CN207696305U - Cmp不锈钢抛光机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了CMP不锈钢抛光机，包括抛光机箱和拉门，所述拉门一侧设有按键，且所述按键嵌入设置在拉门中，且所述拉门与抛光机箱通过设置在拉门一侧的铰链连接，所述抛光机箱底部设有车轮，所述抛光机箱顶部设有水液管，且所述水液管部分嵌入设置在抛光机箱中，该种CMP不锈钢抛光机，设置有磨轮在皮带带动下可高速转动，采用化学用液对不锈钢物表面浸泡，之后进行磨轮抛光处理，集液槽内的用液通过水液管放出比较方便，照明灯照明便于操作从而提高抛光使用效率，采用化学机械抛光工艺(CMP)进行对抛光的不锈钢物进行一定的处理，更佳便捷，降低人工成本，卡紧套卡在不锈钢物上接触紧密受力充分。
Description
技术领域
本实用新型涉及抛光机技术领域，具体为CMP不锈钢抛光机。
背景技术
目前，新型材料已经走进了人们的生活，像什么合金、不锈钢和新型材料，这些材料中，不锈钢的应用是最为广泛的，但是对不锈钢的加工工艺要求也相对的升高了，很多机械的表面需要做的十分光滑，但是现在的抛光技术不够发达，有些抛光机是应用抛光盘或者布轮进行抛光，无法做到抛光面十分光滑，再好的工人也会出现一些抛光纹路，使不锈钢看起来不是特别光滑，表面粗糙就会导致不锈钢更容易生锈，无法做到长时间的使用，半导体晶片抛光主要用于去除前道工序产生的亚损伤层，获得完整抛光镜面，目前半导体加工行业实现全局平面化的主流技术之一是化学机械抛光工艺(CMP)，传统的CMP设备因具有较高的性价比在国内半导体加工领域得到广泛应用。但其在使用过程中有其自身的缺点，随着时代的发展，新型的抛光设备虽层出不穷，但价格大都过于昂贵，因而，在传统CMP设备基础上进行优化设计以追赶国际抛光设备水平，提高抛光效率及抛光质量，降低晶片加工成本，在目前国内市场需求下显得十分必要。
但现有的抛光机在使用过程中主要依赖于手动操作，能源消耗大，生产效率低，晶片的冲洗过程依赖于人工操作，晶片加工一致性差，晶片质量不高。
所以，如何设计CMP不锈钢抛光机，成为我们当前要解决的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供CMP不锈钢抛光机，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：CMP不锈钢抛光机，包括抛光机箱和拉门，所述拉门一侧设有按键，且所述按键嵌入设置在拉门中，且所述拉门与抛光机箱通过设置在拉门一侧的铰链连接，所述抛光机箱底部设有车轮，所述抛光机箱顶部设有水液管，且所述水液管部分嵌入设置在抛光机箱中，所述抛光机箱顶部设有集液槽和嵌入槽，且所述集液槽和嵌入槽均嵌入设置在抛光机箱中，所述抛光机箱顶部设有支架，且所述支架与抛光机箱顶部焊接，所述支架一侧设有转动轴，且所述转动轴与支架固定连接，所述转动轴一侧设有活动轮，且所述活动轮嵌套设置在转动轴上，所述活动轮一侧设有皮带，且所述皮带与活动轮传动连接，所述嵌入槽顶部设有移动轴，且所述移动轴部分嵌入设置在嵌入槽中，所述移动轴底部设有受力杆，且所述受力杆与移动轴固定连接，所述抛光机箱顶部设有照明灯。
进一步的，所述集液槽底壁设有出水口，且所述出水口嵌入设置在集液槽中。
进一步的，所述转动轴一侧设有磨轮，且所述磨轮嵌套设置在转动轴上。
进一步的，所述移动轴一侧设有转动盘，且所述转动盘嵌套设置在移动轴上。
进一步的，所述受力杆底部设有卡紧套，且所述卡紧套与受力杆通过强力胶粘合。
进一步的，所述照明灯底部设有卡件，所述抛光机箱顶部设有卡槽，且照明灯与抛光机箱之间通过卡件与卡槽活动连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该种CMP不锈钢抛光机，设置有磨轮在皮带带动下可高速转动，采用化学用液对不锈钢物表面浸泡，之后进行磨轮抛光处理，集液槽内的用液通过水液管放出比较方便，照明灯照明便于操作从而提高抛光使用效率，采用化学机械抛光工艺(CMP)进行对抛光的不锈钢物进行一定的处理，更佳便捷，降低人工成本，卡紧套卡在不锈钢物上接触紧密受力充分。
附图说明
图1是本实用新型的整体结构示意图；
图2是本实用新型的出口管局部结构示意图；
图中：1-抛光机箱；2-水液管；3-车轮；4-拉门；5-按键；6-支架；7-皮带；8-活动轮；9-转动轴；10-磨轮；11-照明灯；12-移动轴；13-受力杆；14-卡紧套；15-嵌入槽；16-转动盘；17-出口管；18-集液槽。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：CMP不锈钢抛光机，包括抛光机箱1和拉门4，所述拉门4一侧设有按键5，且所述按键5嵌入设置在拉门4中，且所述拉门4与抛光机箱1通过设置在拉门4一侧的铰链连接，所述抛光机箱1底部设有车轮3，所述抛光机箱1顶部设有水液管2，且所述水液管2部分嵌入设置在抛光机箱1中，所述抛光机箱1顶部设有集液槽18和嵌入槽15，且所述集液槽18和嵌入槽15均嵌入设置在抛光机箱1中，所述抛光机箱1顶部设有支架6，且所述支架6与抛光机箱1顶部焊接，所述支架6一侧设有转动轴9，且所述转动轴9与支架6固定连接，所述转动轴9一侧设有活动轮8，且所述活动轮8嵌套设置在转动轴9上，所述活动轮8一侧设有皮带7，且所述皮带7与活动轮8传动连接，所述嵌入槽15顶部设有移动轴12，且所述移动轴12部分嵌入设置在嵌入槽15中，所述移动轴12底部设有受力杆13，且所述受力杆13与移动轴12固定连接，所述抛光机箱1顶部设有照明灯11。
