CN207765402U - 一种管尾便于对接的石英炉管 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种管尾便于对接的石英炉管，包括炉管、端盖以及对接管，所述端盖固定于炉管的管尾处，所述对接管与端盖活动连接；所述端盖远离炉管一侧设置有若干同心的环面，所述环面上开设有出孔，所述出孔中设置有固定板和移动板，所述对接管活动连接于移动板上，且对接管侧壁开设有插槽，所述插槽中活动设置有定位块，所述定位块通过复位弹簧连接于插槽内侧壁上。本实用新型在端盖处设置的半径依次增大的同心环面上开设有多个出孔，可以更好的与对接设备进行对接操作，而且通过对接管的设置，在需要开设多个出孔的情况下，在出孔内插入对接管即可开通出孔，实现自主控制出孔数量的目的，非常值得推广。

Description

一种管尾便于对接的石英炉管

技术领域

本实用新型涉及光伏组件炉管制造技术领域，具体为一种管尾便于对接的石英炉管。

背景技术

石英炉管是集成电路生成线前工序的重要工艺设备之一，它的主要用途是对半导体进行掺杂，即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂志的类型、浓度和分布，以建立不同的电特性区域。

现有技术中，申请号为“201511024733.X”的一种石英炉管，包括一个炉管本体，在炉尾上开设有至少一个进气口和至少一个出气口，该石英炉管可以解决工艺气体从炉尾直接向炉口流动导致气体分布不均匀的问题，使得工艺气体可从晶圆片的四周均匀流入，但是上述该石英炉管仍然存在一个缺陷：对于炉尾处设置的多个出气口，无法很好的对其进行控制，在石英炉管尾部出气口进行排气时，不能自主选择需要排气的出气口数量，而且无法合理的根据尾部对接设备的位置和距离进行对接，非常不方便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种管尾便于对接的石英炉管，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种管尾便于对接的石英炉管，包括炉管、端盖以及对接管，所述端盖固定于炉管的管尾处，所述对接管与端盖活动连接；

所述端盖远离炉管一侧设置有若干同心的环面，所述环面上开设有出孔，所述出孔中设置有固定板和移动板，所述固定板与移动板活动连接；

所述端盖远离出孔一侧开设有进孔，所述进孔中固定有横杆，所述端盖在出孔和进孔之间开设有凹槽，所述凹槽中设置有连杆和挤压弹簧，所述连杆两端分别固定于横杆和固定板上，所述挤压弹簧两端分别固定于凹槽内侧壁和移动板上；

所述对接管活动连接于移动板上，且对接管侧壁开设有插槽，所述插槽中活动设置有定位块，所述定位块通过复位弹簧连接于插槽内侧壁上。

优选的，每个所述环面中只开设有一个出孔。

优选的，所述移动板与出孔连接处设置有密封垫。

优选的，所述插槽侧壁开设有移动槽，所述移动槽内活动设置有限位块，所述限位块固定于定位块上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型在炉管的管尾处固定一个端盖，端盖上采用同心圆的方式依次设置有多个圆环面，环面的半径依次增大，每个环面上开设一个出孔，用来作为出气口，可以更加方便与对接工作设备进行对接。

本实用新型的每个出孔中固定有固定板，固定板外围设置有移动板，固定板和移动板相互配合，将出孔堵住，在不需要出气时，移动板与固定板相互接触，实现封闭出孔的作用，在需要出气时，将对接管对应插接在移动板上，并且向凹槽内进行挤压，在对接管插设进入凹槽内后，定位块与凹槽内侧壁相互固定住，使得对接管不会被挤压弹簧的回复力弹出，此时炉管内的气体从进孔进入凹槽，并且从移动板中心处进入到对接管内，实现开通出孔的作用。

本实用新型在端盖处设置的半径依次增大的同心环面上开设有多个出孔，可以更好的与对接设备进行对接操作，而且通过对接管的设置，在需要开设多个出孔的情况下，在出孔内插入对接管即可开通出孔，实现自主控制出孔数量的目的，非常值得推广。

附图说明

图1为本实用新型的石英炉管整体结构示意图；

图2为本实用新型的端盖与对接管的连接结构示意图；

图3为本实用新型的端盖结构示意图；

图4为本实用新型的端盖表面结构示意图；

图5为本实用新型的A区放大示意图；

图6为本实用新型的进孔结构示意图；

图7为本实用新型的对接管结构示意图；

图8为本实用新型的对接管截面结构示意图；

图9为本实用新型的B区放大示意图。

图中：1炉管、2端盖、21环面、22出孔、23固定板、24移动板、3对接管、4凹槽、41连杆、42挤压弹簧、5进孔、51横杆、6插槽、7定位块、8复位弹簧、9移动槽、10限位块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-9，本实用新型提供一种技术方案：

