连接在一起的加热单体,加热单体包括若干U形部,相邻U形部上部之间设有上连接部,加热单体上最外侧的U形部上设有与相邻加热单体相连接的侧连接部,提升了角部温度,降低了边部和角部的温度差,可以降低横向温度梯度,实现减小坩埚角部形核向内生长的角度,有效的减小角部斜状晶生长形成的晶体缺陷;
且侧连接部由石墨制成作为导热体,进一步提升了角部温度,降低了边部和角部的温度差。
石墨护板外包裹保温碳毡,尤其是角部碳毡增加高度,熔化时有隔热作用,保护籽晶不被熔化,长晶时有保温作用,又隔阻了隔热笼内横隔热条和DS块侧隔热碳条之间的缝隙散热,可以优化晶体生长的固液界面的平整度,达到中心部分和边角同步生长柱状晶体。
附图说明
图1是本实用新型的主视结构示意图。
图2是本实用新型中的侧部加热器的立体结构示意图。
图1至图2中:1.顶部保温层2.盖板3.侧部加热器4.保温毡5.热交换平台6.底部保温层7.顶部加热器8.石墨护板9.侧连接部10.侧部保温层11.石墨支撑柱。
具体实施方式
下面结合附图,详细描述本实用新型的具体实施方案。
如图1-2所示,一种多晶硅铸锭炉热场,包括炉体,炉体内下部设有若干石墨支撑柱11,石墨支撑柱11上设有热交换机构,
热交换机构包括设置在石墨支撑柱11上的热交换平台5,热交换平台5上设有加热坩埚(图中未示出),加热坩埚上设有盖板2,热交换平台5上在加热坩埚外周设有四组呈矩形布置的石墨护板8,石墨护板8外侧下部设有安装槽,安装槽中填设有保温毡4,保温毡4靠近石墨护板8转角处高度高于位于石墨护板8中部处。
石墨护板8外周套设有侧部加热器3,侧部加热器3包括至少两个连接在一起的加热单体,加热单体包括若干U形部,相邻U形部上部之间设有上连接部,加热单体上最外侧的U形部上设有与相邻加热单体相连接的由石墨制成的侧连接部9,炉体内在盖板2上方设有顶部加热器7;热交换机构外周设有将热交换机构整体包覆的保温装置。保温装置包括底部保温层6、侧部保温层10和顶部保温层1。
以投料量为1200Kg的硅原料铸造G7硅锭为例,分别采用常规铸锭炉热场结构和本实用新型的热场结构,采用高效石英坩埚连续进行铸锭,对比两种热场结构所铸硅锭的籽晶保留面积,PL测试数据,少子寿命和硅锭良率。对比结果如下:
整个铸锭运行过程,两种热场铸锭工艺运行时间及能耗基本一样,使用本实用新型热场,高效硅锭底部晶粒面积保留提升4%,PL测试数据,晶体缺陷降低3%,PL综合分值提升7分,硅锭少子寿命提升9.6%,硅锭良率提升0.9%。
上述的实施例仅例示性说明本发明创造的原理及其功效,以及部分运用的实施例,而非用于限制本实用新型;应当指出,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明创造构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。
Claims (4)
1.一种多晶硅铸锭炉热场,其特征在于:包括设置在炉体内下部的若干石墨支撑柱,石墨支撑柱上设有热交换机构,热交换机构包括设置在石墨支撑柱上的热交换平台,热交换平台上设有加热坩埚,加热坩埚上设有盖板,热交换平台上在加热坩埚外周设有一圈石墨护板,石墨护板外侧下部设有安装槽,安装槽中填设有保温毡,石墨护板外周套设有侧部加热器,侧部加热器包括至少两个连接在一起的加热单体,加热单体包括若干U形部,相邻U形部上部之间设有上连接部,加热单体上最外侧的U形部上设有与相邻加热单体相连接的侧连接部,所述侧连接部由石墨制成,炉体内在盖板上方设有顶部加热器;热交换机构外周设有将热交换机构整体包覆的保温装置。
2.如权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉热场,其特征在于:保温装置包括底部保温层、侧部保温层和顶部保温层。
3.如权利要求2所述的一种多晶硅铸锭炉热场,其特征在于:所述热交换平台上的石墨护板包括四组石墨护板且围成矩形。
4.如权利要求3所述的一种多晶硅铸锭炉热场,其特征在于:所述保温毡靠近石墨护板转角处高度高于位于石墨护板中部处。
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- 2017-11-13 CN CN201721500521.9U patent/CN208023107U/zh active Active
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