CN208014679U - 一种用于功率模块的高导热基板 - Google Patents

一种用于功率模块的高导热基板 Download PDF

Info

Publication number
CN208014679U
CN208014679U CN201820324077.8U CN201820324077U CN208014679U CN 208014679 U CN208014679 U CN 208014679U CN 201820324077 U CN201820324077 U CN 201820324077U CN 208014679 U CN208014679 U CN 208014679U
Authority
CN
China
Prior art keywords
copper
tpg
layer
layers
power module
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201820324077.8U
Other languages
English (en)
Inventor
庄伟东
姚二现
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NANJING YINMAO MICROELECTRONIC MANUFACTURING CO LTD
Original Assignee
NANJING YINMAO MICROELECTRONIC MANUFACTURING CO LTD
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NANJING YINMAO MICROELECTRONIC MANUFACTURING CO LTD filed Critical NANJING YINMAO MICROELECTRONIC MANUFACTURING CO LTD
Priority to CN201820324077.8U priority Critical patent/CN208014679U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN208014679U publication Critical patent/CN208014679U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种用于功率模块的高导热基板,由上铜层、陶瓷层和背铜层组成,背铜层通过焊接连接到功率模块底板上,陶瓷层为绝缘层,上铜层为复合层,其中上铜层的结构由上表面的铜层、中部的TPG网络‑铜混合体和下部的陶瓷金属化层组成,陶瓷金属化层是直接在陶瓷层上制作而成,上表面的铜层在表面上通过焊料焊接功率半导体芯片,中部的TPG网络‑铜混合体是由TPG网络骨架和填充于其中的铜组成。使用本实用新型的高导热基板,与不填充TPG的常规纯铜陶瓷基板相比,在100W热损耗的情况下,芯片结温可以降低6~15℃,有效提高模块运行的可靠性。

Description

一种用于功率模块的高导热基板
技术领域
本实用新型属于半导体电子器件制造技术领域,具体来说涉及一种用于功率模块的高导热基板。
背景技术
随着电子器件的发展,对功率模块的要求也越来越高。然而随着功率模块的集成度和功率的提高,发热量也随之增加,如果产生的热量不能及时排出,则对功率模块的运行和寿命产生影响。
实用新型内容
针对以上问题,本实用新型提出了一种新型的用于功率模块的基板结构。本实用新型公开的基板结构,集绝缘、导热、电路连接于一体,具有更高的集成度和更好导热散热性能。
具体来说,本实用新型采用了以下技术方案:
一种用于功率模块的高导热基板,其特征在于,所述高导热基板由上铜层、陶瓷层和背铜层组成,背铜层通过焊接连接到功率模块底板上,陶瓷层为绝缘层,上铜层为复合层,其中上铜层的结构由上表面的铜层、中部的TPG网络-铜混合体和下部的陶瓷金属化层组成,陶瓷金属化层是直接在陶瓷层上制作而成,上表面的铜层在表面上通过焊料焊接功率半导体芯片,中部的TPG网络-铜混合体是由TPG网络骨架和填充于其中的铜组成。
优选地,TPG网络骨架的上端与上表面的铜层相接触,而TPG网络骨架的下端与陶瓷金属化层相接触。进一步,TPG网络骨架由多个相互连接的多边形TPG网络骨架单元组成。其中,组成TPG网络骨架的多边形TPG网络骨架单元呈正方形、矩形、三角形或者六边形。
在优选方案中,上铜层的各复合层的厚度为:上表面的铜层的厚度为0.05~0.2mm;中部TPG网络-铜混合体的厚度为0.5~2.5mm;下部陶瓷金属化层的厚度为0~0.1mm。
另外,陶瓷层为氧化铝陶瓷层、氮化铝陶瓷层或者氮化硅陶瓷层,其厚度为0.3~2mm。
进一步,背铜层厚度为0~0.5mm。
有益效果:本实用新型所公开的功率模块的高导热基板,集绝缘、导热、电路连接于一体,更适用于具有更高集成度的器件。本实用新型的高导热基板由三层构成,电路图案层/陶瓷绝缘层/背铜层,其中电路图案层由铜层内嵌高定向热解石墨(TPG)网格,用以增强功率模块芯片在工作时热量损耗在水平方向上的扩散,具有更好的散热导热性能,热量散布快速而均匀,从而均匀、快速且稳定地降低芯片工作时的温度,提高功率模块的工作寿命。
附图说明
图1是本实用新型的导热基板的结构示意图。
在图中:1、TPG网络;2、上铜层;3、陶瓷层;4、背铜层;5、功率半导体芯片;6、焊料。
具体实施方式
下面将结合附图来进一步详细说明本实用新型。
本实用新型公开了一种用于功率模块的高导热基板,集绝缘、导热、电路连接于一体。一般而言,用于功率模块的基板由三层构成,即电路图案层/陶瓷绝缘层/背铜层。电路图案层为连接功率半导体芯片的层,一般由铜构成。铜下方为陶瓷绝缘层,陶瓷绝缘层通过或不通过背铜层与底板焊接在一起。
参见图1,本实用新型的高导热基板也是由三层构成,即上铜层2、陶瓷层3和背铜层4,其中上铜层即为电路图案层,其上通过焊料6焊接功率半导体芯片5。但是不同之处在于,本实用新型的上铜层为复合层,其中由铜层内嵌高定向热解石墨(TPG)网络1,用以增强功率模块芯片在工作时热量损耗在水平方向上的扩散,从而降低芯片工作时的温度,提高功率模块的工作寿命。
在本实用新型的上铜层复合层中,外表即上表面为铜层,厚度为0.05~0.2mm;中心为多边形TPG网络和铜的混合体,厚度0.5~2.5mm;下层为陶瓷金属化层,厚度为0~0.1mm,该陶瓷金属化层直接制作在陶瓷上。
陶瓷层的陶瓷材料可以是氧化铝陶瓷,氮化铝陶瓷,或者氮化硅陶瓷,厚度为0.3~2mm。
背铜层用于将基板焊接到功率模块底板上,以增大芯片并联数量,厚度为0~0.5mm,其中当厚度为0时,表明直接将陶瓷与散热器安装在一起。
TPG网络是由多边形TPG网络单元组成,其中多边形TPG网络单元的形状可以是正方形、矩形、三角形或者六边形网络,其中TPG填充面积比为36%~50%。
数值计算表明,使用本实用新型的TPG网络填充的高导热基板,与不填充TPG的常规纯铜陶瓷基板相比,在100W热损耗的情况下,芯片结温可以降低6~15℃,有效提高模块运行的可靠性。
上面结合附图对本实用新型的实施方式作了详细的说明,但是本实用新型不限于上述实施方式,在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内,还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下做出各种变化。

