CN207991287U - 微型水冷可调整电极、真空炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及真空炉技术领域，公开了一种微型水冷可调整电极和真空炉，电极包括外电极杆、电极座、与外电极杆可拆卸连接的内电极杆；外电极杆内设有水冷通道，水冷通道连通有进水口和出水口；外电极杆外套设有密封圈、密封圈压套和绝缘压板；密封圈压套套在密封圈外，以将密封圈压紧在外电极杆上，绝缘压板位于密封圈压套一侧；电极座套设在外电极杆上，且与密封压套通过紧固件连接，电极座与外电极杆之间不接触；内电极杆外套设有绝缘套。本实用新型提供的微型水冷可调整电极，尺寸小、节省安装空间，同时实现了电极安装位置的可调整，方便使用过程中对内电极杆进行维修与更换；电极结构简单，安装方便，有利于降低生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空炉技术领域，特别是涉及一种微型水冷可调整电极和真空炉。
背景技术
真空烤盘炉是LED制造行业的一种新型真空设备，与MOCVD(Metal-organicChemical Vapor Deposition，金属有机化合物化学气相沉淀)设备配套使用。电极是真空烤盘炉上的重要部件，与烤盘炉内部的电加热元件电气连接，且需工作在高温环境下。为了延长电极的使用寿命，现有的电极内部大多设置有水冷通道，水冷通道连通有进水口和出水口。
现有的水冷电极往往通过法兰盘固定连接在电极座上，整体的尺寸较大，占用空间大，安装不方便，不利于真空炉的小型化和生产成本的降低。此外，电极在使用过程中会发生损耗，而现有的固定式安装的电极不利于使用过程中电极位置的调整。
实用新型内容
(一)要解决的技术问题
本实用新型的目的是提供一种微型水冷可调整电极和真空炉，以解决现有的水冷电极尺寸大、不方便实现位置调整的缺陷。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种微型水冷可调整电极，其特征在于，包括：外电极杆、电极座、与所述外电极杆可拆卸连接的内电极杆；
所述外电极杆内设有水冷通道，所述水冷通道连通有进水口和出水口；
所述外电极杆外套设有密封圈、密封圈压套和绝缘压板；所述密封圈压套套在所述密封圈外，以将所述密封圈压紧在所述外电极杆上，所述绝缘压板位于所述密封圈压套一侧；
所述电极座套设在所述外电极杆上，且与所述密封压套通过紧固件连接，所述电极座与所述外电极杆之间不接触；
所述内电极杆外套设有绝缘套。
其中，所述内电极杆的一端还设置有连接件，所述连接件用于连接所述内电极杆和真空炉中的加热器。
其中，所述外电极杆包括杆部和端部，所述水冷通道包括设置在所述杆部内的腔体，和固定设置在所述端部上且插入在所述腔体内的导水管；所述导水管连通有所述进水口，所述腔体连通有所述出水口。
其中，所述进水口和所述出水口临近设置在所述外电极杆的同侧。
其中，所述杆部与所述端部焊接连接。
其中，所述可拆卸连接为螺纹连接。
其中，所述外电极杆上还固定设置有用于连接电缆的铜块。
本实用新型还提供一种真空炉，配置有如上所述的微型水冷可调整电极；所述微型水冷可调整电极的电极座焊接在所述真空炉的壳体上。
(三)有益效果
本实用新型提供的微型水冷可调整电极，利用密封圈和密封压套的压紧作用，在起到密封效果的同时，还起到将外电极杆固定在电极座上的作用，省去了现有技术中通过法兰盘固定电极的操作，使得电极杆整体结构更紧凑、占用的空间更小，有利于真空炉的小型化；同时，由于利用的是密封圈的压紧力实现外电极杆的固定，使得电极杆在电极座的通孔内的位置可调，即在安装时，可调整外电极杆插入真空炉中的深度，实现了电极杆的可调整。本实用新型提供的微型水冷可调整电极，尺寸小、节省安装空间，同时实现了电极安装位置的可调整，方便使用过程中对内电极杆进行维修与更换；电极结构简单，安装方便，有利于降低生产成本。
附图说明
图1为本实用新型实施例提供的微型水冷可调整电极结构示意图；
图中，1、外电极杆；2、绝缘压板；3、电极座；4、内电极杆；5、绝缘套；6、出水口；7、密封圈；8、密封圈压套；9、连接件。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“端部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可视具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
图1为本实用新型实施例提供的微型水冷可调整电极结构示意图。如图1中所示，本实用新型提供了一种微型水冷可调整电极，包括：外电极杆1、电极座3、与外电极杆1可拆卸连接的内电极杆4，优选采用螺纹连接。
外电极杆1为铜质杆，杆内设有水冷通道，用于对电极杆进行冷却，水冷通道连通有进水口和出水口6。如图1中所示，外电极杆1包括杆部和端部，杆部与端部焊接连接。水冷通道包括设置在杆部内的腔体，和固定设置在端部上且插入在腔体内的导水管，导水管连通有进水口，腔体连通有出水口6。进行冷却时，冷水从进水口由导水管通入至腔体内，冷水从腔体的内壁吸热后升温，热水从出水口6流出，实现电极杆的降温。优选地，进水口和出水口6临近设置在外电极杆1的同侧，以使电极杆结构更紧凑、占用空间更小。外电极杆1外套设有密封圈7、密封圈压套8和绝缘压板2。密封圈7采用O型压紧密封圈7，密封圈压套8套在密封圈7外，以将密封圈7压紧在外电极杆1上，绝缘压板2位于密封圈压套8一侧，绝缘压板2的材质为尼龙。
电极座3的材质为不锈钢或其它金属材质。电极座3焊接在真空炉的外壳上。电极座3套设在外电极杆1上，且与密封压套通过紧固件连接，电极座3与外电极杆1之间不接触。
内电极杆4外套设有绝缘套5。因电极杆是通过炉体内隔热层与加热器进行连接，隔热层通常为金属或石墨材质，均为导电材料，通过绝缘套5与电极杆及隔热层的隔离，起到绝缘目的。绝缘套5套在电极杆上即可。
其中，内电极杆4的一端还设置有连接件9，连接件9用于连接内电极杆4和真空炉中的加热器。
为了保证内电极杆4的使用寿命，同时又实现成本控制，内电极杆4采用石墨电极杆，由普通石墨与高强石墨压紧为一体结构。普通石墨电极材料成本较低，高强石墨用在受力较多的结构中，成本高于普通石墨电极材料。
优选地，外电极杆1上还固定设置有用于连接电缆的铜块，如图1中绝缘压板2左侧的结构。
本实用新型还提供一种真空炉，配置有如上的微型水冷可调整电极。微型水冷可调整电极的电极座3焊接在真空炉的壳体上。
本实用新型提供的微型水冷可调整电极，利用密封圈和密封压套的压紧作用，在起到密封效果的同时，还起到将外电极杆固定在电极座上的作用，省去了现有技术中通过法兰盘固定电极的操作，使得电极杆整体结构更紧凑、占用的空间更小，有利于真空炉的小型化；同时，由于利用的是密封圈的压紧力实现外电极杆的固定，使得电极杆在电极座的通孔内的位置可调，即在安装时，可调整外电极杆插入真空炉中的深度，实现了电极杆的可调整。本实用新型提供的微型水冷可调整电极，尺寸小、节省安装空间，同时实现了电极安装位置的可调整，方便使用过程中对内电极杆进行维修与更换；电极结构简单，安装方便，有利于降低生产成本。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种微型水冷可调整电极，其特征在于，包括：外电极杆、电极座、与所述外电极杆可拆卸连接的内电极杆；
所述外电极杆内设有水冷通道，所述水冷通道连通有进水口和出水口；
所述外电极杆外套设有密封圈、密封圈压套和绝缘压板；所述密封圈压套套在所述密封圈外，以将所述密封圈压紧在所述外电极杆上，所述绝缘压板位于所述密封圈压套一侧；
所述电极座套设在所述外电极杆上，且与所述密封压套通过紧固件连接，所述电极座与所述外电极杆之间不接触；
所述内电极杆外套设有绝缘套。
2.如权利要求1所述的微型水冷可调整电极，其特征在于，所述内电极杆的一端还设置有连接件，所述连接件用于连接所述内电极杆和真空炉中的加热器。
3.如权利要求1所述的微型水冷可调整电极，其特征在于，所述外电极杆包括杆部和端部，所述水冷通道包括设置在所述杆部内的腔体，和固定设置在所述端部上且插入在所述腔体内的导水管；所述导水管连通有所述进水口，所述腔体连通有所述出水口。
4.如权利要求3所述的微型水冷可调整电极，其特征在于，所述进水口和所述出水口临近设置在所述外电极杆的同侧。
5.如权利要求3所述的微型水冷可调整电极，其特征在于，所述杆部与所述端部焊接连接。
6.如权利要求1所述的微型水冷可调整电极，其特征在于，所述可拆卸连接为螺纹连接。
7.如权利要求1所述的微型水冷可调整电极，其特征在于，所述外电极杆上还固定设置有用于连接电缆的铜块。
8.一种真空炉，其特征在于，配置有如权利要求1-7任一项所述的微型水冷可调整电极；所述微型水冷可调整电极的电极座焊接在所述真空炉的壳体上。
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| CN201820219029.2U CN207991287U (zh) | 2018-02-07 | 2018-02-07 | 微型水冷可调整电极、真空炉 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111006515A (zh) * | 2019-11-22 | 2020-04-14 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 电极组件及高温真空炉 |
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2018
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| CN111006515B (zh) * | 2019-11-22 | 2022-05-27 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 电极组件及高温真空炉 |
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