CN207730168U - 一种带有激光干涉仪的角位移测量装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种带有激光干涉仪的角位移测量装置，包括激光测量结构,所述激光测量结构内部安装有激光干涉仪，且激光干涉仪的一面上安装有感光反射面板，所述感光反射面板上安装有激光光源，且激光光源四周的感光反射面板上安装有感光元件，所述激光干涉仪的一端安装有信号处理器，所述激光测量结构的一端设置有激光干涉镜，且激光干涉镜的一面上安装有反射镜，所述反射镜的一端安装有光斑位置探测器，所述激光干涉镜通过底端安装的固定连接件与被测物体相连接，本实用新型解决了现有角位移测量装置测量效率低下、测量不够精确、存在较大误差且操作不便的问题。

Description

一种带有激光干涉仪的角位移测量装置

技术领域

本实用新型涉及激光测量技术领域，具体为一种带有激光干涉仪的角位移测量装置。

背景技术

角位移激光干涉仪是精度很高的标准测量技术，广泛应用于精密和超精密机械加工、微电子装备、纳米技术工业装备和国防装备等领域，可以用于微位移部件、移动平台和光刻机角度变化量的监测。角位移激光干涉仪可以提供很高的测量精度，并且可以动态测量运动中的相对摆角，这是区别其他仪器的独特优势，因此科学有效的提高角位移激光干涉仪的测量精确度非常重要，现有的角位移测量装置测量不能够精确测量，存在较大误差，且操作不便。

经检索，中国专利号CN105547228A，授权公告2016.05.04公开了一种角位移测量装置，属于航空测试设计领域，所述装置包括四条连杆铰接形成的一平行四边形机构，所述平行四边形机构的一条边设置在被测物上，其相对的另一条边上设置有滑轨，并在所述滑轨上设置有摇臂，摇臂可转动连接在角位移传感器上。本发明通过平行四边形机构将被测物的转动传递给角位移传感器，实现了测量时不需要测量被测件的转轴位置即可达到测量目的的效果。

但是，现有的切割装置具有以下不足：

1、现有的角位移测量装置，通过连杆在滑轨内的移动来进行测量存在较大的误差，测量最终的结果容易受到周边的环境影响。

2、现有的角位移测量装置，在测量时不能够对物件进行连续多次精准的测量，无法直接得到测量结果。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种带有激光干涉仪的角位移测量装置，解决了现有角位移测量装置测量效率低下、测量不够精确、存在较大误差且操作不便的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种带有激光干涉仪的角位移测量装置，包括激光测量结构,所述激光测量结构内部安装有激光干涉仪，且激光干涉仪的一面上安装有感光反射面板，所述感光反射面板上安装有激光光源，且激光光源四周的感光反射面板上安装有感光元件，所述激光干涉仪的一端安装有信号处理器，所述激光测量结构的一端设置有激光干涉镜，且激光干涉镜的一面上安装有反射镜，所述反射镜的一端安装有光斑位置探测器，所述激光干涉镜通过底端安装的固定连接件与被测物体相连接。

优选的，所述激光测量结构与激光干涉镜均通过导线与控制电脑相连接。

优选的，所述激光光源产生的激光测量光线照射在反射镜的平面范围内。

优选的，所述激光光源位于感光反射面板的中心位置。

优选的，所述感光反射面板外围安装有遮光器。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种带有激光干涉仪的角位移测量装置，具备以下有益效果：

(1)本实用新型通过设置的遮光器，在激光测量光线连续多次反射过程中，能够避免外界光源的影响，导致测量结果与实际结果存在较大的误差，同时遮光器还能保护感光反射面板，使感光反射面板上的感光原件不会积灰，提高测量的精确度。

(2)本实用新型通过设置的激光测量结构与激光干涉镜均通过导线与控制电脑相连接，将激光测量光线反复测量的结果经过控制电脑的精确计算迅速得到角位量的变化情况，操作便捷，不需要人工二次验证数据。

(3)本实用新型通过设置的固定连接件，能够很好的将角位移测量装置安装到被测物体的任意位置，方便测量工作的进行，提高测量效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意剖视图。