更具体而言，所述集液槽18底壁设有出水口17，且所述出水口17嵌入设置在集液槽18中，所述出水口17起到方便放掉使用后的化学用液，所述转动轴9一侧设有磨轮10，且所述磨轮10嵌套设置在转动轴9上，所述磨轮10采用一种特殊材料起到很好抛光的作用，所述移动轴12一侧设有转动盘16，且所述转动盘16嵌套设置在移动轴12上，所述转动盘16起到很好的转动带动移动轴12转动的作用，所述受力杆13底部设有卡紧套14，且所述卡紧套14与受力杆13通过强力胶粘合，所述卡紧套14起到卡住需要抛光的不锈钢物作用，所述照明灯11底部设有卡件，所述抛光机箱1顶部设有卡槽，且照明灯11与抛光机箱1之间通过卡件与卡槽活动连接，方便拆卸。
工作原理：首先，确定安全的情况下，工作人员将整体CMP不锈钢抛光机移动到工作环境中去，水液管2起到放入提前通过化学药剂处理过药剂的作用，抛光机箱1一侧的拉门2起到可放入一些工具的作用，按键5起到控制拉门2开启关闭的作用，支架6起到支撑受力的作用，皮带7起到带动磨轮10、活动轮8和转动轴9转动的作用，磨轮10采用一种特殊材料进行对需要抛光的不锈钢物进行抛光处理，照明灯11起到很好照明的作用，移动轴12起到移动通过卡紧套14卡紧需要抛光不锈钢物的作用，受力杆13具有一定受力作用，移动轴12可在嵌入槽15中进行一定方向的移动，转动盘16起到转动的作用，将夹在卡紧套14中的不锈钢物进行很好的抛光处理，一段时间后，可通过出口管18更换化学药剂，集液槽18起到装入化学药剂的作用。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.CMP不锈钢抛光机，包括抛光机箱(1)和拉门(4)，其特征在于：所述拉门(4)一侧设有按键(5)，且所述按键(5)嵌入设置在拉门(4)中，且所述拉门(4)与抛光机箱(1)通过设置在拉门(4)一侧的铰链连接，所述抛光机箱(1)底部设有车轮(3)，所述抛光机箱(1)顶部设有水液管(2)，且所述水液管(2)部分嵌入设置在抛光机箱(1)中，所述抛光机箱(1)顶部设有集液槽(18)和嵌入槽(15)，且所述集液槽(18)和嵌入槽(15)均嵌入设置在抛光机箱(1)中，所述抛光机箱(1)顶部设有支架(6)，且所述支架(6)与抛光机箱(1)顶部焊接，所述支架(6)一侧设有转动轴(9)，且所述转动轴(9)与支架(6)固定连接，所述转动轴(9)一侧设有活动轮(8)，且所述活动轮(8)嵌套设置在转动轴(9)上，所述活动轮(8)一侧设有皮带(7)，且所述皮带(7)与活动轮(8)传动连接，所述嵌入槽(15)顶部设有移动轴(12)，且所述移动轴(12)部分嵌入设置在嵌入槽(15)中，所述移动轴(12)底部设有受力杆(13)，且所述受力杆(13)与移动轴(12)固定连接，所述抛光机箱(1)顶部设有照明灯(11)。
2.根据权利要求1所述的CMP不锈钢抛光机，其特征在于：所述集液槽(18)底壁设有出水口(17)，且所述出水口(17)嵌入设置在集液槽(18)中。
3.根据权利要求1所述的CMP不锈钢抛光机，其特征在于：所述转动轴(9)一侧设有磨轮(10)，且所述磨轮(10)嵌套设置在转动轴(9)上。
4.根据权利要求1所述的CMP不锈钢抛光机，其特征在于：所述移动轴(12)一侧设有转动盘(16)，且所述转动盘(16)嵌套设置在移动轴(12)上。
5.根据权利要求1所述的CMP不锈钢抛光机，其特征在于：所述受力杆(13)底部设有卡紧套(14)，且所述卡紧套(14)与受力杆(13)通过强力胶粘合。
6.根据权利要求1所述的CMP不锈钢抛光机，其特征在于：所述照明灯(11)底部设有卡件，所述抛光机箱(1)顶部设有卡槽，且照明灯(11)与抛光机箱(1)之间通过卡件与卡槽活动连接。
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| CN207696305U true CN207696305U (zh) | 2018-08-07 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110052909A (zh) * | 2019-03-25 | 2019-07-26 | 东阳市恒业钢带有限公司 | 一种钢带无尘环保型抛光装置 |
| CN112223107A (zh) * | 2020-10-14 | 2021-01-15 | 德清世锦智能科技有限公司 | 一种化学机械研磨装置和化学机械研磨方法 |
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2017
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| CN110052909B (zh) * | 2019-03-25 | 2020-08-04 | 东阳市恒业钢带有限公司 | 一种钢带无尘环保型抛光装置 |
| CN112223107A (zh) * | 2020-10-14 | 2021-01-15 | 德清世锦智能科技有限公司 | 一种化学机械研磨装置和化学机械研磨方法 |
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