CN207800573U - 一种硅片浮动支撑机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片浮动支撑机构，包括支架、气缸、斜面推头、连接杆、放料板、定位片、避让槽、支撑夹紧机构，手动将硅片放置在放料板上，定位片对硅片进行限位，随后，气缸回程，4件对称布置的支撑夹紧机构同时工作，弹簧复位推动楔形块沿滑轨向斜面推头移动，从而带动支撑杆移动，进而带动4件对称布置的支撑夹紧机构收缩合拢，支撑杆沿避让槽上移，直到4件对称布置的支撑杆将硅片托起，随着斜面推头的进一步下移，弹簧进一步复位带动4件对称布置的支撑杆将硅片夹紧。该装置结构简单，自动将硅片托起、夹紧，硅片夹紧时处于“浮动”状态，避免硅片与夹具或支撑部件大面积接触，防止硅片产生二次污染。

Description

一种硅片浮动支撑机构

技术领域

本实用新型涉及一种机械装置，尤其涉及一种硅片浮动支撑机构。

背景技术

半导体器件生产中硅片须经严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，清除污染的方法有物理清洗和化学清洗，物理清洗主要是采用刷洗或擦洗的方法将硅片表面杂质去除，在实际生产中，不管是刷洗还是擦洗往往是对硅片的上下两个表面分别清洗，由于清洗时往往将硅片放置在支撑机构上，当清洗好上表面后再翻转180°清洗下表面时，清洗好的上表面与支撑机构接触后易产生二次污染。鉴于以上缺陷，实有必要设计一种硅片浮动支撑机构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片浮动支撑机构，该硅片浮动支撑机构自动将硅片托起、夹紧，硅片夹紧时处于“浮动”状态，避免硅片与夹具或支撑部件大面积接触，防止硅片产生二次污染。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种硅片浮动支撑机构，包括支架、气缸、斜面推头、连接杆、放料板、定位片、避让槽、沿所述斜面推头对称布置数量为4件的支撑夹紧机构，所述的气缸位于支架下端，所述的气缸与支架通过螺栓相连，所述的斜面推头位于气缸上端且贯穿支架，所述的斜面推头与气缸螺纹相连，所述的连接杆位于斜面推头上端，所述的连接杆与斜面推头螺纹相连，所述的放料板位于连接杆上端，所述的放料板与连接板螺纹相连，所述的定位片位于放料板侧面，所述的定位片与放料板通过螺栓相连，所述的避让槽数量为4件，沿放料板对称布置；

所述的支撑夹紧机构还包括导套、第一导杆、楔形块、弹簧、支撑杆、L形护套，所述的导套位于支架上端，所述的导套与支架通过螺栓相连，所述的第一导杆贯穿导套，所述的第一导杆可以沿导套左右滑动，所述的楔形块位于第一导杆外侧且位于支架上端，所述的楔形块与第一导杆螺纹相连且与支架通过螺栓相连，所述的弹簧位于第一导杆外侧且位于楔形块和导套之间，所述的支撑杆位于楔形块上端，所述的支撑杆与楔形块焊接相连，所述的L形护套位于支撑杆顶部，所述的L形护套护与支撑杆粘接相连，4件对称布置的L形护套806组成夹紧定位区域，将硅片精确定位、夹紧。

本实用新型进一步的改进如下：

进一步的，所述的连接杆数量为3件，均布于斜面推头。

进一步的，所述的斜面推头还设有第二导杆，所述的第二导杆位于斜面推头下端且贯穿支架，所述的第二导杆与斜面推头螺纹相连，所述的第二导杆可以沿支架上下滑动。

进一步的，所述的楔形块还设有滑轨，所述的滑轨位于支架上端且贯穿楔形块，所述的滑轨与支架通过螺栓相连，所述的楔形块可以沿滑轨左右滑动。

进一步的，所述的第一导杆还设有限位头，所述的限位头与第一导杆一体相连。

进一步的，所述的限位头还设有防撞垫，所述的防撞垫与限位头粘接相连。

与现有技术相比，该硅片浮动支撑机构，初始状态下，气缸处于伸出状态，斜面推头的外侧与支撑杆接触，而且，放料板的高度高于支撑杆的高度，手动将硅片放置在放料板上，定位片对硅片进行限位，防止硅片滑落，随后，气缸回程，当斜面推头与楔形块接触后，随着气缸的继续回程，4件对称布置的支撑夹紧机构同时工作，弹簧复位推动楔形块沿滑轨向斜面推头移动，从而带动支撑杆移动，进而带动4件对称布置的支撑夹紧机构收缩合拢，由于放料板随斜面推头下移，因此，支撑杆沿避让槽上移，直到4件对称布置的支撑杆将硅片托起，随着斜面推头的进一步下移，弹簧进一步复位带动4件对称布置的支撑杆将硅片夹紧。该装置结构简单，自动将硅片托起、夹紧，硅片夹紧时处于“浮动”状态，避免硅片与夹具或支撑部件大面积接触，防止硅片产生二次污染。

附图说明

图1示出本实用新型主视图

图2示出本实用新型支撑夹紧机构结构示意图

图中：支架1、气缸2、斜面推头3、连接杆4、放料板5、定位片6、避让槽7、支撑夹紧机构8、第二导杆301、导套801、第一导杆802、楔形块803、弹簧804、支撑杆805、L形护套806、滑轨807、限位头808、防撞垫809。