Claims (8)

1.一种用于功率模块的高导热基板,其特征在于,所述高导热基板由上铜层、陶瓷层和背铜层组成,背铜层通过焊接连接到功率模块底板上,陶瓷层为绝缘层,上铜层为复合层,其中上铜层的结构由上表面的铜层、中部的TPG网络-铜混合体和下部的陶瓷金属化层组成,陶瓷金属化层是直接在陶瓷层上制作而成,上表面的铜层在表面上通过焊料焊接功率半导体芯片,中部的TPG网络-铜混合体是由TPG网络骨架和填充于其中的铜组成。
2.如权利要求1所述的用于功率模块的高导热基板,其特征在于,TPG网络骨架的上端与上表面的铜层相接触,而TPG网络骨架的下端与陶瓷金属化层相接触。
3.如权利要求2所述的用于功率模块的高导热基板,其特征在于,TPG网络骨架由多个相互连接的多边形TPG网络骨架单元组成。
4.如权利要求3所述的用于功率模块的高导热基板,其特征在于,组成TPG网络骨架的多边形TPG网络骨架单元呈正方形、矩形、三角形或者六边形。
5.如权利要求1所述的用于功率模块的高导热基板,其特征在于,TPG网络的填充面积比为36%~50%。
6.如权利要求1所述的用于功率模块的高导热基板,其特征在于,上铜层的各复合层的厚度为:上表面的铜层的厚度为0.05~0.2mm;中部TPG网络-铜混合体的厚度为0.5~2.5mm;下部陶瓷金属化层的厚度为0~0.1mm。
7.如权利要求1所述的用于功率模块的高导热基板,其特征在于,陶瓷层为氧化铝陶瓷层、氮化铝陶瓷层或者氮化硅陶瓷层,其厚度为0.3~2mm。
8.如权利要求1所述的用于功率模块的高导热基板,其特征在于,背铜层厚度为0~0.5mm。
CN201820324077.8U 2018-03-09 2018-03-09 一种用于功率模块的高导热基板 Active CN208014679U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201820324077.8U CN208014679U (zh) 2018-03-09 2018-03-09 一种用于功率模块的高导热基板

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201820324077.8U CN208014679U (zh) 2018-03-09 2018-03-09 一种用于功率模块的高导热基板

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN208014679U true CN208014679U (zh) 2018-10-26

Family

ID=63887488

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201820324077.8U Active CN208014679U (zh) 2018-03-09 2018-03-09 一种用于功率模块的高导热基板

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN208014679U (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104716109B (zh) 具有降低热串扰的热管理部件的封装件及其形成方法
EP1848035B1 (en) Semiconductor device with integrated heat spreader
CN203481273U (zh) 一种基于AlSiC复合基板的LED光源模块
CN101308838B (zh) 一种高导通电压倒装led集成芯片及制造方法
CN102683570A (zh) 一种复合陶瓷基板封装的白光led及其制备方法
CN102222625A (zh) 发光二极管封装结构及其基座的制造方法
CN101051634B (zh) 硅衬底平面led集成芯片及制造方法
TWI290375B (en) Die pad arrangement and bumpless chip package applying the same
CN101478024B (zh) Led硅封装单元
CN103794580B (zh) 一种绝缘互联散热板及功率模块
JP2005011922A (ja) ヒートシンクを備えた両面銅貼り基板、およびこれを用いた半導体装置
CN201986260U (zh) 一种复合pcb板
CN202444696U (zh) 一种高导热性组合线路板
CN208014679U (zh) 一种用于功率模块的高导热基板
WO2018018961A1 (zh) Pcb板、pcb板的制造方法及移动终端
CN207338428U (zh) 一种陶瓷基板的封装结构
CN203521463U (zh) 一种高导热的led-cob封装基板
CN102368529A (zh) 一种大功率led光源封装结构
CN212517193U (zh) 一种高导热率碳化硅器件封装结构
CN202003978U (zh) 具金刚石导热厚膜的发热组件导热基座结构
CN202524652U (zh) 一种高导热性组合线路板
CN102569546B (zh) 晶粒结构、其制造方法及其基板结构
CN105914283A (zh) 散热基板、功率模块及制备散热基板的方法
CN201985161U (zh) 堆栈式散热模组
CN202134575U (zh) Led散热基板

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant