CN208013061U - 一种用于进行高温光致发光谱测量的样品台 - Google Patents

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梁李敏
解新建
张兴华
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Abstract

本实用新型为一种用于进行高温光致发光谱测量的样品台,所述的样品台包括装样台、样品盖、样品支架和保温套;装样台为竖直放置的圆盘,其左侧中心同轴设置有圆形凹槽;样品盖为装有石英玻璃的中空样品盖,通过螺纹连接盖在样品凹槽上;装样台的右侧凹槽内,设置有热电偶;热电偶的外面,贴合放置圆形加热片,圆形加热片的中心与反Z型样品支架的一端相连;装样台固定于中空圆柱型保温套中。本实用新型样品台便于对装样台进行局部加热,可以用于测量室温到300℃的光致发光吸收谱,设定温度和实际样品温度的温度误差在1℃以内。

Description

一种用于进行高温光致发光谱测量的样品台
技术领域
本实用新型涉及光致发光谱、光吸收谱测量技术领域,具体涉及一种用于进行高温光致发光谱、光吸收谱测量的样品台。
背景技术
光致发光谱仪是半导体领域的普遍检测设备,可以快速、便捷地表征半导体材料的缺陷、杂质以及材料的发光性能,一直以来光致发光谱测量设备都是研究半导体材料不可缺少的,常规的光致发光谱设备配备的一般是低温和常温,样品架只用来放置样品,不具备有控温功能,低温测量时通过外部制冷装置使样品腔处于真空低温环境下,测量样品台上样品的低温发光性能。但是,一些特殊的样品需要测量其高温热致发光性能,光致发光设备并没有配备高温测量配件,且现有的样品架无法直接安装加热片,为了满足科研的需要,需要研制用于进行高温光致发光谱测量的样品台。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是,在原有光致发光设备的基础上,针对现有光致发光设备高温测量的不足,搭建了一个用于进行高温测量的样品台,该样品台利用放置于装样台底部的加热片只对装样台进行加热,装样台固定在密封保温套中,避免高温扩散到光致发光设备样品腔内,给设备寿命和器件带来损伤。本实用新型专利设计的样品台结构可以保证样品高温温度的准确性和稳定性,解决光致发光谱测量仪高温测量的不足,从而扩展了样品温度测试范围,进一步探索和了解样品的内部信息。
本实用新型的技术方案为:
一种用于进行高温光致发光谱测量的样品台,所述的样品台包括装样台、样品盖、样品支架和保温套;
所述的装样台为竖直放置的圆盘,其左侧中心同轴设置有圆形凹槽;样品盖通过螺纹连接盖在样品凹槽上;装样台的右侧凹槽内,设置有热电偶;热电偶的外面,贴合放置圆形加热片,圆形加热片的中心与样品支架的一端相连;
所述的圆形样品盖中间开孔,石英玻璃嵌入于样品盖内,中间开孔的孔直径与装样台左侧的圆形凹槽的内径相同;
所述的样品支架为反Z型样品支架,样品支架的一端固定圆形加热片,另一端固定在保温套盖上;固定螺丝穿过样品支架的竖杆,将其固定在装样台的外沿;样品支架的上横杆固定在保温套盖上;
所述的装样台位于保温套中,圆形凹槽的底部平面的中心位于保温套的中轴上;所述的保温套为中空圆柱型保温套,保温套的外壁上开有入射光孔和出射光孔,光孔内镶嵌有石英玻璃片,两个光孔的直径与圆形凹槽的内径相同,入射光孔的中心、出射光孔中心与圆形凹槽中心的水平高度相等,并且入射光孔的中心、出射光孔中心与圆形凹槽中心的连线均与圆形凹槽的底部平面呈45度角。
本实用新型具有以下有益效果:
本实用新型通过加热片使装样台产生高温,样品紧压于装样台左侧的样品凹槽内,热电偶测量样品台的实际温度,当实际温度到达预设温度且稳定时,对样品进行测量。该样品台可以应用于测量室温到300℃的光致发光吸收谱,设定温度和实测温度的温度误差在1℃以内。装样台放置于聚四氟乙烯保温套内,使样品处于局部稳定的高温环境中,避免了高温对仪器设备造成损伤。
附图说明
图1是本实用新型中用于进行高温光致发光谱测试的样品台的结构示意图;
图2是本实用新型中装样台和样品支架的结构示意图;
图3是本实用新型中装样台外部的保温套的结构示意图;
图中,1-装样台,2-样品凹槽,3-样品盖,4-石英玻璃,5-热电偶,6-加热片,7-样品支架,8-固定螺丝,9-固定螺丝,10-导线,11-保温套,12-保温套盖,13入射光孔,14-出射光孔,15保温套盖孔洞。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型进行详细说明。
参照图1-图3所示,本实用新型提供的一种实用例中用于进行高温光致发光谱测试的样品台,包括装样台1、样品盖3、样品支架7和保温套11;
所述的装样台1为竖直放置的圆盘,其右侧为底部,左侧中心同轴设置有圆形凹槽2;样品盖3通过螺纹连接盖在样品凹槽2上;装样台1的右侧凹槽内,设置有热电偶5;热电偶5的外面,贴合放置圆形加热片6,圆形加热片6的中心与样品支架7的一端相连;
所述的圆形样品盖3中间开孔,石英玻璃4嵌入于样品盖3内,将样品盖3的开孔密封;中间开孔的孔直径与装样台1左侧的圆形凹槽2的内径相同;
所述的样品支架7为反Z型样品支架,样品支架7的一端固定圆形加热片6,另一端固定在保温套盖12上;固定螺丝8穿过样品支架7的竖杆,将其固定在装样台1的外沿;固定螺丝9穿过样品支架7的上横杆,将其固定在保温套上盖12上;
所述的装样台1位于保温套11中,圆形凹槽2的底部平面的中心位于保温套11的中轴上;所述的保温套11为中空圆柱型保温套,保温套的外壁上开有入射光孔13和出射光孔14,光孔内镶嵌有石英玻璃片,两个光孔的直径与圆形凹槽2的内径相同,入射光孔的中心、出射光孔中心与圆形凹槽2中心的水平高度相等,并且入射光孔的中心、出射光孔中心与圆形凹槽2中心的连线均与圆形凹槽2的底部平面呈45度角,即两个光孔中心与圆形凹槽2的中心位于同一平面内且呈90度角;
所述的加热片6和热电偶5的四根导线10通过保温套盖12的孔洞15引出,连接外部的温控设备;加热片6的设置实现了只对样品进行加热,装样台1放置于密封的保温套11中,避免高温扩散到样品腔内,同时使样品处于恒定温度下;加热片6的加热电流通过外部的温控器来设置,热电偶5采集装样台1的实际温度,待热电偶5测量温度与设定温度一致时,开始光致发光谱测量。
所述的装样台1为铜质样品台。
所述的装样台1的顶部设有样品凹槽2,凹槽2用于放置样品,样品可以为粉末或片状样品。当样品为粉末时,粉末直接放入凹槽内并充满,用盖子盖上即可,样品盖内石英玻璃紧贴在样品凹槽的外沿上,确保入射光打在样品上;当样品是粉末压片或片状固体时,在样品盖内加装固定弹簧,保证片状样品紧贴样品凹槽底部。本实施方式采用的样品为粉末样品。
所述的样品装入样品凹槽2后,通过样品盖3拧紧固定。
所述的样品盖3为中间开孔的纯铜盖子,样品盖3内嵌入放置石英玻璃4,密封样品,石英玻璃4窗口可以保证入射光和出射光通过。
所述的样品支架7为不锈钢支架。
所述的加热片6为圆形加热陶瓷片。
所述的加热片6嵌入放置于装样台1的底部凹槽中,通过螺丝8将加热片6紧压固定于底部凹槽内。
装样台1的底部设有孔洞,热电偶5插入装样台1的底部孔洞中;所述的热电偶5为铠装热电偶。
所述的加热片6和热电偶5分别引出两根电流导线,四根导线10通过保温套盖子12的孔洞15引入,连接外部的温控仪器。
所述的保温套11和保温套盖12的材质为聚四氟乙烯。
所述的入射光从保温套11侧壁的入射光孔13进入,照射到样品上,经样品反射后从出射光孔14射出。
本实用新型的工作原理:
本实用新型专利涉及一种可以进行高温光致发光谱测量的样品台结构,使用本样品台的仪器可以进行样品的高温光致发光谱测量。样品装入样品凹槽2内,用样品盖3拧紧固定,通过外部温控设备设置测量温度,待热电偶5的检测温度与设定温度一致时,可以开始高温光致发光谱的吸收测量。该样品台可以应用于测量室温到300℃的光致发光吸收谱,设定温度和实际样品温度的温度误差在1℃以内。
本实用新型未尽事宜为公知技术。

Claims (2)

1.一种用于进行高温光致发光谱测量的样品台,其特征为所述的样品台包括装样台、样品盖、样品支架和保温套;
所述的装样台为竖直放置的圆盘,其左侧中心同轴设置有圆形凹槽;样品盖通过螺纹连接盖在样品凹槽上;装样台的右侧凹槽内,设置有热电偶;热电偶的外面,贴合放置圆形加热片,圆形加热片的中心与样品支架的一端相连;
所述的样品盖中间开孔,石英玻璃嵌入于样品盖内,中间开孔的孔直径与装样台左侧的圆形凹槽的内径相同;
所述的装样台位于保温套中,圆形凹槽的底部平面的中心位于保温套的中轴上;所述的保温套为中空圆柱型保温套,保温套的外壁上开有入射光孔和出射光孔,光孔内镶嵌有石英玻璃片,两个光孔的直径与圆形凹槽的内径相同,入射光孔的中心、出射光孔中心与圆形凹槽中心的水平高度相等,并且入射光孔的中心、出射光孔中心与圆形凹槽中心的连线均与圆形凹槽的底部平面呈45度角。
2.如权利要求1所述的用于进行高温光致发光谱测量的样品台,其特征为所述的样品支架为反Z型样品支架,样品支架的一端固定圆形加热片,另一端固定在保温套盖上;固定螺丝穿过样品支架的竖杆,将其固定在装样台的外沿;样品支架的上横杆固定在保温套盖上。
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