具体实施方式

如图1、图2所示，一种硅片浮动支撑机构，包括支架1、气缸2、斜面推头3、连接杆4、放料板5、定位片6、避让槽7、沿所述斜面推头3对称布置数量为4件的支撑夹紧机构8，所述的气缸2位于支架1下端，所述的气缸2与支架1通过螺栓相连，所述的斜面推头3位于气缸2上端且贯穿支架1，所述的斜面推头3与气缸2螺纹相连，所述的连接杆4位于斜面推头3上端，所述的连接杆4与斜面推头3螺纹相连，所述的放料板5位于连接杆4上端，所述的放料板5与连接板4螺纹相连，所述的定位片6位于放料板5侧面，所述的定位片6与放料板5通过螺栓相连，所述的避让槽7数量为4件，沿放料板5对称布置，所述的支撑夹紧机构8还包括导套801、第一导杆802、楔形块803、弹簧804、支撑杆805、L形护套806，所述的导套801位于支架1上端，所述的导套801与支架1通过螺栓相连，所述的第一导杆802贯穿导套801，所述的第一导杆802可以沿导套801左右滑动，所述的楔形块803位于第一导杆外802侧且位于支架1上端，所述的楔形块803与第一导杆802螺纹相连且与支架1通过螺栓相连，所述的弹簧804位于第一导杆802外侧且位于楔形块803和导套801之间，所述的支撑杆805位于楔形块803上端，所述的支撑杆805与楔形块803焊接相连，所述的L形护套806位于支撑杆805顶部，所述的L形护套护806与支撑杆805粘接相连，4件对称布置的L形护套806组成夹紧定位区域，将硅片精确定位、夹紧，所述的连接杆4数量为3件，均布于斜面推头3，所述的斜面推头3还设有第二导杆301，所述的第二导杆301位于斜面推头3下端且贯穿支架1，所述的第二导杆301与斜面推头3螺纹相连，所述的第二导杆301可以沿支架1上下滑动，所述的楔形块803还设有滑轨807，所述的滑轨807位于支架1上端且贯穿楔形块803，所述的滑轨807与支架1通过螺栓相连，所述的楔形块803可以沿滑轨807左右滑动，所述的第一导杆802还设有限位头808，所述的限位头808与第一导杆802一体相连，所述的限位头808还设有防撞垫809，所述的防撞垫809与限位头808粘接相连，该硅片浮动支撑机构，初始状态下，气缸2处于伸出状态，斜面推头3的外侧与支撑杆805接触，而且，放料板5的高度高于支撑杆805的高度，手动将硅片放置在放料板5上，定位片6对硅片进行限位，防止硅片滑落，随后，气缸2回程，当斜面推头3与楔形块803接触后，随着气缸2的继续回程，4件对称布置的支撑夹紧机构8同时工作，弹簧804复位推动楔形块803沿滑轨807向斜面推头3移动，从而带动支撑杆805移动，进而带动4件对称布置的支撑夹紧机构8收缩合拢，由于放料板5随斜面推头3下移，因此，支撑杆805沿避让槽7上移，直到4件对称布置的支撑杆805将硅片托起，随着斜面推头3的进一步下移，弹簧804进一步复位带动4件对称布置的支撑杆805将硅片夹紧。该装置结构简单，自动将硅片托起、夹紧，硅片夹紧时处于“浮动”状态，避免硅片与夹具或支撑部件大面积接触，防止硅片产生二次污染。

本实用新型不局限于上述具体的实施方式，本领域的普通技术人员从上述构思出发，不经过创造性的劳动，所做出的种种变换，均落在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种硅片浮动支撑机构，其特征在于包括支架、气缸、斜面推头、连接杆、放料板、定位片、避让槽、沿所述斜面推头对称布置数量为4件的支撑夹紧机构，所述的气缸位于支架下端，所述的气缸与支架通过螺栓相连，所述的斜面推头位于气缸上端且贯穿支架，所述的斜面推头与气缸螺纹相连，所述的连接杆位于斜面推头上端，所述的连接杆与斜面推头螺纹相连，所述的放料板位于连接杆上端，所述的放料板与连接板螺纹相连，所述的定位片位于放料板侧面，所述的定位片与放料板通过螺栓相连，所述的避让槽数量为4件，沿放料板对称布置；

所述的支撑夹紧机构还包括导套、第一导杆、楔形块、弹簧、支撑杆、L形护套，所述的导套位于支架上端，所述的导套与支架通过螺栓相连，所述的第一导杆贯穿导套，所述的第一导杆可以沿导套左右滑动，所述的楔形块位于第一导杆外侧且位于支架上端，所述的楔形块与第一导杆螺纹相连且与支架通过螺栓相连，所述的弹簧位于第一导杆外侧且位于楔形块和导套之间，所述的支撑杆位于楔形块上端，所述的支撑杆与楔形块焊接相连，所述的L形护套位于支撑杆顶部，所述的L形护套护与支撑杆粘接相连。

2.如权利要求1所述的硅片浮动支撑机构，其特征在于所述的连接杆数量为3件，均布于斜面推头。

3.如权利要求1所述的硅片浮动支撑机构，其特征在于所述的斜面推头还设有第二导杆，所述的第二导杆位于斜面推头下端且贯穿支架，所述的第二导杆与斜面推头螺纹相连，所述的第二导杆可以沿支架上下滑动。

4.如权利要求1所述的硅片浮动支撑机构，其特征在于所述的楔形块还设有滑轨，所述的滑轨位于支架上端且贯穿楔形块，所述的滑轨与支架通过螺栓相连，所述的楔形块可以沿滑轨左右滑动。

5.如权利要求1所述的硅片浮动支撑机构，其特征在于所述的第一导杆还设有限位头，所述的限位头与第一导杆一体相连。

6.如权利要求5所述的硅片浮动支撑机构，其特征在于所述的限位头还设有防撞垫，所述的防撞垫与限位头粘接相连。