一种管尾便于对接的石英炉管，包括炉管1、端盖2以及对接管3，炉管1本体作为石英炉管，端盖2固定于炉管1的管尾处，端盖2与管尾处固定连接，对接管3与端盖2活动连接，对接管3可以自由的插接在端盖2上，也可以与端盖2分离设置，非常方便。

端盖2远离炉管1一侧设置有若干同心的环面21，环面21从圆心处依次半径增大，设置有不少于两个环面21，每个环面21中只开设有一个出孔22，且出孔22均设置在同一直线上，出孔22中设置有固定板23和移动板24，固定板23固定在出孔22中，固定板23与移动板24活动连接，移动板24套接在固定板24外部，移动板24可以绕着固定板24自由运动。

端盖2远离出孔22一侧开设有进孔5，进孔5与炉管1相连通，进孔5中固定有横杆51，横杆51不能完全堵住进孔5，使得进孔5可以通气，端盖2在出孔22和进孔5之间开设有凹槽4，凹槽4开设在端盖2内，如说明书附图3所示，凹槽4中设置有连杆41和挤压弹簧42，连杆41两端分别固定于横杆51和固定板23上，挤压弹簧42两端分别固定于凹槽4内侧壁和移动板24上，固定板23通过连杆41固定在横杆51上，使得固定板23与端盖2始终保持相对固定，移动板24通过挤压弹簧42支撑，通过移动板24被向内挤压时，挤压弹簧42向凹槽4内收缩，从而开通出孔22。

对接管3活动连接于移动板24上，如说明书附图2所示，且对接管3侧壁开设有插槽6，插槽6中活动设置有定位块7，定位块7通过复位弹簧8连接于插槽6内侧壁上，使得对接管3进入到凹槽4后，定位块7受到复位弹簧8的弹力，被推至凹槽4内，并且进行定位，使得对接管3无法直接从出孔22出拔出，非常方便对接管3的插接安装。

作为一个优选，移动板24与出孔22连接处设置有密封垫，可以使得对接管3没有插接时，很好的对出孔22进行密封设置，防止漏气现象的发生。

作为一个优选，插槽6侧壁开设有移动槽9，移动槽9内活动设置有限位块10，限位块10固定于定位块7上，为了防止定位块7被复位弹簧8挤压出插槽6内，造成定位块7失去作用，限位块10可以很好的防止定位块7滑出插槽6内。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (4)

1.一种管尾便于对接的石英炉管，包括炉管(1)、端盖(2)以及对接管(3)，其特征在于：所述端盖(2)固定于炉管(1)的管尾处，所述对接管(3)与端盖(2)活动连接；

所述端盖(2)远离炉管(1)一侧设置有若干同心的环面(21)，所述环面(21)上开设有出孔(22)，所述出孔(22)中设置有固定板(23)和移动板(24)，所述固定板(23)与移动板(24)活动连接；

所述端盖(2)远离出孔(22)一侧开设有进孔(5)，所述进孔(5)中固定有横杆(51)，所述端盖(2)在出孔(22)和进孔(5)之间开设有凹槽(4)，所述凹槽(4)中设置有连杆(41)和挤压弹簧(42)，所述连杆(41)两端分别固定于横杆(51)和固定板(23)上，所述挤压弹簧(42)两端分别固定于凹槽(4)内侧壁和移动板(24)上；

所述对接管(3)活动连接于移动板(24)上，且对接管(3)侧壁开设有插槽(6)，所述插槽(6)中活动设置有定位块(7)，所述定位块(7)通过复位弹簧(8)连接于插槽(6)内侧壁上。

2.根据权利要求1所述的一种管尾便于对接的石英炉管，其特征在于：每个所述环面(21)中只开设有一个出孔(22)。

3.根据权利要求1所述的一种管尾便于对接的石英炉管，其特征在于：所述移动板(24)与出孔(22)连接处设置有密封垫。

4.根据权利要求1所述的一种管尾便于对接的石英炉管，其特征在于：所述插槽(6)侧壁开设有移动槽(9)，所述移动槽(9)内活动设置有限位块(10)，所述限位块(10)固定于定位块(7)上。