CN207964857U - 一种mems加速度计 - Google Patents
一种mems加速度计 Download PDFInfo
- Publication number
- CN207964857U CN207964857U CN201820191042.1U CN201820191042U CN207964857U CN 207964857 U CN207964857 U CN 207964857U CN 201820191042 U CN201820191042 U CN 201820191042U CN 207964857 U CN207964857 U CN 207964857U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- substrate
- rubber cap
- metal pins
- heat radiation
- lower substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 80
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 34
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 21
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 13
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 4
- 210000000481 breast Anatomy 0.000 claims description 3
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 239000002775 capsule Substances 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Micromachines (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种MEMS加速度计,包括上衬底与下衬底,所述上衬底的一侧外表面固定安装有散热侧衬底,所述上衬底的上端外表面一侧固定安装有金属引脚,且上衬底靠近金属引脚一侧的上端外表面设有螺钉,所述金属引脚的上端活动安装有引脚橡胶帽,且引脚橡胶帽的上端外表面固定安装有拉环,所述引脚橡胶帽靠近金属引脚的外表面固定安装有套环,所述下衬底设置在上衬底的下方,且下衬底靠近散热侧衬底的外表面设有边框。本实用新型所述的一种MEMS加速度计,设有引脚橡胶帽、散热侧衬底和热敏电阻,能够防止运输途中损坏引脚,并能将仪器产生的热量散发出去,而且能够保护内部电路,带来更好的使用前景。
Description
技术领域
本实用新型涉及速度测量领域,特别涉及一种MEMS加速度计。
背景技术
加速度计是一种惯性传感器,能够测量物体的加速力,加速力就是当物体在加速过程中作用在物体上的力,通过测量由于重力引起的加速度,可以计算出设备相对于水平面的倾斜角度,通过分析动态加速度,可以分析出设备移动的方式;现有的MEMS加速度计在使用时存在一定的弊端,加速度计的引脚为针状型,在运输和安装的过程中会擦伤人员,而且也会因外部的作用力损坏引脚,仪器内部产生的热量得不到及时的散发,会降低使用寿命,外部电路的异常会损坏内部的元件,给加速度计的使用带来了一定的影响,为此,我们提出一种MEMS加速度计。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种MEMS加速度计。
为了解决上述技术问题,本实用新型提供了如下的技术方案:
本实用新型一种MEMS加速度计,包括上衬底与下衬底,所述上衬底的一侧外表面固定安装有散热侧衬底,所述上衬底的上端外表面一侧固定安装有金属引脚,且上衬底靠近金属引脚一侧的上端外表面设有螺钉,所述金属引脚的上端活动安装有引脚橡胶帽,且引脚橡胶帽的上端外表面固定安装有拉环,所述引脚橡胶帽靠近金属引脚的外表面固定安装有套环,所述下衬底设置在上衬底的下方,且下衬底靠近散热侧衬底的外表面设有边框,所述下衬底通过边框和散热侧衬底与上衬底固定连接,所述下衬底的内部中间位置处固定安装有放大器,且下衬底靠近放大器上方的内壁固定安装有力矩器,所述放大器靠近力矩器一侧的上端外表面固定安装有加速度传感器,所述放大器的前端外表面固定安装有芯片,所述下衬底靠近芯片一侧的内壁固定安装有热敏电阻,且芯片与热敏电阻之间的位置处固定安装有导线。
优选的,所述散热侧衬底的外表面设有通孔,且散热侧衬底的数量为四组,通孔的数量为若干组。
优选的,所述引脚橡胶帽长度为金属引脚长度的二分之一,且引脚橡胶帽的内径等于金属引脚的外径,所述金属引脚与引脚橡胶帽的数量均为若干组。
优选的,所述下衬底的下端外表面设有防磁干扰外罩,防磁干扰外罩的外表面设有安装螺孔,所述上衬底的内表面设有防水夹层。
优选的,所述螺钉的数量为两组,所述套环的外表面设有防滑条纹,防滑条纹的数量为若干组。
优选的,所述热敏电阻与芯片电性连接,所述加速度传感器与放大器电性连接。
本实用新型所达到的有益效果是:该MEMS加速度计,通过设置的引脚橡胶帽,可以将它覆盖在金属引脚的表面,不仅能防止金属引脚擦伤人员,也能保护金属引脚不被破坏,通过设置的散热侧衬底,能够将元件产生的热量及时散发出去,延长加速度计的使用寿命,通过设置的热敏电阻,当外部电路异常时,能够阻断电路,保护内部元件,整个装置简单,操作方便,使用效果相对于传统方式更好。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
图1是本实用新型的结构示意图;
图2为本实用新型的局部视图;
图3为本实用新型的图2中A处的放大图;
图4为本实用新型的下衬底的内部视图。
图中:1、上衬底;2、螺钉;3、金属引脚;4、散热侧衬底;5、边框;6、下衬底;7、引脚橡胶帽;8、拉环;9、套环;10、热敏电阻;11、导线;12、芯片;13、加速度传感器;14、力矩器;15、放大器。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
实施例1
如图1-4所示,一种MEMS加速度计,包括上衬底1与下衬底6,上衬底1的一侧外表面固定安装有散热侧衬底4,上衬底1的上端外表面一侧固定安装有金属引脚3,且上衬底1靠近金属引脚3一侧的上端外表面设有螺钉2,金属引脚3的上端活动安装有引脚橡胶帽7,且引脚橡胶帽7的上端外表面固定安装有拉环8,引脚橡胶帽7靠近金属引脚3的外表面固定安装有套环9,下衬底6设置在上衬底1的下方,且下衬底6靠近散热侧衬底4的外表面设有边框5,下衬底6通过边框5和散热侧衬底4与上衬底1固定连接,下衬底6的内部中间位置处固定安装有放大器15,且下衬底6靠近放大器15上方的内壁固定安装有力矩器14,放大器15靠近力矩器14一侧的上端外表面固定安装有加速度传感器13,放大器15的前端外表面固定安装有芯片12,下衬底6靠近芯片12一侧的内壁固定安装有热敏电阻10,且芯片12与热敏电阻10之间的位置处固定安装有导线11。
散热侧衬底4的外表面设有通孔,且散热侧衬底4的数量为四组,通孔的数量为若干组;引脚橡胶帽7长度为金属引脚3长度的二分之一,且引脚橡胶帽7的内径等于金属引脚3的外径,金属引脚3与引脚橡胶帽7的数量均为若干组;下衬底6的下端外表面设有防磁干扰外罩,防磁干扰外罩的外表面设有安装螺孔,上衬底1的内表面设有防水夹层;螺钉2的数量为两组,套环9的外表面设有防滑条纹,防滑条纹的数量为若干组;热敏电阻10与芯片12电性连接,加速度传感器13与放大器15电性连接。
需要说明的是,本实用新型为一种MEMS加速度计,在使用时,上衬底1和下衬底6以及边框5构成加速计的整体结构,螺钉2使上衬底1和下衬底6成为一个整体,将引脚橡胶帽7从金属引脚3的表面取下,否则向下捻推套环9,使引脚橡胶帽7覆盖在金属引脚3的表面,不仅能防止金属引脚3擦伤人员,也能保护金属引脚3不被破坏,通过金属引脚3将加速度计安装在相应的外部仪器上,加速度传感器13能够感应到速度的变化,放大器15能对感应到的信号进行放大,热敏电阻10能够在外部电路异常时,阻断导线11中的电流电路,保护内部芯片12,能够防止内部的电路受到外部电路的影响,增大加速计的稳定性,由于散热侧衬底4的表面设有通孔,使加速计由原来的封闭式的结构变为与外界可以进行气体交流的结构,能够将能够元件产生的热量及时散发出去,延长加速度计的使用寿命,加速度传感器13的型号为IE-2002-FROG,较为实用。
最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种MEMS加速度计,包括上衬底(1)与下衬底(6),其特征在于:所述上衬底(1)的一侧外表面固定安装有散热侧衬底(4),所述上衬底(1)的上端外表面一侧固定安装有金属引脚(3),且上衬底(1)靠近金属引脚(3)一侧的上端外表面设有螺钉(2),所述金属引脚(3)的上端活动安装有引脚橡胶帽(7),且引脚橡胶帽(7)的上端外表面固定安装有拉环(8),所述引脚橡胶帽(7)靠近金属引脚(3)的外表面固定安装有套环(9),所述下衬底(6)设置在上衬底(1)的下方,且下衬底(6)靠近散热侧衬底(4)的外表面设有边框(5),所述下衬底(6)通过边框(5)和散热侧衬底(4)与上衬底(1)固定连接,所述下衬底(6)的内部中间位置处固定安装有放大器(15),且下衬底(6)靠近放大器(15)上方的内壁固定安装有力矩器(14),所述放大器(15)靠近力矩器(14)一侧的上端外表面固定安装有加速度传感器(13),所述放大器(15)的前端外表面固定安装有芯片(12),所述下衬底(6)靠近芯片(12)一侧的内壁固定安装有热敏电阻(10),且芯片(12)与热敏电阻(10)之间的位置处固定安装有导线(11)。
2.根据权利要求1所述的一种MEMS加速度计,其特征在于:所述散热侧衬底(4)的外表面设有通孔,且散热侧衬底(4)的数量为四组,通孔的数量为若干组。
3.根据权利要求1所述的一种MEMS加速度计,其特征在于:所述引脚橡胶帽(7)长度为金属引脚(3)长度的二分之一,且引脚橡胶帽(7)的内径等于金属引脚(3)的外径,所述金属引脚(3)与引脚橡胶帽(7)的数量均为若干组。
4.根据权利要求1所述的一种MEMS加速度计,其特征在于:所述下衬底(6)的下端外表面设有防磁干扰外罩,防磁干扰外罩的外表面设有安装螺孔,所述上衬底(1)的内表面设有防水夹层。
5.根据权利要求1所述的一种MEMS加速度计,其特征在于:所述螺钉(2)的数量为两组,所述套环(9)的外表面设有防滑条纹,防滑条纹的数量为若干组。