图2为本实用新型的感光反射面板结构示意图。

图中：1光斑位置探测器、2固定连接件、3被测物体、4激光干涉镜、5导线、6控制电脑、7激光测量结构、8激光干涉仪、9信号处理器、10激光测量光线、11反射镜、12感光反射面板、13感光元件、14激光光源、15遮光器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-2所示，本实用新型提供一种技术方案：一种带有激光干涉仪的角位移测量装置，包括激光测量结构7,所述激光测量结构7内部安装有激光干涉仪8，且激光干涉仪8的一面上安装有感光反射面板12，所述感光反射面板12外围安装有遮光器15，在激光测量光线10连续多次反射过程中，能够避免外界光源的影响，导致测量结果与实际结果存在较大的误差，同时遮光器15还能保护感光反射面板12，使感光反射面板12上的感光原件13不会积灰，提高测量的精确度，所述感光反射面板12上安装有激光光源14，且激光光源14四周的感光反射面板12上安装有感光元件13，所述激光光源14位于感光反射面板12的中心位置，将经过反射镜11反射回来的激光测量光线10更好的落在感光反射面板12上的感光元件13上，提高测量的精确程度，所述激光干涉仪8的一端安装有信号处理器9，所述激光测量结构7的一端设置有激光干涉镜4，且激光干涉镜4的一面上安装有反射镜11，所述激光光源14产生的激光测量光线10照射在反射镜11的平面范围内，且激光测量光线14被反射镜11和感光反射面板12反射二次以上，反射镜11上的激光测量光线10形成的光斑能够很好的被光斑位置探测器1所检测到，经过对此多次连续反射得出的结果经过控制电脑6的精确计算得出最终结果，减小测量的误差，所述反射镜11的一端安装有光斑位置探测器1，所述激光干涉镜4通过底端安装的固定连接件2与被测物体3相连接，所述激光测量结构7与激光干涉镜4均通过导线5与控制电脑6相连接，将激光测量光线10反复测量的结果经过控制电脑6的精确计算迅速得到角位量的变化情况，操作便捷，不需要人工二次验证数据，提高测量效率。

使用时，通过控制电脑6启动激光测量结构7，激光测量结构7上的激光干涉仪8开始工作，通过激光光源14产生激光测量光线10，且激光测量光线10照射在激光干涉镜4内的反射镜11上，经过反射镜11的反射，激光测量光线10反射到感光反射面板12上，经过感光反射面板12和反射镜11的多次连续反射，感光反射面板12上的感光元件13将激光测量光线10的反射时间长短的变化量通过信号处理器9进行处理，反射镜11上激光测量光线10形成的光斑位置变化情况，经过光斑位置探测器1进行探测收集，信号处理器9将得到的激光测量光线10反射时间长短的数据和光斑位置探测器1得到的激光测量光线10的光斑位置变化情况通过导线5传输到控制电脑6中，经过控制电脑6的精确计算得到被测物体3最精准的长度和角度变化情况，遮光器15在测量过程中够避免感光反射面板12受到外界光源的影响，导致测量结果与实际结果存在较大的误差，固定连接件2将激光干涉镜4固定在被测物体3的最佳测量位置，提高测量效率。

综上可得，本实用新型通过设置的光斑位置探测器1、导线5、控制电脑6、信号处理器9、激光测量光线10、反射镜11、感光反射面板12、感光元件13、激光光源14和遮光器15从而解决了现有角位移测量装置测量效率低下、测量不够精确、存在较大误差且操作不便的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种带有激光干涉仪的角位移测量装置，包括激光测量结构(7),其特征在于：所述激光测量结构(7)内部安装有激光干涉仪(8)，且激光干涉仪(8)的一面上安装有感光反射面板(12)，所述感光反射面板(12)上安装有激光光源(14)，且激光光源(14)四周的感光反射面板(12)上安装有感光元件(13)，所述激光干涉仪(8)的一端安装有信号处理器(9)，所述激光测量结构(7)的一端设置有激光干涉镜(4)，且激光干涉镜(4)的一面上安装有反射镜(11)，所述反射镜(11)的一端安装有光斑位置探测器(1)，所述激光干涉镜(4)通过底端安装的固定连接件(2)与被测物体(3)相连接。

2.根据权利要求1所述的一种带有激光干涉仪的角位移测量装置，其特征在于：所述激光测量结构(7)与激光干涉镜(4)均通过导线(5)与控制电脑(6)相连接。

3.根据权利要求1所述的一种带有激光干涉仪的角位移测量装置，其特征在于：所述激光光源(14)产生的激光测量光线(10)照射在反射镜(11)的平面范围内。

4.根据权利要求1所述的一种带有激光干涉仪的角位移测量装置，其特征在于：所述激光光源(14)位于感光反射面板(12)的中心位置。

5.根据权利要求1所述的一种带有激光干涉仪的角位移测量装置，其特征在于：所述感光反射面板(12)外围安装有遮光器(15)。