CN207615328U - 一种硅片脱胶固定装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种硅片脱胶固定装置，包括底座，所述底座上固定有两个相互平行的支撑板，支撑板左右两侧设有第二滑槽，第二滑槽与支撑腿滑动连接，所述底座上表面固定有齿条，齿条设置在支撑板的右侧，齿条上方设置有与其相啮合的齿轮，齿轮安装在电机的主轴上，电机固定在底板的右侧下表面，所述底座上安装有支撑架，支撑架的右侧方安装有PLC控制器，支撑架的中部与电动伸缩杆的上端连接，电动伸缩杆下端设有安装板，安装板上安装有电磁吸盘，支撑腿的上端设有底板，底板上方设有载物槽，载物槽的左侧安装固定挡板。灵活可控，且可以有效固定，减少碎片率，整个装置简单，操作方便。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片脱胶装置技术领域，具体为一种硅片脱胶固定装置。
背景技术
在硅片脱胶环节中，硅片需要加以固定后脱胶才能保证硅片不出现随意倾倒的现象，现行技术中多采用在硅片间间隔一段距离插入隔板的方法来固定硅片。但是此方法硅片仍然会倾斜，且固定效果较差，后续操作中使硅片碎片，隐裂，造成经济损失。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种硅片脱胶固定装置，操作方便，固定效果相对于传统方式更好，可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片脱胶固定装置，包括底座，所述底座上固定有两个相互平行的支撑板，支撑板左右两侧设有第二滑槽，第二滑槽与支撑腿滑动连接，所述底座上表面固定有齿条，齿条设置在支撑板的右侧，齿条上方设置有与其相啮合的齿轮，齿轮安装在电机的主轴上，电机固定在底板的右侧下表面，所述底座上安装有支撑架，支撑架的右侧方安装有PLC控制器，支撑架的中部与电动伸缩杆的上端连接，电动伸缩杆下端设有安装板，安装板上安装有电磁吸盘，支撑腿的上端设有底板，底板上方设有载物槽，载物槽的左侧安装固定挡板，载物槽的右侧滑动连接有滑动挡板，所述支撑架的内侧和载物槽的右侧对应安装有光电开关，所述PLC控制器的输入端分别与光电开关和外部电源的输出端电连接，PLC控制器的输出端与电动伸缩杆、电磁吸盘和电机的输入端电连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述左侧的固定挡板的上部两端分别与两个调节螺杆的一端固定连接，两个调节螺杆的另一端分别贯穿右侧的滑动挡板两端并安装螺母。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述调节螺杆的数量为两个，且两个调节螺杆设置在固定挡板的前后两侧。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述载物槽的数量不少于十个，载物槽均匀平行分布在底板的上方。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述载物槽的形状为V型，载物槽由橡胶材料制成。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述底板的上表面前后两侧均设有第一滑槽，滑动挡板的前后两侧下端设有与第一滑槽相配合的滑块。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本硅片脱胶固定装置，采用的载物槽形状为V型，可以有效且牢固的固定硅片，且载物槽的材质为橡胶，橡胶可以有效的保护硅片，最大程度上减少了硅片的碎片率，载物槽的左右两侧都有挡板，右侧挡板可以滑动，在装载不同尺寸的硅片时可以灵活调节，并且有效固定，整个装置简单，操作方便，固定效果相对于传统方式更好。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
图中：1底座、2支撑板、3齿条、4支撑架、5PLC控制器、6光电开关、7齿轮、8滑动挡板、9调节螺杆、10螺母、11载物槽、12电动伸缩杆、13电磁吸盘、14固定挡板、15第一滑槽、16滑块、17支撑腿、18第二滑槽、19电机、20底板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种硅片脱胶固定装置，包括底座1，底座1上固定有两个相互平行的支撑板2，支撑板2左右两侧设有第二滑槽18，第二滑槽18与支撑腿17滑动连接，底座1上表面固定有齿条3，齿条3设置在支撑板2的右侧，齿条3上方设置有与其相啮合的齿轮7，齿轮7安装在电机19的主轴上，电机19固定在底板20的右侧下表面，底座1上安装有支撑架4，支撑架4的右侧方安装有PLC控制器5，支撑架4的中部与电动伸缩杆12的上端连接，电动伸缩杆12下端设有安装板，安装板上安装有电磁吸盘13，电磁吸盘13吸附硅片，支撑腿17的上端设有底板20，底板20的上表面前后两侧均设有第一滑槽15，滑动挡板8的前后两侧下端设有与第一滑槽15相配合的滑块，底板20上方设有载物槽11，载物槽11的数量不少于十个，载物槽11均匀平行分布在底板20的上方，载物槽11的形状为V型，载物槽11由橡胶材料制成，载物槽11的左侧安装固定挡板14，左侧的固定挡板14的上部两端分别与两个调节螺杆9的一端固定连接，两个调节螺杆9的另一端分别贯穿右侧的滑动挡板8两端并安装螺母10，调节螺杆9的数量为两个，且两个调节螺杆9设置在固定挡板14的前后两侧，载物槽11的右侧滑动连接有滑动挡板8，对大小不同的硅片都能从左右两侧进行固定，支撑架4的内侧和载物槽11的右侧对应安装有光电开关6，PLC控制器5的输入端分别与光电开关6和外部电源的输出端电连接，PLC控制器5的输出端与电动伸缩杆12、电磁吸盘13和电机19的输入端电连接，PLC控制器5控制电动伸缩杆12、电磁吸盘13和电机19均采用现有技术中常用的方法。
本实用新型灵活可控，且可以有效固定，减少碎片率，整个装置简单，操作方便，固定效果相对于传统方式更好。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种硅片脱胶固定装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上固定有两个相互平行的支撑板(2)，支撑板(2)左右两侧设有第二滑槽(18)，第二滑槽(18)与支撑腿(17)滑动连接，所述底座(1)上表面固定有齿条(3)，齿条(3)设置在支撑板(2)的右侧，齿条(3)上方设置有与其相啮合的齿轮(7)，齿轮(7)安装在电机(19)的主轴上，电机(19)固定在底板(20)的右侧下表面，所述底座(1)上安装有支撑架(4)，支撑架(4)的右侧方安装有PLC控制器(5)，支撑架(4)的中部与电动伸缩杆(12)的上端连接，电动伸缩杆(12)下端设有安装板，安装板上安装有电磁吸盘(13)，支撑腿(17)的上端设有底板(20)，底板(20)上方设有载物槽(11)，载物槽(11)的左侧安装固定挡板(14)，载物槽(11)的右侧滑动连接有滑动挡板(8)，所述支撑架(4)的内侧和载物槽(11)的右侧对应安装有光电开关(6)，所述PLC控制器(5)的输入端分别与光电开关(6)和外部电源的输出端电连接，PLC控制器(5)的输出端与电动伸缩杆(12)、电磁吸盘(13)和电机(19)的输入端电连接。
2.根据权利要求1所述的一种硅片脱胶固定装置，其特征在于：左侧的固定挡板(14)的上部两端分别与两个调节螺杆(9)的一端固定连接，两个调节螺杆(9)的另一端分别贯穿右侧的滑动挡板(8)两端并安装螺母(10)。
3.根据权利要求2所述的一种硅片脱胶固定装置，其特征在于：所述调节螺杆(9)的数量为两个，且两个调节螺杆(9)设置在固定挡板(14)的前后两侧。
4.根据权利要求1所述的一种硅片脱胶固定装置，其特征在于：所述载物槽(11)的数量不少于十个，载物槽(11)均匀平行分布在底板(20)的上方。
5.根据权利要求1所述的一种硅片脱胶固定装置，其特征在于：所述载物槽(11)的形状为V型，载物槽(11)由橡胶材料制成。
6.根据权利要求1所述的一种硅片脱胶固定装置，其特征在于：所述底板(20)的上表面前后两侧均设有第一滑槽(15)，滑动挡板(8)的前后两侧下端设有与第一滑槽(15)相配合的滑块。
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| CN (1) | CN207615328U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109158346A (zh) * | 2018-08-24 | 2019-01-08 | 安徽名特玻璃有限公司 | 一种铝合金门窗加工清洗烘干装置 |
| CN111318500A (zh) * | 2020-02-03 | 2020-06-23 | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 | 切割后硅棒的脱胶装置和方法 |
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2017
- 2017-11-27 CN CN201721602212.2U patent/CN207615328U/zh not_active Expired - Fee Related
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| CN111318500A (zh) * | 2020-02-03 | 2020-06-23 | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 | 切割后硅棒的脱胶装置和方法 |
| CN111318500B (zh) * | 2020-02-03 | 2021-10-26 | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 | 切割后硅棒的脱胶装置和方法 |
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