6.根据权利要求1所述的一种MEMS加速度计,其特征在于:所述热敏电阻(10)与芯片(12)电性连接,所述加速度传感器(13)与放大器(15)电性连接。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201820191042.1U CN207964857U (zh) | 2018-02-05 | 2018-02-05 | 一种mems加速度计 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201820191042.1U CN207964857U (zh) | 2018-02-05 | 2018-02-05 | 一种mems加速度计 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN207964857U true CN207964857U (zh) | 2018-10-12 |
Family
ID=63736972
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201820191042.1U Active CN207964857U (zh) | 2018-02-05 | 2018-02-05 | 一种mems加速度计 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN207964857U (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108254585A (zh) * | 2018-02-05 | 2018-07-06 | 安徽微泰导航电子科技有限公司 | 一种mems加速度计 |
CN108254585B (zh) * | 2018-02-05 | 2024-05-31 | 安徽微泰导航电子科技有限公司 | 一种mems加速度计 |
-
2018
- 2018-02-05 CN CN201820191042.1U patent/CN207964857U/zh active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108254585A (zh) * | 2018-02-05 | 2018-07-06 | 安徽微泰导航电子科技有限公司 | 一种mems加速度计 |
CN108254585B (zh) * | 2018-02-05 | 2024-05-31 | 安徽微泰导航电子科技有限公司 | 一种mems加速度计 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN206459751U (zh) | 一种红外线温度监控仪 | |
CN207964857U (zh) | 一种mems加速度计 | |
CN103091066B (zh) | 高超声速流动皮托压力传感器保护装置 | |
CN107228989A (zh) | 一种绝缘密封结构的mems电场传感器 | |
CN208238978U (zh) | 针式光纤光栅温度传感器 | |
CN108254585A (zh) | 一种mems加速度计 | |
CN207675297U (zh) | 一种测量噪声暴露量的噪声剂量计 | |
CN108020333A (zh) | 一种用于飞行器的温度探头及装配方法 | |
CN105698859B (zh) | 用于列车走行部状态监测的多参量传感器 | |
CN206920015U (zh) | 一种全自动双轴轴承振动检测仪 | |
CN207036280U (zh) | 一种新型传感器 | |
CN206847822U (zh) | 一种多功能的高精度壁面温度测量装置 | |
CN206113955U (zh) | 一种基于六加速度计无陀螺惯性测量单元结构 | |
CN207180739U (zh) | 一种磁性底座及其温度和振动一体化传感器 | |
CN207780057U (zh) | 直流配电智能检测器 | |
CN207751547U (zh) | 一种具有自动报警功能的玻璃转子流量计 | |
CN208617155U (zh) | 一种电梯易用性测试装置 | |
GB830211A (en) | Improvements relating to the measurement of fluid velocity | |
CN111119907B (zh) | 温度监测装置和掘进设备 | |
CN214843660U (zh) | 一种高温磁吸式温度传感器 | |
CN209311517U (zh) | 一种耐高温的石英挠性加速度计 | |
CN208238965U (zh) | 一种便于悬挂的防摔式电子体温计 | |
CN113027355A (zh) | 一种新型测井仪器扶正堵头 | |
CN207148228U (zh) | 一种绝缘密封结构的mems电场传感器 | |
CN207440166U (zh) | 一种电力设备维护的自动检测设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of utility model: A MEMS accelerometer Granted publication date: 20181012 Pledgee: Agricultural Bank of China Limited by Share Ltd. Chizhou branch Pledgor: ANHUI WEITAI NAVIGATION ELECTRONIC TECHNOLOGY CO.,LTD. Registration number: Y2024980005167 |